Rotationspuder ALD 4" Rohrofen bis 1200oC

• Art: Edelstahl-Heizung
• Zertifizierung: CE
• Struktur: Horizontal Typ
• Manometer: Korrosionsbeständig
• Max. Temperatur: 1100c
• Flüssigdampfgenerator : Automatisch
• Modell Nr.: ALD-1200X-R-4
• ald-Ventil: Zwei
• Garantie: Ein Jahr
• Name: ald-Rohrofen
• Transportpaket: Wooden Box
• Spezifikation: dia. 100mm
• Warenzeichen: CY
• Herkunft: Zhengzhou, China
• HS-Code: 85141090
• Produktionskapazität: 210 Sets Per Month

Produktbeschreibung

Rotationspuder ALD 4" Rohrofenanlage bis 1200oC - ALD-1200X-R-4
ALD-1200x-R-4 ist ein 4"Drehrohrofen, der mit zwei Kanal ALD Ventilen und einem Kanal Flüssigkeitsdampfabgabe kombiniert (Atomic Layer Deposition) Und ebenso wie vier Kanäle Gaslieferung zur Oberflächenbeschichtung auf Pulver von ALD und CVD zu machen. Das intelligente Design macht ALD  kostengünstiger und erschwinglicher für jede Forschungsgruppe.
 

Systemsteuerung	Alle Parameter von Dampf, ALD und  Gasfluss sind in einem mobilen Wagen integriert und werden über ein 6" Touchscreen-Panel von der SPS gesteuert:   Zweikanal-ALD-Ventil Für Kanäle MFC-Gaslieferung
ALD-Ventil	Zwei ALD-Ventile mit Impulsregler   (Dauer min 10 ms ) Kann mit thermischen Stellgliedern beheizt werden
Flüssigdampfgenerator	Automatischer Flüssigdampfgenerator ist im Lieferumfang enthalten und an  ALD angeschlossen Ventil
Drehofen	Max. 1100ºC für Dauerheizung Zwei programmierbare digitale Präzisions-Temperaturregler mit 30 Segmenten. Eingangsleistung: 208 - 240V AC Eingang, einphasig bei max 4KW Drehzahl:   0 - 10 U/min
Korrosionsbeständiges Manometer	Messbereich 3, 8 x 10^-5  Bis 1125 Torr Korrosionsbeständig, gasunabhängig   Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Atmosphäre für zuverlässigen atmosphärischen Druck Erkennung Die schnelle atmosphärische Detektion eliminiert Wartezeiten und verkürzt den Prozesszyklus Einfach austauschbare Plug & Play-Sensorelemente
Vakuumpumpe   (Optional)	10E-2 Torr  Vakuum kann im Bearbeitungsrohr erreicht werden Vakuumpumpe ist nicht im Lieferumfang enthalten, empfehlen Sie eine Trockenpumpe für CVD-Prozess zu bestellen, indem Sie auf das Bild unten klicken
Garantie	Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung