Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Geprüfter Lieferant | Zwei Heizzonen Geteilter Röhrenofen |
Zwei Heizzonen mit Einer Heizzone von 440 mm Länge Und 250 mm Länge konstante gemäßigte Zone 1200oC Max. Betriebstemperatur für < 60 Minuten 1100oC Max für Dauerheizung Programmierbarer digitaler Präzisionsregler mit 30 Segmenten Hochreines Quarzrohr: 80mm AD x 72mm ID x 1400 mm Länge 2, 83" ID x 55'' Länge Eingangsleistung: 208 - 240V AC Eingang, einphasig bei max 3KW Optional ist ein Ofen mit drei Heizzonen erhältlich |
| Plasma-HF-Stromversorgung |
Ausgangsleistung: 5 -300W verstellbar mit ± 1% Stabilität HF-Frequenz: 13, 56 MHz ±0, 005% Stabilität Abgleich: Automatisch HF-Ausgangsanschluss: 50 Ω, Typ N, Buchse Rauschen: < 50 dB. Kühlung: Luftkühlung. Leistung: 208-240VAC, 50/60Hz |
| Drei-Kanal-Gasversorungsstation |
Arbeitstemperatur: 5~45 ºC Max. Druck: 3x106 Pa Genauigkeit: ±1, 5 % FS Liner: ±(0, 5-1, 5)%F. S. Genauigkeit der Duplikate: ±0, 2%F. S. Regelbereich: Controller 1: 0~100 SCCM (Ar-Gaskalibrierung) Controller 2: 1~199 SCCM ( H2 Gaskalibrierung ) Controller 3: 1~499 SCCM ( Methan Kalibrierung ) |
| Vakuumpumpe und Ventil |
Hochleistungs-Drehschieber-Vakuumpumpe (7, 8 CFM -240 l/m) mit zweistufiger Abgasanlage im Untergehäuse mit max. Vakuumdruck 10-2 Torr. KFD25 Adapter und Edelstahlrohr sind zwischen Pumpe verbunden Und Rohrflansch mit Präzisions-Kugelhahn Digitales Unterdruckmessgerät und Anzeige Sind mit dem installiert Ofen Oiless Pumpe ist verfügbar und PID druckgesteuertes Vakuumsystem ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich. |
| Korrosionsbeständiges Manometer | Messbereich 3, 8 x 10-5 Bis 1125 Torr Korrosionsbeständig, gasunabhängig Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Atmosphäre für zuverlässigen atmosphärischen Druck Erkennung Die schnelle atmosphärische Detektion eliminiert Wartezeiten und verkürzt den Prozesszyklus Einfach austauschbare Plug & Play-Sensorelemente |
| Temperaturregler | 30 Programmierbare Segmente zur präzisen Steuerung von Heizrate, Kühlrate und Verweildauer. Integrierte PID-Auto-Tune-Funktion mit Überhitzungs- und defekten Thermoelementen. Übertemperaturschutz Und Alarm Ermöglichen den Betrieb ohne Vermittlung(en). +/- 1 ºC Temperaturgenauigkeit. RS485 Kommunikationsanschluss. |
| Systemsteuerung | 7" Touchscreen-Bedienfeld integriert, die Temperatur, Gasdurchfluss, Plasma-Leistung zu steuern |
| Gesamtabmessungen | 2400 L x 600 B x 1250 H mm |
| R2R Vakuumkammern |
Zwei Vakuum-versiegelte Kammern befinden sich an zwei Enden von Ofen und verbunden mit Quarzrohr Die Walzen für das Substrat innen und außen befinden sich In der seitlichen Vakuumkammer Die Reeling-Geschwindigkeit für das Substrat ist von 1-400mm/min einstellbar Max. Bewegliche Substratbreite L 65 mm für Rohr mit 80mm AD Eine Rolle Kupferfolie mit 65 mm Breite und 0, 025 mm Dicke ( ~5 kg) ist für die Kundenpraxis im Lieferumfang enthalten. 100mm OD-Tube ist auf Anfrage erhältlich, die Substrat mit max. Breite 80 mm füttern kann |
| Garantie | Ein Jahr beschränkte Garantie mit Unterstützung für die Aufstiegszeit |
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