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Einführung von Aluminiumoxid-Keramiksubstraten
Das keramische Substrat wird in elektronischen Verpackungssubstraten wegen seiner Vorteile wie hohe Festigkeit, gute Isolierung, gute Wärmeleitfähigkeit und Wärmebeständigkeit, kleiner Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE) und gute chemische Stabilität weit verbreitet.
Aluminiumoxidkeramik ist aufgrund ihrer überlegenen Gesamtleistung in den Bereichen Mikroelektronik, Leistungselektronik, hybride Mikroelektronik und Leistungsmodule in einer dominanten Position und wird häufig eingesetzt.
| 99,6% Aluminiumoxid-Keramiksubstrat | |||
| Element | Einheit | 99,6 % Al2O3 | |
| Mechanische Eigenschaften | |||
| Farbe | / | / | Elfenbein |
| Dichte | Drainagemethode | G/cm3 | ≥3,95 |
| Leichte Reflektivität | 400nm/1mm | % | 83 |
| Biegefestigkeit | Drei-Punkt-Biegung | MPa | >500 |
| Bruchzähigkeit | Einrückungsmethode | MPa· M1/2 | 3,0 |
| Vickers-Härte | Laden Sie 4,9N | GPA | 16 |
| Young's Modulus | Streckmethode | GPA | 300 |
| Wasseraufnahme | % | 0 | |
| Sturz | / | Länge‰ | ≤3‰ |
| Thermische Eigenschaften | |||
| Max. Betriebstemperatur (nicht beladen) | / | ºC | 1400 |
| CTE (Koeffizient von Wärmeausdehnung) |
20 800ºC | 1×10-6/ºC | 7,9 |
| Wärmeleitfähigkeit | 25ºC | W/m·K | >29 |
| Temperaturstoßfestigkeit | 800ºC | ≥10 Mal | Kein Krack |
| Spezifische Wärme | 25ºC | J/kg· k | 780 |
| Elektrische Eigenschaften | |||
| Dielektrische Konstante | 25ºC, 1MHz | / | 9,8 |
| Dielektrischer Verlustwinkel | 25ºC, 1MHz | ×10-4 | ≤2 |
| Volumenwiderstand | 25ºC | Ω· cm | ≥1014 |
| Durchschlagsfestigkeit | DC | KV/mm | ≥15 |
1. Produktspezifikation
Es können Produkte verschiedener Spezifikationen hergestellt werden. Die folgende Tabelle zeigt unsere Standardstärken und -Größen.
| 99,6% Aluminiumoxid-Keramiksubstrat | |||||||
| Dicke (mm) | Maximale Größe (mm) | Form | Formtechnik | ||||
| Wie Ausgelöst | Lapped | Poliert | Rechteckig | Quadratisch | Rund | ||
| 0,1-0,2 | 50,8 | 50,8 | √ | √ | Tape Casting | ||
| 0,25 | 114,3 | 114,3 | √ | Tape Casting | |||
| 0,38 | 120 | 114,3 | 114,3 | √ | Tape Casting | ||
| 0,5 | 120 | 114,3 | 114,3 | √ | Tape Casting | ||
| 0,635 | 120 | 114,3 | 114,3 | √ | Tape Casting | ||
| Andere spezielle Dicken im Dickenbereich von 0,1-0,635mm können durch Lappen erreicht werden. | |||||||
| 99,6% Aluminiumoxid-Keramiksubstrat | ||||
| Element | Substratdicke (mm) | Standardtoleranz (mm) | Beste Toleranz (mm) | Laserschneidtoleranz (mm) |
| Toleranz für Länge und Breite | / | ±2 | ±0,15 | |
| Dickentoleranz | T<0,3 | ±0,03 | ±0,01 | |
| 0,30-1,0 | ±0,05 | ±0,01 | ||
| T>1,0 | ±10 % | ±0,01 | ||
| 99,6% Aluminiumoxid-Keramiksubstrat | ||
| Oberflächenrauheit (μm) | ||
| Wie Ausgelöst | Lapped | Poliert |
| Ra 0,05-0,15 | Ra 0,1-0,5 | Ra ≤0,05 |
| 99,6% Aluminiumoxid-Keramiksubstrat | |
| Bohrungsdurchmesser (mm) | Standardtoleranz (mm) |
| φ≤0,5 | 0,08 |
| φ>0,5 | 0,2 |
| 99,6% Aluminiumoxid-Keramiksubstrat | |
| Substratdicke (mm) | Der Prozentsatz von Laserscribe Linientiefe Bis Dicke (%) |
| 0,2-0,3 | 40 %±5 % |
| 0,3<T≤0,5 | 50 %±3 % |
| 0,5<T≤1,0 | 43 %±3 % |
| 1,2 | 55 %±3 % |
| 1,5 | 55 %±3 % |
| 2,0 | 55 % + 10 % |
| Der Ritzen-Punkt kann in verschiedenen Größen sein. Im Allgemeinen gibt es kleine Fleck 0,03-0,04mm (Substratdicke≤0,5mm ) und große Fleck 0,08-0,1mm (Substratdicke>0,5mm), und die Genauigkeit ist ±0,01mm. | |
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