| Anpassung: | Verfügbar |
|---|---|
| Garantie: | 1 Jahre |
| Genauigkeit: | ¡À0.6-1% |
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Geprüfter Lieferant Von einer unabhängigen externen Prüfstelle geprüft
ANHANG 2 SPEZIFIKATIONEN | Modell | 5800 | |
| Vollständiger Skalenbereich (N2 eqv.) | 2 SCCM – 50 SLM | |
| Steuerventil | Schließer/Öffner | |
| Montage | 1/4" VCR oder 1/4" Swagelok kompatibel | |
| Dichtung | FKM-Dichtung | FKM |
| Metall/Vollmetalldichtung | Ni | |
| Reaktionszeit | ≤0,8 Sek. | |
| Genauigkeit | ≥25 % F.S. | ≤±1 % S.P. |
| <25 % F.S. | ≤± 0,25 % F.S. | |
| Linearität | ≤±0,5 % F.S.(≥30SLM: ≤1 %) | |
| Wiederholbarkeit | ≤±0,1 % F.S. | |
| Betriebsdifferenzial Druck |
2 SCCM – 5 SLM | 0,05 - 0,28 MPa |
| 6 SLM – 50 SLM | 0,1 - 0,28 MPa | |
| Unversehrtheit | FKM-Dichtung | Max. 1 x 10-9Pa.m3/s (He) |
| Metall/Vollmetalldichtung | Max. 1 x 10-11Pa.m3/s (He) | |
| Regelbereich | 2-100% F.S. | |
| Max. Betriebsdruck | 0,48 MPa | |
| Prüfdruck | 1 MPa | |
| Kommunikationstyp | Digital: RS-485 / Analog: DC 0-5V | |
| Stromversorgung | ±15VDC | +15VDC ±2% 25mA |
| -15VDC ±2% 180mA | ||
| +12VDC - +32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA | |
| Ausgangssignal | Digital: RS-485 / Analog: DC 0-5V | |
| Stromverbrauch | ±15VDC | 3,1W |
| +12VDC - +32VDC | 6W | |
| Betriebstemperatur | 5-45 Grad C | |
| Material | FKM-Dichtung | SUS316L, FKM, PTFE, elektromagnetischer Edelstahl |
| Metalldichtung | SUS316L, Ni, PTFE, elektromagnetischer Edelstahl | |
| Metalldichtung | SUS316L, Ni, elektromagnetischer Edelstahl | |
| Oberflächengüte | FKM-Dichtung | ≤5RA |
| Metalldichtung | TC,≤5RA | |
| Gewicht | Ca. 0,8 KG | |
| Modell | 5800 | |
| Vollständiger Skalenbereich (N2 eqv.) | 50 SLM – 150 SLM | |
| Steuerventil | Schließer/Öffner | |
| Montage | 3/8" VCR oder 1/2" Swagelok kompatibel | |
| Dichtung | FKM-Dichtung | FKM |
| Metall/Vollmetalldichtung | Ni | |
| Reaktionszeit | ≤2 Sek. | |
| Genauigkeit | ≤±1,5 % F.S. | |
| Linearität | ≤±0,5 % F.S. | |
| Wiederholbarkeit | ≤±0,2 % F.S. | |
| Unversehrtheit | FKM-Dichtung | Max. 1 x 10-9Pa.m3/s (He) |
| Metall/Vollmetalldichtung | Max. 1 x 10-11Pa.m3/s (He) | |
| Regelbereich | 2-100% F.S. | |
| Max. Betriebsdruck | 0,48 MPa | |
| Prüfdruck | 1 MPa | |
| Kommunikationstyp | Digital: RS-485 / Analog: DC 0-5V | |
| Stromversorgung | ±15VDC | +15VDC ±2% 25mA |
| -15VDC ±2% 180mA | ||
| +12VDC - +32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA | |
| Ausgangssignal | Digital: RS-485 / Analog: DC 0-5V | |
| Stromverbrauch | ±15VDC | 3,1W |
| +12VDC - +32VDC | 6W | |
| Betriebstemperatur | 5-45 Grad C | |
| Material | FKM-Dichtung | SUS316L, FKM, PTFE, elektromagnetischer Edelstahl |
| Metalldichtung | SUS316L, Ni, PTFE, elektromagnetischer Edelstahl | |
| Metalldichtung | SUS316L, Ni, elektromagnetischer Edelstahl | |
| Oberflächengüte | FKM-Dichtung | ≤5RA |
| Metalldichtung | TC,≤5RA | |
| Gewicht | Ca. 1,8 KG | |
| Modell | 5800 | |
| Vollständiger Skalenbereich (N2 eqv.) | 100 SLM – 300 SLM | |
| Steuerventil | Schließer/Öffner | |
| Montage | 3/8" VCR oder 1/2" Swagelok kompatibel | |
| Dichtung | FKM-Dichtung | FKM |
| Metall/Vollmetalldichtung | Ni | |
| Reaktionszeit | ≤ 2 Sek. | |
| Genauigkeit | ≤± 2 % F.S. | |
| Linearität | ≤±0,5 % F.S. | |
| Wiederholbarkeit | ≤±0,2 % F.S. | |
| Betriebsdifferenzial Druck |
100 SLM – 150 SLM | 0,15Mpa - 0,3 MPa |
| 150 SLM- 200 SLM | 0,18Mpa - 0,3 MPa | |
| 200 SLM – 300 SLM | 0,21Mpa - 0,3 MPa MPa | |
| Unversehrtheit | FKM-Dichtung | Max. 1 x 10-9Pa.m3/s (He) |
| Metall/Vollmetalldichtung | Max. 1 x 10-11Pa.m3/s (He) | |
| Regelbereich | 2-100% F.S. | |
| Max. Betriebsdruck | 0,48 MPa | |
| Prüfdruck | 1 MPa | |
