4inch Dummy-Grad Hochreines Halbleitendes Siliziumkarbid-Wafer

• Anpassung: Verfügbar
• Zertifizierung: CCC, CE, RoHS
• ttv: ≤15μm
• Modell Nr.: 4inch Dummy Grade
• Durchmesser: 99,5~100mm
• Dicke: 500±25μm
• Spezifikation: 4 Zoll d Klasse
• Herkunft: China
• HS-Code: 2804611900
• Produktionskapazität: 50000

Produktbeschreibung

Produktbeschreibung
        Halbisolierende Siliziumkarbid-Substrate sind Einzelkristallscheiben, die durch Schneiden, Schleifen, Polieren, Reinigen und andere Prozesse von halbisolierenden Siliziumkarbid-Kristallen gebildet werden. Als wichtiger Rohstoff für Halbleiter der dritten Generation können Einkristall-Substratscheiben durch heteroepitaxiales Wachstum und die Herstellung von Bauelementen zu Siliziumkarbid-basierten Hochfrequenzbauelementen hergestellt werden. Sie sind wichtige Ausgangsmaterialien für die Entwicklung der Halbleiterindustrie der dritten Generation. Um die Kundennachfrage nach 4,6-Zoll-Produkten zu decken, bietet das Unternehmen in- und ausländischen Kunden 4,6-Zoll-halbisolierende Substratprodukte mit hoher Kostenleistung in Chargen an.

Nachgelagerte Produkte und Anwendungen
     Hochreines, halbisoliertes Siliziumkarbid-Einkristall-Substrat wird hauptsächlich in 5G-Kommunikation, Radarsystem, Seeker, Satellitenkommunikation, Flugzeugen und anderen Bereichen verwendet, mit den Vorteilen der Verbesserung des Hochfrequenzbereichs, Ultra-Langstrecken-Erkennung, Anti-Interferenz, High-Speed, große Kapazität Informationsübertragung und anderen Anwendungen, Und gilt als das ideale Substrat für die Herstellung von Mikrowellengeräten.

        Wir streben ständig nach höherer Kristallqualität und Verarbeitungsqualität, um die Kundenanforderungen besser zu erfüllen.
Derzeit können wir 4-Zoll- und 6-Zoll-Produkte in Chargen liefern.
8-Zoll-Produkte sind in der Entwicklung.                      

4 Zoll High Purity Semi-isolierendes SiC-Substrat
	Elemente	Einheit	Produktionsqualität	Dummy  -Klasse
1.Crystal-Parameter
1,1	Polytyp	--	4H	4H
1,2	Flächenausrichtung auf Achse	--	<0001>	<0001>
1,3	Flächenausrichtung außerhalb der Achse	Nr.	0±0,2 Grad	0±0,2 Grad
1,4	(0004) (FWHM)	Arcsec	≤45arcsec	≤100arcsec
2. Elektrische Parameter
2,1	Typ	--	HPSI	HPSI
2,2	Widerstand	ohm·cm	≥1E10 Ohm·cm	70 % Fläche > 1E5 Ohm·cm
3.Mechanische Parameter
3,1	Durchmesser	Mm	99,5~100mm	99,5~100mm
3,2	Dicke	μm	500±25μm	500±25μm
3,3	Primäre flache Ausrichtung	Nr.	[1-100]±5 Grad	[1-100]±5 Grad
3,4	Primäre flache Länge	Mm	32,5±1,5mm	32,5±1,5mm
3,5	Sekundäre flache Position	Nr.	90±5 90 ±CW von Primärflachschicht 5 Grad, Silizium Druckseite nach oben	90±5 90 ±CW von Primärflachschicht 5 Grad, Silizium Druckseite nach oben
3,6	Sekundäre flache Länge	Mm	18±1,5mm	18±1,5mm
3,7	LTV	μm	≤2μm(5mm*5mm)	ENTFÄLLT
3,8	TTV	μm	≤5μm	≤15μm
3,9	Schleife	μm	-15μm~15μm	-45μm~45μm
3,10	Verformen	μm	≤20μm	≤50μm
3,11	(AFM) Rauheit der Vorderseite (Si-Fläche)	Nm	RA≤0,2nm(5μm*5μm)	RA≤0,2nm(5μm*5μm)
4.Struktur
4,1	Dichte Der Mikropipe	ea/cm2	≤1ea/cm2	≤10ea/cm2
4,2	Kohlenstoffdichte	ea/cm2	≤1ea/cm2	ENTFÄLLT
4,3	Sechseckige Leere	--	Keine	ENTFÄLLT
4,4	Metallverunreinigungen	Atome/cm2	≤5E12Atome/cm2	ENTFÄLLT
5.Front Qualität
5,1	Vorne	--	Si	Si
5,2	Oberflächengüte	--	SiCMP Si-Face CMP	SiCMP Si-Face CMP
5,3	Partikel	ea/Wafer	≤60(Größe≥0.3μm)	ENTFÄLLT
5,4	Kratzer	ea/mm	≤2 , Gesamtlänge≤Durchmesser	ENTFÄLLT
5,5	Orangenhaut/Gruben/Flecken/Streifen/Risse/Verschmutzung	Mm	Keine	ENTFÄLLT
5,6	Kantenspäne/Einrückungen/Bruch/Sechskantplatten		Keine	Keine
5,7	Polytype-Bereiche	--	Keine	≤30 % (kumulierter Bereich)
5,8	Vordere Laserbeschriftung	--	Keine	Keine
6.Back Qualität
6,1	Zurück Ende	--	CCMP C-FACE CMP	CCMP C-FACE CMP
6,2	Kratzer	ea/mm	≤5 , Gesamtlänge≤2*Durchmesser	ENTFÄLLT
6,3	Rückdefekte (Kantenspäne/Einrückungen)	--	Keine	Keine
6,4	Rauheit des Rückens	Nm	RA≤0,2nm(5μm*5μm)	RA≤0,2nm(5μm*5μm)
6,5	Laserbeschriftung hinten	--	1mm (von Oberkante)	1mm (von Oberkante)
7.  Kante
7,1	Kante	--	Fase	Fase

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FAQ

 

Q1: Wie ist die Art der Schifffahrt ?
A: Wir akzeptieren DHL, Fedex, TNT, UPS, EMS, SF und etc
Q2: Wie bezahlen?
A: T / T, PayPal und etc..
Q3: Was ist die Lieferzeit?
A: Für Warenbestand: Die Lieferzeit beträgt 10 Werktage.   Für kundenspezifische Produkte: Die Lieferzeit beträgt 10to 25 Werktage. Je nach Menge.
Q4: Kann ich die Produkte nach meinem Bedarf anpassen?
 A: Ja, wir können die Spezifikationen nach Ihren Bedürfnissen anpassen.
Q5: Wie kann die Qualität Ihrer Produkte garantiert werden?
 A: Strenge Erkennung während der Produktion.strenge Probenahme Inspektion auf Produkten vor dem Versand und intakte Produktverpackung gewährleistet.