CAS No.: | 7783-54-2 |
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Formula: | NF3 |
EINECS: | 7783-54-2 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Industrial Grade |
Chemical Property: | Non-Flammable Gas |
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Stickstofftrifluorid :
(NF3) ist ein anorganisches, farbloses, nicht entzündbares, giftiges Gas mit einem leicht muffigen Geruch. Es findet zunehmend Verwendung bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Photovoltaik, LEDs und anderer Mikroelektronik. Stickstofftrifluorid ist auch ein extrem starkes und langlebige Treibhausgas. Seine atmosphärische Belastung überschritt 2 Teile pro Billion im Jahr 2019 und hat sich seit dem späten 20th. Jahrhundert alle fünf Jahre verdoppelt.
Verwendung von Stickstofftrifluorid:
1. Fluor-Quelle von hochenergetischen chemischen Lasergas
2. Ätzmittel und Reinigungsmittel in der Elektronikindustrie (IC),
3. Solar-Photovoltaik-Industrie
Technische Daten:
Spezifikationen | Unternehmensstandard |
NF3 | ≥ 99,996 % |
CF4 | ≤ 20 ppm |
N2 | ≤ 5 ppm |
O2+AR | ≤ 3 ppm |
CO | ≤ 1 ppm |
CO2 | ≤ 0,5 ppm |
N2O | ≤ 1 ppm |
SF6 | ≤ 2 ppm |
Feuchtigkeit | ≤ 1 ppm |
Als HF ausdrücken | ≤ 1 ppm |
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Chengdu Taiyu Industrial Gases Co., Ltd
Hinzufügen:Raum 1104, 4th Gebäude, Stufe II, Shudu Center Gebäude, High-Tech Zone, Chengdu City, China.
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