Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Geprüfter Lieferant
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Eingangsleistung
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220Vac 50/60Hz, einphasig 2000W (einschließlich Pumpe) |
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Stromversorgung
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Die Stromquelle ist optional mit einer Gleichstromquelle, einer einzigen HF-Stromquelle oder sowohl mit Gleichstromquelle als auch mit HF-Stromquelle. DC-Quelle: 500W für die Beschichtung metallischer Materialien Kompakte 300-HF-Quelle für nicht leitfähige Materialien |
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Magnetron Sputterkopf
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Drei 2" Magnetron Sputterköpfe mit Wasserkühlung Jacken sind Zum Anschluss einer optionalen Stromquelle im Lieferumfang enthalten Wasserkühlung: 10ml/min Wasserdurchfluss erforderlich |
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Erhitzung der Probenbühne
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1.One 50mm Durchm. Probenbühne, die durch Drücken einer Taste in drei Positionen gedreht werden kann. 2.der Substratheizer wird in der Bühne mit einer max. Heiztemperatur von 500 Grad gebaut 3.Thickness Bereich: 0,1 - 5 mm für metallische und nicht-leitfähige Ziele 4.One Edelstahl und ein Al2O3 Keramik Targets sind enthalten Für Demotests 5.Head Wasserkühlung: 10ml / min Wasserfluss erforderlich, und ein 16ml / min digital Zur Kühlung beider Magnetron ist ein gesteuerter Umwälzwasserkühler im Lieferumfang enthalten Sputtern Köpfe 6.Customized Coater: Zwei DC Kopf ohne, RF Sputtern, RF Kopf ohne DC-Sputering, 3 RF-Kopf sind auf Anfrage erhältlich |
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Vakuumkammer
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Vakuumkammer: 300 mm Durchmesser x 300 mm Höhe, aus Edelstahl Beobachtung Window100 mm Durchmesser Klappdeckel oben mit Luftfeder Sport macht Zielaustausch leicht gemacht |
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Probenhalter
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Größe des Probenhalters: 140mm Durchm. Für. 4-Zoll-Wafer max Die Drehzahl des Probenhalters ist einstellbar: 1 - 20 U/min für eine gleichmäßige Beschichtung Die Temperatur des Halters ist von RT bis 500 Grad Celsius einstellbar Mit Genauigkeit +/- 1,0 Grad |
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Gasflusssteuerung
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Zwei Präzisions-Digital-MFC (Massenflussregler) Sind installiert, damit zwei Arten von Gasen sein können Ausgefüllt Durchflussrate: Max. 200 ml/min Die Durchflussrate kann über die 6-Zoll-Touchscreen-Steuerung eingestellt werden Fenster |
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Vakuumpumpe
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Das Hochgeschwindigkeits-Turbovakuumpensystem ist direkt auf installiert Die Vakuumkammer Für max. Vakuumniveau Die zweistufige mechanische Hochleistungspumpe ist an den Turbo angeschlossen Pumpen Sie schneller Pumpendrehzahl Mobile Pumpstation ist inklusive und der kompakte Sputterbeschichter Kann aufgesetzt werden Oben am Bahnhof Max. Vakuumniveau: 10^-6 Torr mit Kammerbacken |
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Überwachung der Filmdicke
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Ein Präzisions-Quarzdickensensor ist in die Kammer integriert Zur Überwachung der Schichtdicke mit einer Genauigkeit von 0,10 Å LED-Anzeigeeinheit außerhalb der Kammer kann: Das zu beschichting Eingangsmaterial wird gemäß der enthaltenen Datenbank verwendet Anzeige der Gesamtdicke und Beschichtungsgeschwindigkeit 3,5 Stück Quarzsensoren (Verbrauchsmaterial) sind im Lieferumfang enthalten 4.Water Kühlung ist erforderlich |
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Gesamtabmessungen
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L1300mm× W660mm× H1200mm
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Anwendungshinweis
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Das System erfordert einen Ar-Gastank mit Druckregler, der nicht im Lieferumfang enthalten ist.
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Nettogewicht
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160 kg
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Garantie
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1 Jahr beschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung
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HOLZKISTE wie unten Bild zeigen. Oder als Kundenwunsch.
Versand und Transport
Als Kundenwunsch. Generell sind unsere Transportmittel wie auf See, per Luft oder Schiene
Unsere Dienstleistungen:
Zahlung
T/T, L/C, WEST UNION, PAYPAL, TREUHÄNDER USW.
Garantie
Hauptprodukt ist 12month, außer Verschleißteile.
Verschleißteile wie unten:
Quarzrohr, Vakuumflansch, Rohrverstopfung, O-Ring, Schutzhandschuhe, Tiegelofen Haken, PTFE-Schlauch,
Edelstahlfittings, Edelstahlbälge, Adapter, Innensechskantschlüssel
Unternehmensinformationen:
Werkschau
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd ist hauptsächlich in der Forschung und Entwicklung, Design,
Herstellung und Verkauf von Geräten in wissenschaftlichen Forschungen verwendet. Unabhängigkeit und Innovation ist die
Unternehmensanliegen.
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