| Kommunikationstyp | Digital: RS-485 / Analog: DC 0-5V | |
| Stromversorgung | ±15VDC | +15VDC ±2% 25mA |
| -15VDC ±2% 180mA | ||
| +12VDC - +32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA | |
| Ausgangssignal | Digital: RS-485 / Analog: DC 0-5V | |
| Stromverbrauch | ±15VDC | 3,1W |
| +12VDC - +32VDC | 6W | |
| Betriebstemperatur | 5-45 Grad C | |
| Material | FKM-Dichtung | SUS316L, FKM, PTFE, elektromagnetischer Edelstahl |
| Metalldichtung | SUS316L, Ni, PTFE, elektromagnetischer Edelstahl | |
| Metalldichtung | SUS316L, Ni, elektromagnetischer Edelstahl | |
| Oberflächengüte | FKM-Dichtung | ≤5RA |
| Metalldichtung | TC,≤5RA | |
| Gewicht | Ca. 1,93 KG | |
| Modell | 5800 | |
| Vollständiger Skalenbereich (N2 eqv.) | 300 SLM – 2000 SLM | |
| Steuerventil | Schließer/Öffner | |
| Montage | 3/4" VCR oder 1" Swagelok kompatibel | |
| Dichtung | FKM-Dichtung | FKM |
| Reaktionszeit | ≤ 2 Sek. | |
| Genauigkeit | ≤± 2 % F.S. | |
| Linearität | ≤± 1 % F.S. | |
| Wiederholbarkeit | ≤± 0,25 % F.S. | |
| Betriebsdifferenzial Druck |
0,25MPa - 0,7 MPa | |
| Unversehrtheit | FKM-Dichtung | Max. 1 x 10-9Pa.m3/s (He) |
| Regelbereich | 2-100% F.S. | |
| Max. Betriebsdruck | 0,7 MPa | |
| Prüfdruck | 3 MPa | |
| Kommunikationstyp | Digital: RS-485 / Analog: DC 0-5V | |
| Stromversorgung | ±15VDC | +15VDC ±2% 25mA |
| -15VDC ±2% 180mA | ||
| +12VDC - +32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA | |
| Ausgangssignal | Digital: RS-485 / Analog: DC 0-5V | |
| Stromverbrauch | ±15VDC | 3,1W |
| +12VDC - +32VDC | 6W | |
| Betriebstemperatur | 5-45 Grad C | |
| Material | FKM-Dichtung | SUS316L, FKM, PTFE, elektromagnetischer Edelstahl |
| Oberflächengüte | FKM-Dichtung | ≤5RA |
| Metalldichtung | TC,≤5RA | |
| Gewicht | Ca. 5,22 KG | |
| Modell | Digitale Kommunikation | 58 | |||||||||
| Serie | Standardmodell | 00 | |||||||||
| Produkttyp | Massendurchflussregler | FC | |||||||||
| Massendurchflussmesser | FM | ||||||||||
| Dichtung | FKM | R | |||||||||
| Metall | M | ||||||||||
| Alles Aus Metall | T | ||||||||||
| Kommunikation | Digital (RS485/Modbus) und Analog 9pin/±15V | RN | |||||||||
| Digital (RS485/Modbus) und Analog 9pin/12-32V | RV | ||||||||||
| Digital (RS485/Modbus) und Analog 9pin/±15V LCD | RM | ||||||||||
| Digitales (RS485/Modbus) und analoges 9pin/12-32V LCD | RW | ||||||||||
| Steuerventil | Normalerweise Geschlossen | C | |||||||||
| Schließer (*1) | O | ||||||||||
| Temperatur | Standard 5-45 Grad C | S | |||||||||
| Hohe Temperatur* | H | ||||||||||
| Fitting (*2) | 1/8" VIDEOREKORDER | E2V | |||||||||
| 1/4" VIDEOREKORDER | E4V | ||||||||||
| 1/8" Swagelok Kompatibel | E2S | ||||||||||
| 1/4" Swagelok Kompatibel | E4S | ||||||||||
| 3/8" Swagelok Kompatibel | E6S | ||||||||||
| 1/2" Swagelok Kompatibel | E8S | ||||||||||
| 1-Zoll Swagelok Kompatibel | EGS | ||||||||||
| 6mm LOK | G6S | ||||||||||
| 10mm LOK | GXS | ||||||||||
| 6mm Schnellverbindungsrohr | G6T | ||||||||||
| IGS 1,125„C-DICHTUNG | REGIERUNGSKONFERENZ | ||||||||||
| IGS 1,125„W-DICHTUNG | IGW | ||||||||||
| GAS | Gas | N2 | |||||||||
| Vollauskala | Durchflussrate | 100 SCCM |
| BEISPIEL MFC:5800-FCRRNCS-E4V-N2-100SCCM / MFM:5800-FMRRNS-E4V-N2-100SCCM |
| (*1) für kundenspezifische Modelle wenden Sie sich bitte an Ihren Ansprechpartner. (*2) für weitere Montageoptionen wenden Sie sich bitte an Ihren Ansprechpartner. (*3) die Durchflussrate wird bei Standardtemperatur und -Druck kalibriert (N2 eqv.). (Standard: 0 Grad C und 101kPa) (*4)5800 digitales RS-485 Modell ist mit analogem Modell erhältlich (DC 0-5V) (*5) Mehr Anforderung der elektrolytischen Polieren oder Passivieren , wenden Sie sich bitte an Ihren Vertriebsmitarbeiter. (*6) Temperatur für Hochtemperatur-Modelle kann angepasst werden. |
