Rotierender PE-Hpcvd Ofen mit in-situ Verdampfer

• Application: School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE, TUV
• Structure: Desktop
• Material: Steel
• Type: Tubular Furnace
• Modell Nr.: CY-PE
• Geschwindigkeit: 2 - 10 U/min
• Abgleich: Automatisch
• Reflexionsvermögen: max,100w
• hf-Frequenz: 13,56 mhz
• Dichtflansch: Edelstahl
• Verarbeitungsrohr: Quarzrohr
• Garantie: Ein Jahr
• Transportpaket: Wooden Box
• Spezifikation: dia. 50mm
• Warenzeichen: CY
• Herkunft: Zhengzhou, China
• HS-Code: 85141090
• Produktionskapazität: 110 Sets Per Month

Produktbeschreibung

PE-HPCVD Drehrohrofen mit in-situ Verdampfer, 4 Kanal MFC und Vakuumpumpe
  Ist ein 1200C-Zonen-Plasma-verstärktes Hybrid-Physikalisch-Chemische Dampfabscheidung (PE-HPCVD) System. Es besteht aus einem 300W RF (Ratio Frequency) Plasma Generator & Matching Network, up-Stream Source Evaporation Boat mit Stromversorgung, vier Kanal MFC Gas Delivery und Hochleistungs-Vakuumpumpe. Ein solches Komplettsystem ist ein hervorragendes Werkzeug zur Wärmebehandlung anorganischer Compound-Pulver  Mit überlegener Temperatur und Oberflächenbeschichtung Gleichmäßigkeit.
 

Systemstruktur	Integriertes 300W (13, 56MHz) HF-Netzteil mit passendem Netzwerk ermöglicht die plasmaverstärkte Verarbeitung, die die Verarbeitungstemperatur deutlich reduziert. Die Zahnraddrehung ermöglicht die Verarbeitung von Pulvern mit „Mischverfahren“, um die beste Gleichmäßigkeit der Verarbeitung zu erzielen. Vier-Kanal-Gasmischstation mit MFCs bieten eine präzise Steuerung der Gaszufuhr. Die Integration von up-Stream Source Evaporation Boat mit Wolfram Spule ermöglicht es Ihnen, feste Vorläufer für die Bedürfnisse der Hybrid Physikalisch-Chemische Verarbeitung sublimieren.
Drehofen Mit Zwei Zonen	Arbeitstemperatur: 1100ºC Max (< 1hrs). Und  1000ºC für  Dauererwärmung. Zwei PID-Temperaturregler mit 30 Segmenten programmierbar. Eingangsleistung: 208 - 240 VAC, einphasig bei max 1, 5KW. Hochreine Aluminiumoxid-Faserisolierung für maximale Energieeinsparung. Zahnrad-Gleichstrommotor treibt Quarzrohr mit variabler Drehzahl von 2 - 10 U/min an. Zwei Zonen: Jede Zonenlänge 4" (100 mm), insgesamt 8" (200 mm) Heizzone.
Plasma-HF-Stromversorgung	Ausgangsleistung:                 5 -300W einstellbar mit ± 5% Stabilität. HF-Frequenz:                   13, 56 MHz ±0, 005% Stabilität. Reflexionsleistung:       Max. 100W Abgleich:                   Automatisch. Leistung:                                         208-240VAC, einphasig, 50Hz.
Verdampfungsboot	Arbeitstemperatur: 1100ºC max (< 1hrs). Und  1000ºC für  Dauerheizung (1500ºC bei Ofenkammer auf 800ºC erhitzt) 0, 7ml Aluminiumtiegel mit Wolfram Heizspule umgeben. Thermoelement Typ K  Zur genauen Temperaturmessung des Ausgangsmaterials eingesetzt. Betriebsstrom:   < = 30 A.
Dichtflansche	Standard:   2'' O. D Fused Quarz Verarbeitungsrohr Ein Paar 1''  SS-Dichtflansch mit  Drehbaren Gasanschluss  -Nadelventilen und für den sofortigen Einsatz im Lieferumfang enthalten.
Dichtflansche	An jedem Ende des Rohrs sind ein Paar 1'' OD Schnelltrennflansche mit KF25 Anschlüssen installiert. Die Drehkupplung der Magnetdichtung ermöglicht die Drehung des Rohrs, ohne die Vorleitung oder nachgeschaltete Anbaugeräte (wie Gas-, Pulver- und elektrische Zuleitungen) zu verdrehen.
Rotationsgeschwindigkeit Der Röhre	0 -  5 U/min variabel.
Vakuumpumpe Und Messgerät	EQ-FYP  Hochleistungs-Doppelstufige Vakuumpumpe ist im Lieferumfang enthalten Adapter KF25 und Edelstahlbälge sind zwischen Pumpe und Rohrflansch verbunden. 10E-2 Torr  Vakuum kann im Bearbeitungsrohr erreicht werden.
MFC-Gasmischstation	Im unteren Gehäuse sind vier präzise Massendurchflussmesser (0, 02 % Genauigkeit) mit digitalen Anzeigen installiert, um den Gasdurchfluss automatisch zu steuern.   MFC 1:   Gasdurchflussbereich von 0~100 SCCM MFC 2& 3: Regelbereich von 0~200 SCCM   MFC 4: Regelbereich von 0~500 SCCM Gaseinlass-/Auslassanschlüsse: 6mm O. D Rohrverschraubung Leistung: 208-240VAC 50/60Hz Nadelventile aus Edelstahl für manuelle EIN-/AUSSTEUERUNG der Gasversorgung. Die große SPS-Steuerung mit Touchscreen ermöglicht einfache Einstellungen der Durchflussrate
Temperaturregelung	Zwei Heizzonen mit individueller Temperaturregelung. Präzise PID-Regelung von Heizung, Abkühlrate und Verweilzeit,   30  Programmierbare Segmente. Integrierter Überhitzungs- und defekter Thermoelementschutz. Übertemperaturschutz    Und  Alarm  Ermöglichen den Betrieb ohne Vermittlung(en). +/- 1 ºC Temperaturgenauigkeit. Drei Thermoelemente Typ K (eines für jede Zone). RS485 Kommunikationsanschluss.
Garantie	Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung