Type: | Gasmassendurchflussmesser |
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Measuring Medium: | Gas |
Output Signal Type: | Analog Type |
Production Process: | Integration |
Material: | Stainless Steel |
Accuracy Grade: | 1.0G |
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FMM501 der Massendurchflussregler dient zur präzisen Messung und Steuerung des Massenstroms von Gas. Sie spielen eine wichtige Rolle in der wissenschaftlichen Forschung und Produktion in den Bereichen Halbleiter- und integrierte Schaltungsindustrie, Spezialwerkstoffe, chemische Industrie, Industrie, Medizin, Umweltschutz und Vakuumlampen. Typische Anwendungen sind: Elektronische Prozessgeräte wie Diffusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasmaätzen, Sputtern, Ionenimplantation und Beschichtungsgeräte, Glasfasern schmelzen, Mikroreaktionsgerät, Mischgasverteilungssystem, Kapillarmessung Gaschromatograph und andere analytische Instrumente.
Technische Indikatoren
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MFC
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MFM
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Bereich
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2SCCM-300SLM
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Genauigkeit
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±1 % F.S.
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Temperatur ±1ºC
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Linear
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±0,5 % F.SºC
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Wiederholbarkeit
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0,2 % F.SºC
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Reaktionszeit
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<2s
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<1s
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Analog
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0-5V/4-20mA
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Kommunikation
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RS485 Modbus-RTU
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Stromversorgung
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±15V/24V
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Arbeitstemperatur
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0 50ºC
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Differenzdruck
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DP: 0,05-1,0MPa
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Drop drücken: <30Kpa
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Max. Druck
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3Mpa/10Mpa
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Elektrischer Anschluss
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DB15
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Leckrate
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1×10-8 SCCSHe
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Temp.-KF
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±0,015 % F.S/ºC
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Basismaterial
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316 SST
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Abdichtung
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PTFE/CR/NBR
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Montage
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1/4 Zoll 3/8 Zoll 6mm 10mm
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