After-sales Service: | Free Installing and Training, Technical Support |
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Warranty: | One Year Limited Warranty |
Art: | PVD Vacuum Coating Machine |
Überzug: | Vakuumbeschichtung |
Substrat: | Stahl |
Bescheinigung: | CE, ISO |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Modus Abmessungen |
JTL-800 |
JTL-1100 |
JTL-1250 |
800*1000mm |
1100*1000mm |
1250*1100mm |
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Beschichtungsmodus und Hauptbestätigung |
Sechs Ziele mit mehreren Kreisbögen + ein Satz Spaltenziele + Ein Satz von Ebenen Rechteck Magnetron Sputterziele |
Acht Multibogen -Ziele + ein Paar Zwillings -(MF-)Magnetron -Sputtern Ziele |
Zwölf Ziele mit mehreren Bögen + zwei Sätze von Magnetron mit Ebenen Rechtecken Sputterziele + ein Paar Zwillings -(MF-)Magnetron -Sputterziele |
Stromversorgung |
Elektrische Lichtbogenleistung , DC -Magnetronenleistung , MF -Magnetronleistung , Filamentleistung , Impulsleistung , Lineare ionisierte Quelle. |
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Prozessgassteuerung |
Qualitäts -Durchflussmesser + Elektromagnetismus Keramik Ventil |
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Vakuumkammer-Struktur |
Vertikale (seitliche) Tür, Postposition des Pumpensystems , doppelte Wasserkühlung |
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Vakuumsystem |
Molekülpumpe +Roots -Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -5 Pa) Diffusionspumpe +Roots -Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -4 Pa) |
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Temperatur Werkstückauflauf |
Normale Temperatur bis 350 Grad PID -Regelung, Strahlungsheizung . |
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Bewegungsmodus Werkstück |
Öffentliche Rotation Frequenzregelung : 0-20 Umdrehungen pro Minute |
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Messmodus |
Zahlenanzeige Composite -Vakuummeter : Von Atmosphäre bis 1,0*10 -5 Pa |
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Steuerungsmodus |
Manuell/automatisch/PC/SPS + HMI/PC vier verschiedene Steuerungsmodi |
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Anmerkung |
Wir können die Abmessungen der Ausrüstung nach den speziellen technischen Anforderungen des Kunden entwerfen. |
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