Step Lithografiemaschine

• Herkunft: China
• Modell Nr.: LSLM-500

Produktbeschreibung

Produkteigenschaften     
  Hohe   Präzision;
   Desktop, kleine    Größe, integrierter Computer
 Anpassbare  Hardware und   Software  für   die Anforderungen der Branche ;  
Elastizität ist für   verschiedene Basen  und Formen geeignet;

 Produkteinführung
Die  Stufenlithographie   -Maschine LSLM-500  ist  ein  Gerät  zur   Herstellung  von integrierten  Schaltungen  (ics), die Millionen   mikroskopischer    Schaltungskomponenten   auf   der   Oberfläche   von winzigen   Silizium bilden können
Wafer, ein  wichtiger  Teil   eines  komplexen  Prozesses.
Hauptverwendung :Step Lithografie  kann    verwendet werden, um die   Skala zu reduzieren  Des  Maskenmusters   auf  die  zu beatende Substratoberfläche     Es  kann   in    der  Entwicklung  und  Produktion weit verbreitet sein  Von kleinen  und   mittelgroßen   integrierten   Schaltungen, Halbleiterbauelementen     und   Oberflächen
Caoin(U)ss(t)ipec(c w)aifivca(e)tdio(e)n(V)s(i):(c)e(.)  Maskenmuster   kann    um  das 5 -fache  im   gleichen  Verhältnis  für reduziert werden
Belichtung;Mindestlinienbreite  :500nm;kann   mit    einer   Vielzahl     von Modellen   mit   positivem und   negativem  Lichtwiderstand  zusammenarbeiten.
Sputtermaterialien      :Metalle      Al, Cu, Gr, Co, Fe, Ni, PT, AG, Ti, Ta; Legierung      NiFe, Cofe, CoFeB,
NiMn, FeMn, TbFeCo, Oxids      MgO usw.
Anwendungen:kleine   und   mittlere    integrierte   Schaltungen;Halbleiterbauelemente    ;  Entwicklung  und  Produktion  von  akustischen   Wellenbauelementen;  
Spezifikationsparameter    

 

Projekt	Inhalt
Chipgröße	4 Zoll, 6  Zoll, 8  Zoll, 12  Zoll
Belichtungslichtquelle	UV-LED
Verwendete Wellenlänge der Lichtquelle	365  nm
Auflösungskraft	Nacheinander wurden 500 nm, 400 nm und 300  nm  entwickelt
Fokusgenauigkeit	150  nm
Multiplikator Skalieren	1:5 Uhr
Belichtungsmodus	Schrittprojektion
Gleichförmigkeit der Funktionsgröße    (CDU)	±10 %
Abmessungen	170  cm*130  cm*180  cm