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| Jinan ACME MW1070 MPCVD-Maschine | ||
| Vakuum | Vakuummessung | Piezoresistiver Messbereich 0,1-100kPa Kapazitätsmesser 0-1000Pa |
| Betriebsdruckbereich | 4-28Kpa | |
| Vakuumleckrate | ≤ 5 * 10-9Pa.M3/S (He-Leckerkennung) | |
| Druckregelung | Automatische Steuerung | |
| Hohlraummaterial | Anregungskammer aus Aluminiumlegierung, Quarzvakuumkammer | |
| Beobachtungsfenster | Temperaturmessöffnung mit Durchmesser 10mm und Sichtfenster Poröses Loch | |
| Kühlmodus | Kühlmodus | Wasserkühlung + Luftkühlung der Kammer |
| Größe der Probentabelle | Molybdän-Stufe Φ 70mm, einheitliche Fläche Φ 50mm | |
| Temperaturmessung | Infrarot-Thermometer, Bereich 300-1400 ºC | |
| Kühlwasserfluss | >50L/min | |
| Kühlwassertemperatur | 20 22ºC | |
| Kühlwasserschnittstelle | 1-Zoll-Schnittstelle für Außenleiter | |
| Betriebssystem | Betriebssystem | SPS-Steuerung, 15 Zoll Touchscreen-Steuerung |
| Menü „Prozess“ | 10 Prozessmenüs, je 25 Zeilen | |
| Mikrowelle und Stromversorgung | Mikrowellenfrequenz | 2,45±0,1GHz |
| Ausgangsleistung | 1,5-7,5kW (mit 10kw Haushaltsmikrowellenstromversorgung) | |
| Eingangsstrom | 380 AC/50Hz, dreiphasig, 5-adrig (3 * 10+2 * 6-Stromleitung),>15kW | |
| Leckrate der Mikrowelle | Mikrowellenauslaufrate 5cm weg von der Ausrüstung ≤ 5mW/cm2 | |
| Prozessgas | Durchflussmesser und Schnittstelle | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 „VCR Druckluftröhrchen-Schnellstecker, Buchse, 8mm Pu |
| Der Durchflussmesser kann die Art des verwendeten Gases durch ändern Software | ||
| Luftdruck | 0,3-0,35MPa | |
| Druckluftdruck | 0,5-0,6MPa | |
| Vakuumpumpe | Drehschieber-Vakuumpumpe | Ölpumpe |
| Pumpgeschwindigkeit | 4L/S | |
| Stromversorgung | AC 380V (±10 %) | |
| Schnittstelle | Luftabsaugung KF25, Luftabsaugung KF25 | |
| Betriebsumgebung | Umgebungstemperatur und Luftfeuchtigkeit | Die Raumtemperatur liegt unter 26 ºC und die luftfeuchtigkeit ist niedriger als 40% |
| Gesamtabmessungen der Ausrüstung | Größe | 1250 (L)×800 (B)×2100 (H) MM |
| Gerätedarstellung | ||
| Bedingungen für die Abnahme von Geräten: | 1. Geräteinstallation: Nach Abschluss der Geräteinstallation führen Partei A und Partei B die Inbetriebnahme vor Ort durch, und die Techniker von Partei B führen für die für Partei A verantwortliche Person eine Schulung zum Betrieb, zur Sicherheit und zur Wartung der Geräte durch | |
| 2. Systemtest: Das System kann normal gestartet und betrieben werden, und der abgelöste Feuerball ist stabil, ohne zu springen. | ||
| 3. Mikrowellenleck: Die Mikrowellenleck ist weniger als 5mW/cm2 (die Ausgangsleistung der Mikrowellenquelle ist mehr als 80%, 10cm weg von der Ausrüstung) | ||
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