Economy Low Price kleine Plasma-Reinigungsmaschine mit Vakuumpumpe

• Anwendung: Textilindustrie
• Reinigungsmedien: Chemische Reinigung
• Automatisierung: Automatisch
• Reinigungs Precision: Allgemeine Industriereinigung
• Steuerung: PLC
• Prinzip: Physikalische Reinigung
• Modell Nr.: CY-EQ-PCE-6
• Bescheinigung: CE, TUV
• Zustand: Neu
• Kundenspezifische: Kundenspezifische
• Feature: Energy Saving
• Plasmakammer: Quarzkammer
• Bedienfeld: Touchscreen
• Transportpaket: Wooden Box
• Spezifikation: Dia. 160x190mm
• Warenzeichen: CY
• Herkunft: Zhengzhou, China
• HS-Code: 85141090
• Produktionskapazität: 210 Sets Per Month

Produktbeschreibung

Medium Plasma Reiniger mit Vakuumpumpe, 6"DX 6, 5" L ( 3 Liter) Quarzkammer 13, 56 MHz, 30W max - EQ-PCE-6
 
EQ-PCE-6 ist ein mittelgroßer Plasmareiniger mit 6" Durchmesser x 6, 5" Länge Quarzkammer.   Es ist für die Reinigung und Entfernung von nanoskaligen organischen Verunreinigungen auf dem Substrat oder Wafer bis zu 4" mit Luft, Sauerstoff oder Argon-Plasma konzipiert. Die Rate der organischen Entfernung beträgt maximal 20 nm/min bei hoher HF-Leistung. Es ist ein ausgezeichnetes Werkzeug, um ein einzelnes Kristallsubstrat vor der epitaxialen Filmabscheidung vorreinigen, um die bessere Qualität zu erzielen.
 

Eingangsleistung	220V AC, 50/60 Hz HF-Leistung:     Max. 100 W Vakuumpumpe:   < 500W Gesamtleistung:     < 600W
HF-Leistung	HF-Leistung (Hochspannung und Hochfrequenzstrom auf der Spule) kann in drei Stufen eingestellt werden: Niedrige Einstellung 7, 2W; Mittlere Einstellung 10, 2W; Hohe Einstellung 30W HF-Frequenz:   13, 56 MHz
Systemsteuerung	Kontrollfunktion: Reinigungszeit, HF-Leistung, Vakuumpumpe.
Plasmakammer	6" Durchmesser x 6, 5" Länge Quarzkammer 3 Liter Kapazität Klappbare Tür  Mit Sichtfenster  Für einfaches Laden der Proben Und  Beobachten
Vakuumpumpe	Eine  Einstufige Drehschieber-Vakuumpumpe  (220V, 187 l/m) mit Abluftfilter und Vakuumrohr sind  Für die Ausrüstung (220V) im Lieferumfang enthalten.
Inertgas	Viele inerte Gase können für die Plasmareinigung  Wie N2, Ar, Luft und Mischgas ausgewählt werden, abhängig davon, welches Material behandelt wird. (Nicht im Lieferumfang enthalten) Für den Plasmareiniger darf kein entzündliches Gas verwendet werden
Optional	Kombinationen von PCE-6 Plasmareiniger mit  Zwei-Kanal-Gasmischer  Werden eine Lösung für die Einführung von bis zu zwei Prozessgasen sein. Bestellen Sie Plasmareiniger mit dem zwei-Kanal-Gasmischer aus den Produktoptionen oder klicken Sie auf das Bild links für den zwei-Kanal-Gasmischer. Wenn  4" Wafer Quarz Boot verwenden,   Kann der Reiniger 25 Stück 2" Dia Wafer pro Ladung behandeln
Abmessungen	400mm l  ×300mm B  ×300mm H 16 x 12 x 12 Zoll
Nettogewicht	30 Kg
Versandgewicht Und Abmessungen	140 kg 40„x30„X23“
Garantie	Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung (Keine Garantie für Pyrex Glaskammer )
Anwendungshinweis:	Überdruck kann die  Plasmaquarzkammer beschädigen.