After-sales Service: | Technical Support, Free Installing and Training |
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Warranty: | One Year |
Art: | PVD Vacuum Coating Machine |
Überzug: | Vakuumbeschichtung |
Substrat: | Stahl |
Bescheinigung: | CE, ISO |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Merkmal:
1. Das Prinzip des Magnetron-Sputterns basiert auf der Theorie der Kathodenglühentladung, die das Magnetfeld der Kathodenoberfläche nahe der Oberfläche des Werkstücks erweitert, um die ionisierte Rate der sputternden Atome zu erhöhen. Es behält die Feinfühligkeit des Magnetron Sputtern und erhöht die Glossiness.Modus Abmessungen |
JTL-800 |
JTL-1100 |
JTL-1250 |
800*1000mm |
1100*1000mm |
1250*1100mm |
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Beschichtungsmodus und Hauptbestätigung |
Sechs Ziele mit mehreren Kreisbögen + ein Satz Spaltenziele + Ein Satz von Ebenen Rechteck Magnetron Sputterziele |
Acht Multibogen -Ziele + ein Paar Zwillings -(MF-)Magnetron -Sputtern Ziele |
Zwölf Ziele mit mehreren Bögen + zwei Sätze von Magnetron mit Ebenen Rechtecken Sputterziele + ein Paar Zwillings -(MF-)Magnetron -Sputterziele |
Stromversorgung | Elektrische Lichtbogenleistung , DC -Magnetronenleistung , MF -Magnetronleistung , Filamentleistung , Impulsleistung , Lineare ionisierte Quelle. | ||
Prozessgassteuerung | Qualitäts -Durchflussmesser + Elektromagnetismus Keramik Ventil | ||
Vakuumkammer-Struktur | Vertikale (seitliche) Tür, Postposition des Pumpensystems , doppelte Wasserkühlung | ||
Vakuumsystem | Molekülpumpe +Roots -Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -5 Pa) Diffusionspumpe +Roots -Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -4 Pa) |
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Temperatur Werkstückauflauf | Normale Temperatur bis 350 Grad PID -Regelung, Strahlungsheizung . |
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Bewegungsmodus Werkstück | Öffentliche Rotation Frequenzregelung : 0-20 Umdrehungen pro Minute | ||
Messmodus | Zahlenanzeige Composite -Vakuummeter : Von Atmosphäre bis 1,0*10 -5 Pa | ||
Steuerungsmodus | Manuell/automatisch/PC/SPS + HMI/PC vier verschiedene Steuerungsmodi | ||
Anmerkung |
Wir können die Abmessungen der Ausrüstung nach entwerfen Kunden ' s Besondere technische Anforderungen. |
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