After-sales Service: | Video Support |
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Warranty: | 12months |
Customized: | Customized |
Structure: | Desktop |
Material: | Alloy |
Certification: | CE |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Labor Single Target Plasma Sputtering Coating Maschine / Mini Single Target Lackturm
Anwendung von Single Target Plasma Sputtering Coater
CY-SPC-1100X-12 ist ein Mini-Plasma-Sputtersystem mit einer Zielquelle:
DC-Quelle für die Beschichtung metallisch
Merkmale der Plasma Sputteranlage
1.Klappbare Typabdeckung auf Oberseite mit Luftfedersport bildet Zielaustausch leicht gemacht
2.Two Präzisions -Digital -MFC (Massenstrom -Controller) Sind installiert, damit zwei Arten von Gasen sein können Ausgefüllt
3.Touch -Screen -Bedienfeld
4.Made in Deutschland Hochgeschwindigkeits -Turbo -Vakuumpumpumpe System
Technische von Plasma Sputteranlage
Eingangsleistung |
1,220VAC 50/60Hz, einphasig 2,2000W (einschließlich Pumpe) |
Stromversorgung
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1.One Sputterquellen |
2. DC Quelle: 500W für die Beschichtung metallischer Materialien |
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Ziel
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1.Zielgröße Anforderung: 2" Durchmesser |
2.Thickness Bereich: 0,1 - 3 mm für metallische Ziele (wie AG, AG, Cu) |
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3.Customized Coater: Zwei DC Kopf ohne, RF Sputtern, RF Kopf ohne DC -Sputering, 3 RF -Kopf sind auf Anfrage erhältlich |
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Vakuumkammer |
1.Vakuumkammer : 160 mm Durchmesser x 120 mm Höhe, aus Quarz |
Probenhalter
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1.Sample Halter Größe: 60mm Durchmesser |
2.Sample Halter Drehgeschwindigkeit ist einstellbar: 1 - 20 U/min für gleichmäßige Beschichtung (optional) |
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3.die Haltertemperatur ist einstellbar von RT bis 500 oC Max Mit Genauigkeit von ± 1 C (optional) |
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Gasflusssteuerung
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1.Flussrate : Max. 200 ml/min |
2.Flow -Rate ist auf dem Touchscreen -Bedienfeld einstellbar |
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Vakuumpumpe |
Vakuumpumpe 1.Mechanical mit 1,1L/s Geschwindigkeit |
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2.oilless Vakuumpumpe mit 1L/s Geschwindigkeit |
Dickenüberwachung |
1.One Präzisions -Quarzdickensensor ist in die Kammer eingebaut Zur Überwachung der Beschichtung Dicke mit Genauigkeit 0,10 Å |
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2.LED -Anzeigeeinheit außerhalb der Kammer |
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3.Input Material , das gemäß der enthaltenen Datenbank beschichtet werden soll |
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4.Display Gesamtdicke beschichtet und Beschichtungsgeschwindigkeit |
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5,5 Stück Quarzsensoren (Verbrauchsmaterial) sind im Lieferumfang enthalten |
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6.Water Kühlung ist erforderlich |
Gesamtabmessungen |
L400mm× W400mm× H400mm |
Anwendungshinweis
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Um Sauerstoff aus der Kammer zu entfernen, empfehlen wir, 5 % Hytrogen + 95 % zu verwenden Stickstoff , um die Kammer 2-3 Mal zu reinigen, wodurch der Sauerstoff auf unter 10 ppm reduziert werden kann |
Bitte verwenden Sie > 5N reines Argon -Gas für Plasmasputtering . Obwohl 5N Reinheit Ar, in der Regel 10- 100 ppm Sauerstoff und H2O enthalten |
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Nettogewicht |
40 kg |
Garantie |
Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger technischer Unterstützung |
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