Lsms-160 Magnetron Sputterbeschichtungsmaschine

• After-sales Service: 24 Months
• Warranty: 24 Months
• Wafergröße: ≤6 Inches
• Transportpaket: Carton
• Spezifikation: 170*130*180
• Warenzeichen: CHHGC
• Modell Nr.: LSMS-160
• Herkunft: China
• Produktionskapazität: 5000 Pieces/Year

Produktbeschreibung

PRODUKTEINFÜHRUNG

Zweck: Sputtermethode verwenden, um

Legen Sie ein paar Mikrometer dünnen Film auf dem ab

Oberfläche der Probe, einschließlich verschiedener

Metalle, Halbleiter, ferromagnetisch

Materialien, sowie Isolieroxide,

Keramik und andere Materialien.
PRODUKTPARAMETER

Wafergröße

≤6 Zoll

Vakuumgrad

10 -8 Torr

Fehler bei der Gleichförmigkeit der Dicke

<5 %

Sputterdicke

0-300 nm

Sputtermaterial

Al, Cu, Gr, Co, Fe, NI, PT, AG, TiO2, NiFe und NiMn usw.

Größe

170 cm*130 cm*180 cm