Pulse Laser Deposition Equipment mit Doppelkammer-Laserbeschichtungsanlage Für den Anbau optischer Kristalle
Kurze Einführung des Kundenspezifischen gepulsten Laser Sputtering Depositions-Systems:
Gepulstes Laser-Abscheidesystem, abgekürzt als PLD-System, besteht dieses System aus zwei Teilen: Excimer-Laser und Vakuumbeschichtungskammer; Die Vakuumbeschichtungskammer besteht aus einer Sputterkammer, einer rotierenden Zielstufe, einer Antioxidations-Substrat-Heizstufe, einem Arbeitsgasweg, einer Gasabsaugung, einem Montagemaschinentisch, einer Vakuummessung und einem elektrischen Steuerungssystem.
Gerätezusammensetzung des Anpassbaren gepulsten Laser Sputtering Depositions-Systems:
1. Laser
Basierend auf LightMachinery's meistverkauften IPEX-Serie von industrietauglichen Excimer-Lasern, ist der Laser für PLD-Anwendungen optimiert; Die Excimer-Laser der IPEX-Serie zeichnen sich durch hervorragende Leistung, Haltbarkeit, Zuverlässigkeit und einfache Integrationsleistung aus, um die Anforderungen von Forschern und Systemintegratoren im Bereich der gepulsten Laserdeposition (PLD) zu erfüllen.
1) Vorteile des Lasers
(1) GasMiser-1000 Option arbeitet mit ICON-Technologie, um Gas zu erweitern Lebensdauer und Betriebskosten senken
(2) ausgezeichnete Punktgleichmäßigkeit und Energiestabilität zwischen Impulsen, kurze Impulsbreite
(3) die Energie bleibt bei allen Wiederholfrequenzen konstant
(4) EasyClean automatische Abdichtung Funktion hält Gas gefüllt und reduziert Wartungsausfall
(5) hochstabile optische Halterung für ausgezeichnete Strahlgenauigkeit
(6) anpassbares Strahlergebungssystem für spezifische PLD-Anwendungen Bedürfnisse
2) PLD stabile Leistung
Konstante Pulsenergie: Die Excimer-Laser der IPEX-740 / 760-Serie, die Icon- und GasMiser-1000-Technologien kombinieren, haben eine beispiellose dynamische und statische Gaslebensdauer nach einem einzigen Gasaustausch. Von der einzelnen bis zur maximalen Wiederholfrequenz ist die Pulsenergie bei allen Wiederholfrequenzen konstant. Diese Methode garantiert, dass sich die PLD-Prozessparameter nicht mit der Änderung der Laserarbeitszeit und der Wiederholfrequenz ändern.
Konstante Pulsstabilität: Die fortschrittliche Energieüberwachungsmethode wird verwendet, um die Impulsenergie einzustellen, die die Entladungsspannung und das Mischgas genau einstellen kann und eine konstante Ausgangsenergie unter allen Arbeitsbedingungen (einschließlich Burst-Modus) aufrecht erhält. Die Puls-zu-Puls-Stabilität ist besser als 1 %.
Konstante Zeigestabilität: Hochstabile Core-Optik-Halterung, die eine Zeigestabilität von 200μrad bietet, sodass nach einer optischen Reparatur keine Neukalibrierung erforderlich ist.
Konstante Strahlqualität: Die Strahlintensitätsverteilung der Laser der IPEX-740 / 760 Serie ist auf eine scharfe Kante und eine flache Oberseite ausgelegt, hat insbesondere minimale Änderungen innerhalb der Lebensdauer der Laserkammer.
3) Laserspezifikationen
| Wellenlänge (nm) |
193 (ARF) |
248 (KRF) |
308 (XeCl) |
| Stabilisierte Pulsenergie (MJ) bei allen Wiederholraten |
IPEX-740-Serie |
150 |
400 |
250 |
| IPEX-760-Serie |
200 |
600 |
500 |
| Maximale Pulsenergie (MJ) bei niedrigen Wiederholraten |
IPEX-740-Serie |
230 |
450 |
300 |
| IPEX-760-Serie |
250 |
700 |
600 |
| Stabilisierte Durchschnittsleistung (W) |
IPEX-746 |
15 |
40 |
25 |
| IPEX-744 |
6, 0 |
20 |
12 |
| IPEX-742 |
3, 0 |
10 |
6, 0 |
| IPEX-766 |
10 |
30 |
25 |
| IPEX-764 |
5, 0 |
18 |
10 |
| IPEX-762 |
2, 5 |
9, 0 |
5, 0 |
| Maximale Wiederholrate (PPS) |
IPEX-746 |
100 |
100 |
100 |
| IPEX-744 |
40 |
50 |
50 |
| IPEX-742 |
20 |
25 |
25 |
| IPEX-766 |
40 |
50 |
40 |
| IPEX-764 |
25 |
30 |
20 |
| IPEX-762 |
12 |
15 |
10 |
Impulsdauer (ns)
(FWHM, nominal) |
IPEX-740/760-Serie |
12 - 20 |
Strahlabmessungen (mm)
(V×H, nominal) |
IPEX-740-Serie |
12 × 26 |
| IPEX-760-Serie |
12 × 28 |
Strahldivergenz (mrad)
(V×H, nominal) |
IPEX-740/760-Serie |
1 × 3 |
2. Vakuumbeschichtungskammer
1) 1 Satz von Sputterkammer Komponenten
Die Größe der kugelförmigen Vakuumkammer beträgt Ф450mm. Es ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt. Es wird durch Argon-Bogen geschweißt. Die Oberfläche wird durch ein spezielles Verfahren poliert. Die Schnittstelle ist mit einer Metalldichtung oder einem Fluorgummiring abgedichtet.
