Verwendung: | Halbleiter, Mikroelektronik |
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Art: | Plattenbelichtung |
Seite: | Einseitig |
Automatischer Grad: | Automatisch |
Produkttyp: | Chemicals |
Proximity Exposure: | Vakuum-Kontakt |
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Modell | EXPOMAC -Miniplatten-Aufnahme auf der Tischplatte | ||
550T | 650T | 750T | |
Belichtungsbereich (mm) | 550×450 | 650×550 | 750 x 650 |
Vakuumgeschwindigkeit | 0,5 l/s | ||
Vakuumgrad | 0-0,08Mpa | ||
Lichtquelle | 1KW | ||
Bruttogewicht (kg) | 40 | 40 | 45 |
Verpackungsgröße (mm) | 700 x 600 x 400 | 700 x 600 x 450 | 800 x 700 x 500 |
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