Optische Dünne Filme Halbleiter-Nanostrukturkartierung Messung spektroskopischer Ellipsometer

• Kundendienst: 1 Jahre
• Garantie: 1 Jahre
• Art: 2D-Videomesssystem
• Modell Nr.: MD
• Bedienungsmethode: CNC
• Transportpaket: Holzgehäuse
• Warenzeichen: mh
• Herkunft: China
• Produktionskapazität: 1000

Produktbeschreibung

Spektroskopisches Ellipsometer
Spektrale Ellipsometer können schnelle und automatische Mehrpunkt-Tests durchführen und die Gleichmäßigkeit der Proben mit einem Klick testen. Der Polarisator, Analysator und Kompensator des Produkts sind beide mit hochpräzisen Positionssicherungen mit absoluter Codierung und Bandspaltkompensation ausgestattet, was die Systemgenauigkeit und -Stabilität erhöht. Durch die Verwendung einer Dual-Fiber-Architektur zur Verbesserung der Effizienz der Lichtaufnahme können von Ätzsäurepolieroberflächen oder herkömmlichen Pyramidenfronten ausreichend Spektren für Tests und Analysen erfasst werden. Es verfügt auch über grundlegende Funktionen wie Autofokus, Lichtintensitätsauswahl und Phasenausgleich.
Entwickelt für die hochpräzise und hocheffiziente Analyse optischer Eigenschaften von Materialien. Es kann automatisch, schnell und genau den Brechungsindex, Extinktionskoeffizient und die Schichtdicke von Materialien messen. Es eignet sich für Dünnschicht- und Materialcharakterisierungen in der wissenschaftlichen Forschung, Halbleitern, Photovoltaik, optischen Beschichtungen, Display-Panels und anderen Bereichen.

Messobjekt:
Optische Beschichtung: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2, Pi.
ANZEIGE: OLED (AIG3, PCBM, NPB, NPD...), ELEKTRODEN (ITO, PEDOT, MgO, AG, Al, mg...) ...
Photovoltaik: SI, Poly-Si, SiNx, CDs, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-th:PC71BM.
Halbleiter: Photoresist, ZnO, Sion, SiC, SiGe, Gan, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Sonstiges: OCD, 2-D Materialien, Van der Waals Heterojunction und Device...



Messprinzip:
Das Prinzip der Ellipsometrie-Messung basiert auf der Veränderung des Polarisationszustandes von optischen Spiegelungen vor und nach der Oberfläche des Mediums, um die optische Eigenschaft und Strukturinformationen zu erhalten.

Das elektrische Feld des einfallenden Strahls wird in zwei vertikale Richtungen zerlegt, p Licht parallel zur Schwingung der Lichtwelle, s Licht senkrecht zur Schwingung der Lichtwelle. Die Amplituden und Phasen des p- und S-Lichts ändern sich, wenn der Strahl von der Oberfläche des Mediums reflektiert wird.

Die Korrelation zwischen den physikalischen Eigenschaften des Mediums und der Veränderung des Zustands der Polarisation.

Produktfunktion:
Brechungsindexmessung: Messen Sie den Brechungsindex von Materialien bei verschiedenen Wellenlängen genau und liefern Sie Schlüsseldaten für das optische Design und die Materialforschung.
Extinktionskoeffizient Messung: Analysieren Sie die Lichtabsorptionseigenschaften von Materialien, um die Leistung optoelektronischer Geräte zu optimieren.
Schichtdickenmessung: Unterstützt die Dickenerkennung von Nanometer- bis Mikrometer-Folien mit hoher Auflösung und guter Wiederholbarkeit.
Schnelle automatische Prüfung: Mit der automatischen Mehrpunkt-Scanfunktion erreicht die Messgeschwindigkeit 1 Sekunden/Punkt, was die Effizienz der Chargenprüfung erheblich verbessert.

Arbeitsumgebung des Geräts:
Leistung: 220VAC+10%
Raumtemperatur:Umgebungstemperatur(10-30)ºC
Relative Luftfeuchtigkeit: (20-80) % rel. Luftfeuchtigkeit

Spektrometer:
Detektionseinheit: 2048 Pixel schneller, rückwärtig beleuchteter CCD-Detektor
Detaillierte Parameter :
A. Spektrumanfang besser als 350nm-1000nm
B. Streulicht<0,02 %@400nm
C. Signal-Rausch-Verhältnis 4800
D. Dynamikbereich 50000:1
E. Holographischer Lichtweg
F. digitale Auflösung 16 Bit
J. Lesegeschwindigkeit >400kHz
K. Datenübertragungsgeschwindigkeit 600MB/s.
H. Mindestintegrationszeit/Anpassungsschritt 6 US /1us
I. Verzögerung bei externem Trigger 95ns+/-20ns
J. Computerschnittstelle USB4,1C/2,0
K. Betriebssystem Win 7/in 8/Win 10
Verage QE im UV-Bereich hinterleuchtetes CCD, durchschnittliche QE ≥75 % Kühlung des Kühlsystems Mikro-TE, Temperatur nach Kühlung ist 30'c niedriger als Umgebungstemperatur.
Integrationsmethode Software gesteuert automatische Integration Zeiteinstellung, kann am besten zu erreichen

