Kompaktes, Verschiebbares Pecvd-Rohrofensystem

• After-sales Service: Online Support
• Warranty: 1 Year
• Art: Pecvd Tube Furnace
• Zertifizierung: CE, ISO
• Struktur: Horizontal Typ
• Marke: Cyky
• Modell Nr.: CY-O1200-50IC-
• Max. Temperatur: 1200C
• Betriebstemperatur: 1100c
• Transportpaket: Wooden Case
• Spezifikation: 1200C
• Warenzeichen: CYKY
• Herkunft: China
• HS-Code: 85141090
• Produktionskapazität: 500 Sets Per Year

Produktbeschreibung

Kompaktes, verschiebbares PECVD-Rohrofensystem mit RTP-Rohrofen
 

Produktbeschreibung

Chemische Gasphasenabscheidung nimmt Plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung Technologie, die hochenergetischen Plasma verwenden kann, um den Reaktionsprozess zu fördern, effektiv die Reaktionsgeschwindigkeit zu erhöhen und die Reaktionstemperatur zu verringern.

Es eignet sich zum Ablegen von dünnen Schichten aus Siliziumnitrid, amorphem Silizium und mikrokristallinem Silizium auf verschiedenen Substraten wie optischem Glas, Silizium, Quarz und Edelstahl. Es hat eine gute filmbildende Qualität, weniger Pinholes und ist nicht leicht zu knacken. Es eignet sich für die Herstellung von amorphem Silizium und mikrokristallinen Silizium-Dünnschicht-Solarzellen. Es kann in der wissenschaftlichen Forschung und Kleinserien-Vorbereitung von Dünnschichtmaterialien in Hochschulen und Universitäten und wissenschaftlichen Forschungsinstituten weit verbreitet werden.

 

Produktparameter

 

HF -Stromversorgung	Signalfrequenz	13,56MHz
	Leistungsbereich	0~500W
	Maximale reflektierte Leistung	100W
	Reflektierte Leistung (bei maximaler Leistung)	<5W
	Stabilität der Stromversorgung	±0,1 %
Arbeitskammer	Heiztemperatur	RT-1000ºC
	Genauigkeit der Temperaturregelung	±1ºC
	Probenhalter	Φ200mm
	Drehgeschwindigkeit des Probenhalters	1-20rpm einstellbar
	Größe des Sprühkopfs	Φ90mm
	Entfernung	Der Abstand zwischen dem Sprühkopf und der Probe beträgt 40-100mm stufenlos verstellbar
	Arbeitsvakuum für Abscheidung	0. 133- 133Pa (kann je nach technischem Verfahren eingestellt werden)
	Flansch	Der obere Flansch kann vom Motor angehoben werden, das Substrat ist leicht zu wechseln, und es gibt ein Sichtfenster
	Kammer	Werkstoff Edelstahl, Φ500mm * 500mm
	Beobachtungsfenster	Φ100mm, mit Waffel
Gasversorgung System	Kanalnummern	6
	Messeinheit	Massenflussregler
	Messbereich	Ein Kanal: 0~200SCCM für H2	Anmerkungen: Wenn andere Bereiche erforderlich sind, bitte bei der Bestellung angeben. Je nach den spezifischen Anforderungen des Kunden ist der Durchflussmesser des entsprechenden Gastyps und -Bereichs optional.
		B -Kanal: 0~200SCCM für CH4
		C -Kanal: 0~200SCCM für C2H4
		C -Kanal: 0~500SCCM für N2
		D -Kanal: 0~500SCCM für NH3
		E -Kanal: 0~500SCCM für Ar
	Messgenauigkeit	±1,5 % F.S.
	Unterschied Arbeitsdruck	-0,15Mpa~0,15Mpa
	Verbindungsrohr	Edelstahl 304
	Gaskanal	Nadelventil aus Edelstahl 304
	Schnittstellenspezifikation	1/4" Aderendhülse für Gaseinlass und -Auslass
Vakuumsystem	Vorpumpe	4,7L/s
	Molekularpumpe	1200L/s
	Vakuummessung	Compound -Vakuummessgerät, Bereich 10^-5Pa ~ 105Pa
	Vakuumgrad	5,0*10^-3Pa
Wasserkühler	Kühlwassertemperatur	<=37ºC
	Wasserdurchfluss	10L/min
	Leistung	0,1KW
	Kühlleistung	50W/ºC
Stromversorgung		AC220V 50Hz

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