2) 1 Satz von rotierenden Zielplattform Komponenten
(1) vier Ziele können gleichzeitig geladen werden, Zielgröße: (i) Φ60mm Und (ii) Φ25mm;
(2) jedes Ziel kann Rotation realisieren, die Drehzahl ist 5~60 U/min, stufenlos einstellbar, gesteuert durch den motorgetriebenen Magnetkupplungsmechanismus;
(3) der Umsetzungsmechanismus der Zielposition wird durch den motorisch angetriebenen Magnetkupplungsmechanismus gesteuert.
(4) der Zielmaterialschutz schirmt 4 Zielobjekte ab, wobei jeweils nur ein Zielmaterial in den Film gesputscht wird, um Kreuzkontaminationen zwischen den Zielmaterialien zu vermeiden.
3) Antioxidant Substrat Heiztisch Montage 1 Set
(1) Substratgröße: Φ2 ″ Substrat kann platziert werden;
(2) die maximale Temperatur der Substratheizung ist 800ºC±1ºC, gesteuert durch Thermoelement-Closed-Loop-Feedback, und der Heizkörper ist aus antioxidativem Material.
(3) das Substrat kann sich kontinuierlich drehen, die Drehzahl beträgt 5~60 U/min, gesteuert durch den motorisch angetriebenen Magnetkupplungsmechanismus;
(4) der Abstand zwischen dem Substrat und der Zielplattform ist von 30 bis 90mm einstellbar und wird durch einen manuellen Balgenverstellmechanismus außerhalb der Kammer gesteuert;
(5) Manuelle Kontrolle Probe Leitblech Komponenten: 1 Set;
(6) Probenhalter: 2;
4) Fenster und Flansch Schnittstellenteile 1 Satz
5) Laserstrahl-Scanning-Steuersystem 1 Satz
Zweidimensionale mechanische Scanplattform, zwei Sätze Motorsteuerung oder manuelle Steuerung;
6) Arbeitsgasleitung 2 Kanäle
7) Gaspumpeneinheit, Ventil, Rohrleitung 1 Satz
8) 1 Satz von Maschinenmontage Rahmenmontage
Hochwertige quadratische Stahlprofil geschweißt, schnell entladen Coaming Oberfläche Spray Behandlung; Maschinenoberfläche mit Edelstahl-Skin Dekoration; Vier Rollen können befestigt und beweglich
9) Vakuum-Messung und elektrische Steuerung 1 Set
10) Computer-Steuerung 1 eingestellt
Verwandte Fotos von Anpassbare gepulste Laser Sputtering Abscheidung System:
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. Wurde 2005 gegründet und ist ein Unternehmen, das sich auf die Entwicklung und Produktion von Laborgeräten spezialisiert hat. Die Produkte werden gemischt, gepresst, verbrannt, geschnitten, gemahlen, Polierte, beschichtete Analysegeräte und zugehörige Verbrauchsmaterialien. Zu den Produkten gehören Laborsintergeräte, Beschichtungsgeräte und so weiter. Derzeit wurde es in 25 Länder und Regionen wie die Vereinigten Staaten, Europa und Südostasien exportiert und von verschiedenen wissenschaftlichen Forschungseinheiten gut aufgenommen.
Wir haben ein ausgereiftes Technologie-Forschungs-und Entwicklungsteam, die Zahl der Techniker ist 33, das Unternehmen hat 150 Mitarbeiter, mehr als 500 Quadratmeter Bürofläche, die Fabrik umfasst eine Fläche von etwa 1.500 Quadratmetern in Zhengzhou High-Tech Zone Electronic Industrial Park. Die Produkte befinden sich hauptsächlich im Forschungsmarkt und dienen der wissenschaftlichen Forschung in den Labors von Universitäten und Hochschulen und können auch Produkte nach Ihren Bedürfnissen anpassen.
F. Sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?
A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, haben ein eigenes Designteam und eine eigene Fabrik, verfügen über ausgereifte technische Erfahrung und können die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.
F. Wie ist das Produkt-After-Sales-Service-System Ihres Unternehmens?
A. die Produktgarantie beträgt 12 Monate, wir können lebenslange Wartung bieten. Wir haben professionelle Pre-Sales- und After-Sales-Abteilungen, die innerhalb von 24 Stunden auf Sie antworten können, um technische Probleme zu lösen.
F. Wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?
A, 1. Wenn die Ware auf Lager ist, ist es 5-10 Tage. 2. Wir können maßgeschneiderte Dienstleistungen für unsere Kunden bieten. Je nach den Spezifikationen des kundenspezifischen Instruments dauert es normalerweise 30-60 Tage.
Q. Stromversorgung und Stecker unseres Landes sind unterschiedlich. Wie lösen Sie es?
A. Wir können einen Transformator und Stecker nach Ihren lokalen Anforderungen nach dem Netzstecker der verschiedenen Länder liefern.
F. Wie zahlen?
A. T / T, L / C, D / P, etc., wird empfohlen, Alibaba Handelsgarantie zu verwenden.
F. Wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?
A, 1. Standard Export Begasung Zeichen Holzkiste Verpackung 2. Express, Luft, Seefahrt nach Kundenwunsch, finden Sie den am besten geeigneten Weg.
Weitere Fragen, wenden Sie sich bitte an den Kundenservice
Geprüfter Lieferant 