Lichtquelle:
Lichtquelle Halogenlampe mit Quarzlampe, Wellenlängenbereich 350nm-2000nm, keine Lebensdauer mehr als 50000 Stunden.
Stromversorgung unabhängige Stromversorgung für Halogenlampenspannung 4,9vd

Stufe mit Autofokus-Funktion:
Bewegen Sie die Probe mit automatischer Fokussierung in die beste Messposition FunktionHub:100mm
Genauigkeit: 0,0005mm
Standortbegrenzung mit positivem und negativem Grenzwert und Nullpositionssensor; Start-, Endposition, Schrittlänge der Autofokus-Funktion können in der Software mit der Gaußschen Regressionsmethode eingestellt werden; festgelegte Integrationszeit einstellen und Intensität der Fokusmethode erfassen

Tabelle zur Auswahl der Basisparameter:

Spektralbereich	350-1000nm	C			Sichtbar
	210-1000nm	UC			UV-sichtbar
	210-1700nm	UN			UV-Vis-NIR
Optischer Kompensator	RC				Einzelner Kompensator
	RC2		C2		Doppelkompensator
Spektralbereich	X-Y			M	Großer Hub bis zu 230mm
	X-R			R	Großer Durchmesser bis 300mm

Optisches System:

Einfallswinkel	65 Grad
Strahlabweichung	< 0,3
Messparameter	PSI&Del,TanPsi&CosDel,Alpha&Beta
Polarisatoren	Glan-Thompson
Material	A-BBO
Kompensator	Phasenverzögerung der Viertelwelle, hyperachromatisch
Intensitätsauswahl	Lineares optisches Dichtemessungswahlelement. Gewährleistet ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis im Messprozess, verbessert die Datengenauigkeit, verhindert, dass die Lichtintensität gesättigt oder zu schwach wird, um das Signal-Rausch-Verhältnis und die Genauigkeit zu reduzieren
Optisches Design	Dual Fiber leiten das Licht von der Lampe zum Spektrometer durch Polarisationselemente; stabiler Lichtweg, bequem zum Lampenwechsel
Glasfaser	UV-Schutz; NA=0,22; durchsichtige Blende 600um
Mikro-Lichtfleck	Durchmesser ≤200um, um zwischen dem nützlichen Licht von der Vorderseite reflektiert und das nutzlose Licht von der Unterseite reflektiert zu unterscheiden, leicht zu zerlegen
Schlitz	1 50um, zur Unterscheidung zwischen dem von der Vorderseite reflektierten nützlichen Licht und dem von der Unterseite reflektierten nutzlosen Licht

Maschinenstruktur:

Minder-Hightech ist Vertriebs- und Servicemitarbeiter in der Halbleiter- und Elektronikindustrie.  
Seit 2014 ist das Unternehmen verpflichtet, Kunden mit überlegenen, zuverlässigen und One-Stop-Lösungen für Maschinen Ausrüstung.  


FAQ
1. Über Den Preis:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Anpassungskomplexität Ihres Geräts.

2. Über Probe:
Wir können Ihnen gerne Musterproduktionsleistungen anbieten, Sie können jedoch einige Gebühren erheben.

3. Über Die Zahlung:
Nachdem der Plan bestätigt ist, müssen Sie uns eine Anzahlung zuerst bezahlen, und die Fabrik beginnt mit der Vorbereitung der Ware. Nachdem die Ausrüstung fertig ist und Sie den Restbetrag bezahlen, werden wir sie versenden.

4. Über Lieferung:
Nach Abschluss der Fertigung der Geräte senden wir Ihnen das Video zur Abnahme zu. Sie können auch zur Inspektion der Geräte vor Ort kommen.

5. Installation und Debugging:
Nachdem die Ausrüstung in Ihrem Werk eintrifft, können wir Techniker entsenden, um die Ausrüstung zu installieren und zu debuggen. Wir unterbreiten Ihnen ein separates Angebot für diese Servicegebühr.

6. Über Garantie:
Unsere Geräte haben eine 12-monatige Garantiezeit. Nach Ablauf der Garantiezeit berechnen wir nur den Preis, wenn Teile beschädigt sind und ersetzt werden müssen.