Eigenfrequenz: | 1-2Hz, vertikal; 1-1,5 hz, horizontal |
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Schwingungsisolierung: | Gummipads und Hohlkegel Gummistruktur |
Abgleichtyp: | Automatisch, Luftfeder. Poröser quasi-laminarer Durchfluss d |
Effizienz der Schwingungsisolierung: | 86-92%@5Hz, 90-95%@10Hz, vertikal |
Wirkungsgrad der Schwingungsisolierung (horizontal: | 84-94%@5Hz, 92-98%@10Hz, horizontal |
Tischhöhe: | 800mm oder angepasst |
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Inhärente Frequenz | Vertikal: 1,0~2,0Hz Horizontal: 1,0~1,5Hz |
Isolationsmodus: | Luftfeder und Glühbirne selbstzentrierende Pendelstange |
Nivellierung: | Automatische Nivellierung und Steuerung |
Dämpfungsmodus | Luftdämpfungslöcher |
Höhe | 800mm |
Betriebsdruck | 0,2~0,4MPa |
Luftquelle | Geräuscharmer Kompressor <50dB |
Amplitude | <1μm |
Wiederholgenauigkeit | ±0,1mm |
Ebenheit Der Oberflächenplatte | ≤0,05mm/m² |
Rauheit | ≤0.8μm, Matt |
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