Lab Dual-Head High Vacuum 2" Magnetron Sputtering Coater Deposition Metal Film, Legierungs-Nano-Film

• Art: Coating Production Line
• Überzug: Plasma Sputtering Coater
• Substrat: Ceramic and Metal
• Bescheinigung: CE
• Zustand: Neu
• Produktname: dc/rf Dual-Head Magnetron Plasma sp
• Modell Nr.: CY-MSP-300-DCRF
• dc-Quelle: 500W
• hf-Quelle: 300W
• Transportpaket: Wooden Case
• Spezifikation: plasma sputtering system
• Warenzeichen: CYKY
• Herkunft: China
• Produktionskapazität: 500 Sets Per Month

Produktbeschreibung

DC/RF Dual-Head Hochvakuum 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater
 
CY-VTC-600-2HD ist ein kompaktes Magnetron-Sputtersystem mit zwei 2"  -Zielquellen, z. B. einer DC-Quelle für die Beschichtung metallischer Folien und einer weiteren RF-Quelle für die Beschichtung nichtmetallischer Materialien. Ein Foliendickenmesser ist im Lieferumfang enthalten, damit der Benutzer die Verarbeitung einfach steuern kann. Dieser Beschichter ist für die Beschichtung von Einzel- oder Mehrfachschichten für eine Vielzahl  von Materialien wie Legierung, ferroelektrische, Halbleiter, Keramik, Dielektrikum, optisch, PTFE  usw.  zu geringen Kosten.
 
Spezifikation der Doppelkopf-Magnetron-Plasmasputteranlage
 

Eingangsleistung	220Vac 50/60Hz, einphasig 2000W (einschließlich Pumpe)
Stromversorgung	Zwei Sputterquellen sind in einem Steuerkasten integriert   DC-Quelle: 500W für die Beschichtung metallischer Materialien   RF-Quelle: 300W zur Beschichtung nichtmetallischer Materialien
Magnetron Sputterkopf	Zwei 2" Magnetron Sputterköpfe mit Wasserkühlung Jacken sind Enthalten Eines ist an eine HF-Quelle für nicht leitfähige Materialien angeschlossen Der andere ist zur Beschichtung an die DC-Quelle angeschlossen Metallische Materialien Zielgröße Anforderung: 2" Durchmesser Dickenbereich: 0,1 - 5 mm für metallische und nicht leitfähige Targets (einschließlich Trägerplatte) Ein  Cu- und ein fusioniertes SiO2-Ziel sind für enthalten Demo-Tests Beschichtungsmethode Empfohlen Kundenspezifischer Beschichter: Zwei DC-Köpfe ohne HF-Sputtering; zwei RF-Köpfe ohne DC-Sputtering; 3 RF-Kopf sind auf Anfrage erhältlich Optional: 148 cm RF-Kabel ist mit zusätzlichen Kosten ersetzt
Vakuumkammer	Vakuumkammer: 300 mm Durchmesser x 300 mm Höhe, aus Edelstahl Beobachtungsfenster: 100 mm Durchmesser Klappdeckel oben mit pneumatischem Strommast macht Einfacher Austausch von Zielen
Probenhalter	Größe des Probenhalters: 140mm Durchm. Für. 4-Zoll-Wafer max Die Drehzahl des Probenhalters ist einstellbar: 1 - 20 U/min für eine gleichmäßige Beschichtung Die Temperatur des Halters ist von RT bis 500 Grad Celsius einstellbar Mit Genauigkeit +/- 1,0 Grad
Gasflusssteuerung	Zwei Präzisions-Digital-MFC (Massenflussregler) Sind installiert, damit zwei Arten von Gasen sein können Ausgefüllt Durchflussrate: Max. 200 ml/min (0-200 SCCM) Die Durchflussrate kann über die 6-Zoll-Touchscreen-Steuerung eingestellt werden Fenster
Vakuumpumpe	Die Hochgeschwindigkeits-Turbovakuumpumpe (Made in Germany) wird direkt auf der Vakuumkammer für max. Vakuumniveau installiert   Hochleistungs-zweistufige mechanische Pumpe, 220 Liter/Minute (7,8CFM) ist an die Turbopumpe angeschlossen, um eine schnellere Pumpgeschwindigkeit zu erreichen Mobile Pumpstation ist inklusive und der kompakte Sputterbeschichter Kann auf der Station platziert werden Standard-Vakuumniveau: < 4x10^-5 Torr .  Max. Vakuumniveau: 10^-6 Torr mit Kammerbacken
Wasserkühler	Ein digitaler, temperaturgesteuerter Rezirkulationswasserkühler  ist im Lieferumfang enthalten, um beide Magnetron-Sputterköpfe zu kühlen. Kühlbereich: 5~35 Grad Floowing Rate: 16L/Minute
Optionals	Der präzise Quarzfilm -Dickenmonitor ist nach dem Einbau in die Kammer zur Überwachung der Schichtdicke mit einer Genauigkeit von 0,10 Å erhältlich. Pricesion  Dünnschicht- und Beschichtungs-Analysesysteme mit Messfunktion sind für die Messung der Schichtdicke nach der Beschichtung verfügbar.
Gesamtabmessungen	Deckel geschlossen: 48 Zoll × 28 Zoll × 32 Zoll Deckel geöffnet: 48 Zoll × 28 Zoll × 37 Zoll
Nettogewicht	200 kg
Garantie	1 Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung

 

Detaillierte Fotos

Referenzbild des Doppelkopf-Magnetron-Plasma-Sputterbeschichtungsstrahlers


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Unsere Unternehmensinformationen:
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd.-gegründet im  Jahr 2013 ist ein High-und neue Technologie-Unternehmen in Zhengzhou, Provinz Henan registriert.  Wir liefern hauptsächlich die Laborgeräte für die Materialforschung in Laboren wie der Schneidemaschine, Fräsmaschine, Poliermaschine, Sinterofen, Mischmaschine, Handschuhfach, Folienbeschichtungsmaschine usw.


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