Anwendung: | Industrie, Schule, Labor |
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Angepasst: | Angepasst |
Zertifizierung: | CE, TUV |
Struktur: | Desktop- |
Stoff: | Legierung |
Art: | Evaporation Coater |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Eingangsleistung | Einphasig 220 VAC, 50 / 60Hz 700 W (einschließlich Vakuumpumpe) Für den Einsatz von 110V AC, werden wir einen Transformator für Sie. Wählen Sie die Spannung in den Produktoptionen aus |
Ausgangsleistung | 1600 VDC Max. 40 mA |
Vakuumkammer | Vakuumkammer: 150 mm ID x 150 mm H, aus hochreinem Quarz Dichtflansch aus Edelstahl mit flachem O-Ring |
Probenbühne mit Heizelement | Bühnengröße: 50 mm Durchm. Sputterabstand: 25 - 40 mm einstellbar Drehbare Bühne mit drei Sputterpositionen (Über den Touchscreen gesteuert) Die Substratheizung Ist mit einer maximalen Heiztemperatur von eingebaut 500 GRAD PID-Temperaturregler mit +/- 1 Grad Genauigkeit ist integriert Auf den Touchscreen |
Systemsteuerung |
6-Zoll-Farb-Touchscreen mit SPS-Integration für einfache Bedienung Vakuummessgerät, Sputterstrommesser und Substrattemperaturregelung sind in das Touchscreen-Bedienfeld integriert Einstellknöpfe an der Frontplatte für Gaseinlass und Sputterstromregelung Die Sputterposition, der Sputtertimer und die Prozessprotokollierung sind über den Touchscreen erreichbar |
Abschirmung | Ein Schutzkorb aus Edelstahl Ist für zusätzlichen Schutz im Lieferumfang enthalten |
Sputtern Von Zielen |
Zielgröße: 47 mm Durchmesser x 2, 5 mm max Drei Ziele sind im Standardpaket für den sofortigen Einsatz enthalten: Au-Target, 47 mm Durchmesser x 0, 12 mm AG-Target, 47 mm Durchm. X 0, 5 mm Cu-Target, 47 mm Durchm. X 2, 5 mm |
Vakuumpumpe (Optional) |
Integrierter KF25-Vakuumanschluss für den Anschluss an eine Vakuumpumpe Vakuumpumpe mit KF25-Anschluss ist erforderlich, aber nicht im Lieferumfang enthalten. Benutzer kann wählen Eine zweistufige mechanische Vakuumpumpe Für Vakuum bis zu 10^-2 Torr Oder eine Turbopumpe Für Vakuum bis 10^-4 Torr Die Vakuumpumpe kann an die Steckdose angeschlossen werden Links der Lackiermaschine für die automatische Steuerung |
Abmessungen | 440 mm L × 330 mm B × 455 mm H |
Nettogewicht | 50 kg |
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