Warranty: | 3 YEARS |
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Vergrößerung: | 50×-1000× |
Anzahl von Zylinder: | ≥ Drei |
Mobilität: | Desktop |
Art der Lichtquelle: | Gewöhnliches Licht |
Form: | Zylindrischen Linse |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Dunkelfeld (Wafer) Dunkelfeld ermöglicht die Beobachtung von gestreutem oder gebeugten Licht aus der Probe. Alles, was nicht flach ist, reflektiert dieses Licht, während alles, was flach ist, dunkel erscheint, sodass Unvollkommenheiten klar hervorstechen. Der Benutzer kann das Vorhandensein von sogar einem winzigen Kratzer oder Fehler bis zu den 8nm Ebene kleiner als die Auflösung Leistungsgrenze eines optischen Mikroskops zu identifizieren. Darkfield ist ideal zur Erkennung von winzigen Kratzern oder Fehlern an einer Probe und zur Untersuchung von Proben auf Spiegeloberflächen, einschließlich Wafern. |
Differenzieller Interferenzkontrast (Leitfähige Partikel) DIC ist eine mikroskopische Beobachtungstechnik, bei der die Höhendifferenz einer Probe, die nicht mit Hellfeld nachweisbar ist, zu einem reliefartigen oder dreidimensionalen Bild mit verbessertem Kontrast wird. Diese Technik nutzt polarisiertes Licht und kann mit einer Auswahl von drei speziell entwickelten Prismen angepasst werden. Es eignet sich ideal für die Untersuchung von Proben mit sehr kleinen Höhenunterschieden, einschließlich metallurgischer Strukturen, Mineralien, Magnetköpfen, Festplattenmedien und polierten Waferoberflächen. |
Überwachung des Durchlichttransmitts (LCD) Für transparente Proben wie LCDs, Kunststoffe und Glasmaterialien ist die Durchlichtbeobachtung durch die Verwendung einer Vielzahl von Kondensatoren möglich. Die Untersuchung der Probe im transmitten Hellfeld und polarisiertem Licht kann in einem einzigen praktischen System durchgeführt werden. |
Polarisiertes Licht (Asbest) Diese mikroskopische Beobachtungstechnik nutzt polarisiertes Licht, das durch einen Satz von Filtern (Analysator und Polarisator) erzeugt wird. Die Eigenschaften der Probe beeinflussen direkt die Intensität des durch das System reflektierten Lichts. Es eignet sich für metallurgische Strukturen (d.h. Wachstumsmuster von Graphit auf Kugelguss-Eisen), Mineralien, LCDs und Halbleitermaterialien. |
Element | Spezifikation | BS-6024RF | BS-6024TRF | |
Optisches System | NIS45 Infinite Color Corrected Optical System (Röhrenlänge: 200mm) | * | * | |
Ansichtskopf | ERGO Kippkopf, verstellbar von 0-35 Grad geneigt, Augenabstand 47mm-78mm; Splitting Ratio Okular:Trinokular=100:0 oder 20:80 oder 0:100 | * | * | |
Seidentopf Trinokularkopf, 30 Grad geneigt, Augenabstand: 47mm-78mm; Splitting Ratio Okular:Trinokular=100:0 oder 20:80 oder 0:100 | ○ | ○ | ||
Seidentopf Binokularkopf, 30 Grad geneigt, Augenabstand: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
Okular | Super Wide Field Plan Okular SW10X/25mm, Dioptrienausgleich | * | * | |
Super Wide Field Plan Okular SW10X/22mm, Dioptrienausgleich | ○ | ○ | ||
Extra breites Field Plan Okular EW12,5X/16mm, Dioptrien einstellbar | ○ | ○ | ||
Weitfeld-Okular WF15X/16mm, Dioptrienausgleich | ○ | ○ | ||
Weitfeld-Okular WF20X/12mm, Dioptrienausgleich | ○ | ○ | ||
Ziel | NIS45 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF & DF) | 5X/NA=0,15, WD=20MM | * | * |
10X/NA=0,3, WD=11MM | * | * | ||
20X/NA=0,45, WD=3,0MM | * | * | ||
NIS45 Infinite LWD Plan APO Objective (BF & DF) | 50X/NA=0,8, WD=1,0MM | * | * | |
100X/NA=0,9, WD=1,0MM | * | * | ||
NIS60 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF) | 5X/NA=0,15, WD=20MM | ○ | ○ | |
10X/NA=0,3, WD=11MM | ○ | ○ | ||
20X/NA=0,45, WD=3,0MM | ○ | ○ | ||
NIS60 Infinite LWD Plan APO Objective (BF) | 50X/NA=0,8, WD=1,0MM | ○ | ○ | |
100X/NA=0,9, WD=1,0MM | ○ | ○ | ||
Nasenstück | Nossepiece mit Sextupel nach hinten (mit DIC-Steckplatz) | * | * | |
Kondensator | LWD-KONDENSATOR N.A.0.65 | ○ | * | |
Übertragene Beleuchtung | 24V/100W Halogenlampe, Kohler-Beleuchtung, mit ND6/ND25 Filter | ○ | * | |
3W S-LED-Lampe, Mitte voreingestellt, Intensität einstellbar | ○ | ○ | ||
Reflektierte Beleuchtung | Reflected light 24V/100W Halogenlampe, Köhler Beleuchtung, mit 6 Positionen Revolver | * | * | |
100W Halogenlampen-Haus | * | * | ||
Reflektiertes Licht mit 5W LED-Lampe, Köhler-Beleuchtung, mit 6-Positionen-Revolver | ○ | ○ | ||
BF1 Hellfeld-Modul | ○ | ○ | ||
BF2 Hellfeld-Modul | * | * | ||
DF-Dunkelfeld-Modul | * | * | ||
Integrierter ND6-, ND25- und Farbkorrekturfilter | ○ | ○ | ||
ECO-Funktion | ECO-Funktion mit ECO-Taste | * | * | |
Fokussierung | Niedrige Koaxial-Grob- und Feinfokussierung, Feinteilung 1μm, Bewegungsbereich 35mm | * | * | |
Max. Probenhöhe | 76mm | * | ||
56mm | * | |||
Stufe | Zweilagige mechanische Bühne, Größe 210mmX170mm; Bewegungsbereich 105mmX105mm (rechter oder linker Griff); Präzision: 1mm; mit hart oxidierter Oberfläche, um Abrieb zu verhindern, könnte Y-Richtung gesperrt werden | * | * | |
Wafer-Halter: Kann verwendet werden, um 2", 3", 4" Wafer zu halten | ○ | ○ | ||
DIC-Kit | DIC-Kit für reflektierte Beleuchtung (kann für Objektive mit 10X, 20X, 50X, 100X Objektiven verwendet werden) | ○ | ○ | |
Polarisationskit | Polarisator für reflektierte Beleuchtung | ○ | ○ | |
Analysator für reflektierte Beleuchtung, 0-360 Grad drehbar | ○ | ○ | ||
Polarisator für Durchlichtbeleuchtung | ○ | |||
Analysator für Durchlichtbeleuchtung | ○ | |||
Anderes Zubehör | 0,5x C-Mount-Adapter | ○ | ○ | |
1x C-Mount-Adapter | ○ | ○ | ||
Staubabdeckung | * | * | ||
Netzkabel | * | * | ||
Kalibrierfolie 0,01mm | ○ | ○ | ||
Probenpresser | ○ | ○ |
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