Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Modus Abmessungen |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1300 | JTL-1600 |
Φ9001000mm | Φ11001000mm | Φ13001200 mm | Φ16001200 mm | |
Beschichtungsmodus und Hauptbestätigung |
3 Lichtbogen + 2 Paar flache rechteckige Kathode | 6 Lichtbogen + 2 Paar zylindrische Kathode | 5 Lichtbogen + 4 Paar Zylindrische Kathode | 6 Lichtbogen + 8 Paar zylindrische Kathode |
Filmtypen | Metallfolien, dielektrische Filme, Verbundfolien, Reaktionsfilme, Muti-Schicht Funktionsfilme | |||
Stromversorgung | Elektrische Lichtbogen Stromversorgung, DC Magnetron Stromversorgung, MF Magnetron Stromversorgung. Pulse Bias Spannung Stromversorgung. Ionenquelle Stromversorgung. | |||
Prozessgassteuerung | Qualitäts-Durchflussmesser + Elektromagnetismus Keramik Ventil | |||
Vakuumkammer-Struktur | Vertikale (seitliche) Tür, Postposition des Pumpensystems, doppelte Wasserkühlung | |||
Vakuumsystem | Molekülpumpe (Diffusionspumpe)+Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe (8, 0*10 -4 Pa) | |||
Pumpgeschwindigkeit | Pumpzeit weniger als 15 Minuten, von atmosphärischem Druck zu 310 -3 Pa | |||
Bewegungsmodus Werkstück | Öffentliche Rotation Frequenzregelung: 0-20 Umdrehungen pro Minute | |||
Messmodus | Zahlenanzeige Composite-Vakuummeter: Von Atmosphäre bis 1, 0*10 -5 Pa | |||
Steuerungsmodus | Vollautomatische Steuerung PC+PLC/PC+HMI | |||
Anmerkung | Wir können die Dimension der Ausrüstung nach Kunden spezielle Technik Anforderung zu entwerfen. |
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