Fortgeschrittenes Konstantdruckregelungssystem für optimale Leistung

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Grundlegende Informationen

Modell Nr.
Made-to-order
Art
Edelstahl-Heizung
Zertifizierung
CE
Struktur
Horizontal Typ
Marke
rj
Stromversorgung
Einphasig 220V/50Hz
Stromverbrauch
1kW
Vakuumpumpe
drv16c VFD-Pumpe (kf25 Flansch)
Hohe Präzision
200-700PA
Transportpaket
Holzgehäuse
Spezifikation
Angepasst
Warenzeichen
rj
Herkunft
Zhengzhou, China

Produktbeschreibung

Advanced Constant Pressure Control System Machine for Optimal PerformanceAdvanced Constant Pressure Control System Machine for Optimal PerformanceAdvanced Constant Pressure Control System Machine for Optimal PerformanceKonstantdruckregelsystem (Modell RJ-HY-DRV16)
1. Systemübersicht
Ein fortschrittliches Druckregelungssystem mit VFD-Technologie (Variable Frequency Drive) für präzise Vakuumkontrolle bei Dünnschichtabscheidung und Materialverarbeitung. Entwickelt für die Integration mit Rohröfen, CVD/PECVD-Systemen und Analysegeräten.
2. Hauptmerkmale
2,1 Präzisionsdruckregelung
  • Regelung mit zwei Bereichen:
    • Feinsteuerung: 200-700Pa (±1Pa) über digitales Vakuummeter
    • Breite Steuerung: 10-50kPa (±1%) über Drucksensor
  • Adaptive Anpassung der Pumpgeschwindigkeit in Echtzeit
2,2 Intelligente Überwachung
  • IoT-fähige (WiFi/RJ45) Fernbedienung
  • 30-Tage-Datenprotokollierkapazität (8hrs/Tag)
  • TCP/IP-Protokoll für SCADA-Integration
  • Visuelle Anzeige der Drucktrends
3. Technische Spezifikationen
Parameter Spezifikation
Stromversorgung Einphasig 220V/50Hz
Stromverbrauch 1KW
Vakuumpumpe DRV16C VFD-Pumpe (KF25 Flansch)
  - enthält Ölnebelfilter
Druckbereiche  
Hohe Präzision 200-700Pa
Standardbereich 10-50kPa
Messgeräte  
Digitales Vakuummessgerät PG800K (1-10.000Pa)
Drucksensor 0-100kPa Bereich
Abmessungen 650×420×450mm
Gewicht 40kg
4. Leistungseigenschaften
4,1 Steuerungsparameter
Metrisch Wert
Durchflussbereich 200-1000ml/min (fein)
  6-17L/min (Standard)
Reaktionszeit <500ms für 10 % Druckschwankungen
Stabilität ±0,5 % des Sollwerts
4,2 Systemintegration
  • Kompatibel mit:
    • Thermische CVD-Systeme
    • Plasmaverstärkte Abscheidung
    • Sputtersysteme
    • Gasmischstationen
  • Flanschanschluss Standard KF25
5. Betriebliche Vorteile
  1. Prozessoptimierung
    • Hält einen stabilen Druck bei Änderungen des Gasflusses aufrecht
    • Ermöglicht wiederholbare Abscheidungsbedingungen
    • Reduziert Filmdefekte durch Druckschwankungen
  2. Vorteile Für Den Benutzer
    • Touchscreen-Schnittstelle mit Rezeptaufbewahrung
    • Automatische Drehzahleinstellung der Pumpe
    • Fernüberwachung über Mobil/Desktop
  3. Sicherheitsfunktionen
    • Überdruckschutz
    • Überlastschutz der Pumpe
    • Notentlüftung
6. Wartung Und Support
  • 12 Monate Garantie (ohne Verbrauchsmaterialien)
  • Technische Unterstützung über die gesamte Lebensdauer
  • Empfohlenes Serviceintervall: 2000 Betriebsstunden
7. Typische Anwendungen
  • Dünnschichtabscheidung für Halbleiter
  • Optische Beschichtungsprozesse
  • Vakuumglühsysteme
  • Oberflächenmodifikation
  • Materialsynthese auf Forschungsebene
Dieses System stellt eine bedeutende Weiterentwicklung der Prozessleittechnik dar und bietet Präzision in Laborqualität mit industrieller Zuverlässigkeit. Die VFD-Pumpenarchitektur reduziert den Energieverbrauch um bis zu 40 % im Vergleich zu herkömmlichen Vakuumsystemen und bietet gleichzeitig eine hervorragende Druckstabilität.
Für eine optimale Leistung empfehlen wir die Kopplung mit unseren Röhrenöfen und Gasversorgungssystemen der RJ-Serie für eine vollständige Prozessintegration.
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