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Produktverwendung:
Dieses Produkt ist hauptsächlich auf den Bereich der SIC-Leistungsbaugeräterfertigung ausgerichtet. Die SIC/PI-Verbundfolie wird bei 600-1050 Grad in einer Stickstoffatmosphäre verkohlt. Während des Carbonisierungsprozesses interagieren die SIC-Nanopartikel mit PI zu einer chemischen Bindung, die ihre Hitzebeständigkeit verbessert.
Funktionen:
1. Integriertes Mensch-Maschine-Betriebssystem, kontinuierliche automatisierte Produktion, hohe Arbeitseffizienz, Einsparung von Arbeitskosten, Strom und Prozesszeit;
2. FEC Heizung, schnellen Temperaturanstieg und gute Gleichmäßigkeit;
3. Hergestellt aus hochwertigem Edelstahl, wurde die Oberfläche physikalisch und chemisch poliert, um Sauberkeit zu gewährleisten;
4. Kommt mit Selbstreinigungsfunktion - Hochtemperaturreinigung.
Technische Parameter
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Handhabung von Produkten |
6/8inch-Wafer |
Durchsatz |
100pcs/Röhrchen |
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Heizung |
Runde FEC-Heizplatte |
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Zufuhröffnung |
2_ |
Manipulator |
1 |
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Temperaturbereich |
Langzeitbenutzungstemperatur: 950ºC, Maximaltemperatur: 1050ºC |
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Heizrate |
<8ºC/min |
Abkühlrate |
<7ºC/min |
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Heizleistung |
30kW (Einzelofen) |
Heiztemperaturzone |
3_ |
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Gleichmäßigkeit der Ofentemperatur |
±2ºC (950ºCconstant Temperatur) |
Thermoelement für Temperaturregelung |
K-Graduierung |
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Temperaturregelung |
SSR |
Programmsteuerung |
PID-Regelung |
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Ofenmaterial |
Quarz |
Isoliermaterialien |
Keramikfaser |
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Atmosphärenregelung |
Mehrkanal-Durchflussmesser regelt Lufteinlass:Durchflussmessbereich: 1)0-150L/minnitrogen2)0-40L/minSauerstoff |
Atmosphäre |
N2/O2 |
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Auspuffanlage |
Stellen Sie oben einen Abgaskamin für Abfälle auf Gasemissionen und Rückgewinnung |
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Steuerungssystem
*die Mensch-Maschine-Schnittstelle nimmt Touchscreen-Modus an
*der Kerncontroller nimmt eingebetteten Controller an
*Übertemperaturschutz ist ein unabhängiges Detektionsgerät
*mit Sauerstoffgehalt-Detektionsfunktion
* Motion Control ist Servo/Stepper-Steuergerät
*Transmission ist ein professioneller Wafer Transfer Roboter
*die Software hat Funktionen: Temperaturregelung, Atmosphärenregelung, Prozessbearbeitung, Datenaufzeichnung und Diagrammanzeige.
Jiangsu Himalaya Semiconductor Co., Ltd wurde 2019 gegründet und beschäftigt sich hauptsächlich mit dem internationalen Handel und der Integration von Geräten der Halbleiterindustrie. Die Ausrüstung wird derzeit in über 30 Länder importiert und exportiert, mit über 200 Kunden und Lieferanten, mit dem Ziel, die Beschaffung der kostengünstigsten Produkte in der Endphase für Kunden zu kontrollieren und streben nach einmaliger Zahlungsabwicklung und Risikovermeidung für Lieferanten!
Unsere Hauptprodukte: Die Bonder, Draht-Bonding, Laser-Marking (ID IC Wafer), Laser-Nuten, Laser-Schneiden (Glas Keramik Wafer Verpackung, Laser interne Modifikation Maschine Si / sic Wafe, Laser interne Modifikation Maschine LT / LN Wafer, Laser Glüh-Maschine für Si / sic, automatische Dicing Säge Maschine (Wafer Verpackung)), automatische Silikon-Dispensing-Ausrüstung.
Q1:wie wählt man eine geeignete Maschine aus?
A1:Sie können uns das Material des Werkstücks, die Größe und die Anforderung der Maschinenfunktion mitteilen. Wir können die am besten geeignete Maschine nach unserer Erfahrung empfehlen.
Q2:wie lang ist die Garantiezeit für das Gerät?
A2:ein Jahr Garantie und 24 Stunden Online-Support.
Q3:wie wählt man eine geeignete Maschine aus?
A3:Sie können uns die Anforderung der Maschinenfunktion mitteilen. Wir können die am besten geeignete Maschine nach unserer Erfahrung empfehlen.
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