Kundenspezifische: | Kundenspezifische |
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Struktur: | Desktop |
Material: | Stahl |
Bescheinigung: | CE, TUV |
Anwendung: | Schule, Labor |
Art: | Plasma |
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Modell-Nr. | CY-1100X-SPC-16H |
Zielabmessung | Φ50mm |
Probenbühne | Φ50mm |
Kammerabmessungen | Φ160*110mm |
Vakuumgrad | 10PA~10-3Pa |
Maximale stromverstärstung | 50mA |
Max. Einstellzeit | 9999s |
Max. Spannung | 1600VDC, einstellbar |
Vakuumpumpe | Rotary Vakuumpumpe: 10-100Pa Turbopumpensystem: 10-3Pa |
Leistung des Dünnschicht-Monitors | DC 5V, 400mA |
Auflösung | ±0, 03Hz(5-6MHz), 0.0136Å (Al) |
Genauigkeit | ±0, 5 % Dicke+1 |
Gemessene Geschwindigkeit | 100ms~1s/Zeit, einstellbar |
Messbereich | 500000Ã (Al) |
Sensortyp | Quarz 6MHz |
Anzeigen | LED-Anzeige enthalten |
Analogausgang | PWM-Ausgang mit 8 Biten |
Betriebsspannung | AC 220V, 50Hz |
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