Suzhou FlyingMan Precision Instruments Co., Ltd. Bietet ein hochmodernes biologisches Mikroskopsystem, das speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche Mikroskopsystem bietet hochauflösende Mikroskopie für die Wafer-Analyse und gewährleistet so eine präzise Halbleiterinspektion und -Analyse.
Produktbeschreibung
Funktionen
- Das erste großräumige industrielle Atomkraftmikroskop in China Kommerzielle Produktion erreichen
- Die Probengröße und das Gewicht sind nahezu unbegrenzt, sodass es für die Prüfung großer Proben wie Wafer, ultragroße Gitter und optisches Glas geeignet ist
- Sample Stage verfügt über eine starke Erweiterbarkeit und ist für Multi-Instrument-Geräte geeignet Kombination für in-situ-Detektion
- Automatisches Scannen mit einem Klick, das mehrere Testpunkte für eine schnelle und automatisierte Erkennung programmieren kann
- Hält die Probe während des Scannens des Bildes und der Laufwerke fest Die Sonde zur Durchführung der XYZ 3D-Bewegungsmessung
- Design des Gantry-Scanners, Marmorsockel, Vakuumadsorptionsstufe
- Integrierte Lösungen für mechanische Schwingungsdämpfung und Umgebungsgeräuschschutz Reduzieren Sie den Geräuschpegel des Systems
- Intelligente und schnelle Nadeleinführmethode zur automatischen Erkennung piezoelektrischer Keramik unter Motorsteuerung, zum Schutz von Sonden und Proben
- Scanner nonlinear Korrektur Benutzer-Editor, mit Nano-Charakterisierung und Messgenauigkeit besser als 98%
Software
- Zwei Arten von Sampling Pixel zur Auswahl: 256x256, 512x512
- Führen Sie Scan-Bereich verschieben und schneiden Funktion, wählen Sie eine interessante Fläche der Probe
- Probe am Anfang in zufälligem Winkel scannen
- Stellen Sie das Laser-Punkterkennungssystem in Echtzeit ein
- Wählen Sie verschiedene Farben für das Scanbild aus und legen Sie sie in der Palette fest
- Unterstützung der linearen Durchschnitt- und Offset-Kalibrierung in Echtzeit für die Probe Titel
- Unterstützt die Kalibrierung der Scannerempfindlichkeit und die automatische Kalibrierung der elektronischen Steuerung
- Unterstützung der Offline-Analyse und des Prozesses von Beispielbildern
Firmenname: 'Suzhou FlyingMan Precision Instruments Co., Ltd.'
Produktparameter
| Arbeitsmodus |
Kontaktmodus, Tippmodus |
Z-Hubtisch |
Schrittmotor-Antriebssteuerung mit einer minimalen Schrittgröße von 10nm |
| Optionaler Modus |
Reibungskraft/Seitenkraft, Amplitude/Phase, magnetische Kraft/elektrostatische Kraft |
Z-Hubweg |
20mm (optional 25mm) |
| Kraftspektrumkurve |
F-Z-Kraftkurve, RMS-Z-Kurve |
Optische Positionierung |
10x optisches Objektiv |
| XYZ-Scanmethode |
XYZ-Scans mit Sonde |
Kamera |
Digitaler CMOS mit 5 Megapixeln |
| XY-Scanbereich |
Mehr als 100um×100um |
Scanrate |
0,6Hz~30Hz |
| Z-Scanwinkel |
Größer als 10um |
Scanwinkel |
0~360 Grad |
| Scanauflösung |
Horizontal 0,2nm, vertikal 0,05nm |
Betriebsumgebung |
Windows 10
Betriebssystem |
XY
Probenbühne |
Schrittmotor-Antriebssteuerung, mit einer Bewegungsgenauigkeit von 1um |
Kommunikationsschnittstelle |
USB2,0/3,0 |
XY
Shift-Bewegung |
200×200mm (optional 300×300mm) |
Instrumentenstruktur |
Gantry-Scankopf, Marmorsockel |
| Probenladeplattform |
Durchm. 200mm (optional 300mm) |
Dämpfungsmethode |
Luftschwimmende Stoßdämpfung Schallschutzabdeckung (Optionale aktive Stoßdämpfungsplattform) |
| Probengewicht |
≤20kg |
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Technische Daten
- Unternehmen: Suzhou FlyingMan Precision Instruments Co., Ltd
- Gegründet: 2013
- Schwerpunkt: Labor- und Fabrikinstrumente
- Artikel: Atomkraftmikroskop (AFM)
- Anwendungen: Physikalische Bildung und Wafer Inspektion
- Kostenverhältnis: Best in class
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