After-sales Service: | Online Video |
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Warranty: | 1 Year |
Kundenspezifische: | Kundenspezifische |
Struktur: | Desktop |
Material: | Stahl |
Bescheinigung: | CE |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Eingangsleistung | ·Einphasig 220 VAC, 50 / 60 Hz ·1000 W (einschließlich Vakuumpumpe und Wasserkühler) |
Stromquelle | ·13,5 MHz, 100 W HF-Generator mit manueller Anpassung ist im Lieferumfang enthalten und an die Sputterköpfe angeschlossen ·Lastbereich: 0 - 80 einstellbar. Abstimmbereich: -200J - 200J einstellbar ·Der drehbare Schalter kann jeweils einen Sputterkopf aktivieren. Sputterköpfe können „im Plasma“ geschaltet werden (kein Bruch von Vakuum und Plasma während eines mehrschichtigen Prozesses) ·Mit einem DC-Netzteil kann der Beschichter leicht in 1-Zoll-DC-Sputterquellen für die Metallfilmabscheidung modifiziert werden, wodurch drei DC-, ein RF-/zwei DC- und zwei RF-/ein DC-Sputterkopfkonfigurationen möglich sind ·Optional ist ein 300 W Auto-Match HF-Generator erhältlich Kosten |
Magnetron Sputterkopf |
·Drei 1" Magnetron Sputterköpfe mit Wasserkühlung Jacken sind Inklusive und über Schnellspanner in die Quarzkammer eingesetzt ·Der Austausch von HF-Kabeln kann bei CYKY erworben werden ·Ein manuell betätigter Verschluss ist auf dem Flansch aufgebaut ·Eine digital gesteuerte Rücklaufwassergekühlte 10 l/min ist im Lieferumfang enthalten Zum Kühlen von Sputterköpfen |
Sputterziel | ·Zielgröße Anforderung: 1" Durchmesser x 1/8" Dicke max ·Sputterabstand: 50 - 80 mm einstellbar ·Sputterwinkel: 0 - 25 Grad einstellbar ·Cu-Zielwert mit 1" Durchmesser und Al2O3 -Zielwert sind für enthalten Demo-Tests ·Verschiedene Oxid 1" Sputterziele sind auf Anfrage unter erhältlich Zusätzliche Kosten ·Für die Zielbindung sind 1 mm und 2 mm Kupferplatten enthalten. |
Vakuumkammer | ·Vakuumkammer: 256 mm OD x 238 mm ID x 276 mm Höhe, aus hochreinem Quarz ·Dichtflansch: 274 mm Durchmesser. Aus Aluminium mit Hochtemperatur-Silikon-O-Ring ·Der Edelstahl-Abschirmkäfig ist für 100 % Abschirmung von enthalten HF-Strahlung aus der Kammer ·Max. Vakuumniveau: 1,0E-5 Torr mit optionaler Turbopumpe und Kammebacken |
Probenhalter | ·Probenhalter ist ein drehbarer und beheizbarer Bühnenabschnitt aus Keramikheizung mit Edelstahlabdeckung ·Größe des Probenhalters: 50 mm Durchmesser für. 2-Zoll-Wafer max ·Drehzahl: 1 - 10 U/min einstellbar für gleichmäßige Beschichtung ·Die Haltertemperatur ist von RT bis max. 600 Grad (5 min max. Bei 600 Grad Celsius; 2 h max. Bei 500 Grad Celsius) mit Genauigkeit +/- 1,0 Grad Celsius über einen digitalen Temperaturregler einstellbar |
Vakuumpumpe | ·KF40 Vakuumanschluss ist für den Anschluss an eine Vakuumpumpe eingebaut. ·Vakuumniveau: 1,0E-2 Torr mit eingeschlossenen zweistufigen mechanischen Pumpe 1,0E-5 Torr mit optionaler Turbopumpe |
Größe | 540 mm L x 540 mm B x 1000 mm H |
Nettogewicht | 60 kg |
Compliance | CE-Zulassung |
Garantie | 1 Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen