Zwei Zonen CSS Ofen für schnelle thermische Verarbeitung bis zu 5" Dia Wafer bei Max. 800C

• Kundenspezifische: Kundenspezifische
• Struktur: Desktop
• Material: Legierung
• Bescheinigung: CE, TUV
• Anwendung: Schule
• Art: Heizung Typ
• Modell Nr.: CY-OTF-1200X-RTP-II-5
• Vakuumflansch: Edelstahl
• Temperaturregler: Digital
• Betriebstemperatur: 800C
• Thermoelement: typ k
• Garantie: Ein Jahr
• Transportpaket: Wooden Box
• Spezifikation: OD. 200mm
• Warenzeichen: CY
• Herkunft: Zhengzhou, China
• HS-Code: 85141090
• Produktionskapazität: 130 Sets/Month

Produktbeschreibung

Zwei Zonen CSS Ofen für schnelle thermische Verarbeitung bis zu 5" Durchm. Wafer bei Max, 800 Grad C - OTF-1200x-RTP-II-5
  Einführung
OTF-1200x-RTP-II ist ein Schnellwärmeverarbeitungsofen    Mit zwei Heizzonen und 11" Quarzrohr.  
Es ist für PVD- oder CSS-Folien (Close Spaced Sublimation)  Mit einem Durchmesser von bis zu 3 Zoll oder einem Quadratzolldurchmesser von 2 Zoll (x2 Zoll) ausgelegt.   Der Ofen  Wird durch  Zwei Gruppen von Halogenheizungen  (Oben und Unten)  Getrennt mit max 20ºC/s Heizrate.   Zwei 30-Segment-Präzisions-Temperaturregler sind mit +/-1ºC Genauigkeit eingebaut. RS485 Port und Steuerungssoftware sind enthalten, um den Betrieb von Ofen und Temperaturprofil Protokollierung über PC zu ermöglichen.   Es ist ein hervorragendes Werkzeug, um Dünnschicht der neuen Generation für Solarzellen wie CdTe, Sufide und Perovskite  Solarzellen zu erforschen  
 
Spezifikation:

Ofenstruktur   Vakuumkammer	Ofen, zwei Temperaturregler, zwei Kanal-Gasdurchflussmesser sind in einen mobilen Aluminiumrahmen integriert Die Kammer besteht aus einem hochreinen Quarzrohr Quarzrohr Größe: 11" OD / 10, 8" ID x 9" H Die Vakuumflansche sind aus Edelstahl 316 gefertigt
Vakuumflansche	Oberer Flansch mit einem KFD-25-Vakuumanschluss und einem Gas Auslass (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) Kann manuell nach oben oder unten gleiten, um ein- und auszuladen Substrat und verdampftes Material leicht Bodenflansch hat einen KFD-25-Vakuumanschluss mit einem Gas Einlass (1/4" Rohr erforderlich) mit Nadelventilen Der Flansch ist mit doppelten Silikon-O-Ringen abgedichtet und kann mit einer mechanischen Qualitätspumpe einen maximalen Vakuumdruck von 10E-2 Torr und mit einer Molekularpumpe von 10E-5 Torr erreichen Am oberen Flansch ist ein digitales Vakuummessgerät installiert.   Digitales Präzisionsvakuummessgerät für Korrosionsschutz ist optional gegen Aufpreis erhältlich (Pic. L 2, S.
Gasflussmesser	Gasmischer mit zwei Schwimmern mit einstellbaren Messbereichen: 16 -160 ml/m 500 - 5000 ml/m (zum Spülen)
Heizung und Probenhalter	Zwei unabhängig gesteuerte Heizungen mit manuell einstellbarem Abstand von 2 - 30 mm 20 Stück Halogenlampen werden als Heizelement für die schnelle thermische Verarbeitung verwendet. Die Heizungen sind aus Edelstahl mit Kaltwassermantel, um die Wärmestrahlung zu reduzieren und eine schnelle Kühlung zu ermöglichen. 5" Durchmesser. Kreisförmige Wafer Halter ist in Top-Heizung für die Aufnahme Substrat eingebaut. Ein Satz hochwärmeleitender AlN-Platten (5 Zoll Durchmesser x 0, 5mm mm dick) ist im Lieferumfang enthalten (auf der Rückseite des Substrats platzieren, um die Wärme gleichmäßig zu erzeugen). Ein 16L/min-Rücklaufwasserkühler ist im Lieferumfang enthalten, um Wasser zu sparen Quelle
Temperaturregler	Zwei digitale Präzisions-Temperaturregler mit 30 Segmenten programmierbar bieten Unabhängige Steuerung von Ober- und Unterheizungen Jeder Regler verfügt über eine PID-Funktion zur automatischen Einstellung, um Heizungen zu schützen Von Überschießen und Alarmfunktion, um Überhitzung und thermische zu vermeiden Paar kaputt PC-Kommunikationsschnittstelle und Software für installiert (Klicken Sie auf das Bild unten, um weitere Informationen zu erhalten. ) Temperaturprofil wird wie unten dargestellt aufgezeichnet
Betriebstemperatur	Max. Temperatur für jeden Heizkörper: < = 800ºC Max. Temperaturdifferenz zwischen zwei Heizungen: < = 300ºC abhängig vom Abstand zwischen zwei Heizungen: Abstand 30mm             Max. Temp. Differenz:   315ºC @ nur Heizboden
Heiz- Und Kühlrate	Heizung: > 8ºC/s (Heizung nur Einzelheizung) Kühlung: > 10ºC/s (600 - 100ºC) Max.
Thermoelement	Zwei Thermoelemente vom Typ K sind oben und unten installiert Heizungen separat
Betriebsspannung	208 - 240VAC, einphasig, 20A-Luftschalter
Stromversorgung	2200W insgesamt (  1100W für jede Heizung )
Garantie	Ein Jahr mit Lebenszeitunterstützung begrenzt
Abmessungen	1085mm L x 680mm B x 1710mm H

Werk

Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd ist hauptsächlich in der Forschung und Entwicklung, Design, Herstellung und Vertrieb von Geräten in wissenschaftlichen Forschungen verwendet beschäftigt. Unabhängigkeit und Innovation ist das Grundanliegen des Unternehmens. Unsere Hauptprodukte sind:   Rohrofen, Muffelofen, Plasmareiniger, Vakuumofen, Atmosphärenofen, CVD-System und kundenspezifische Laborgeräte. Willkommen Sie kommen zu uns.  


Ausstellung