Anpassung: | Verfügbar |
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Kundendienst: | Kostenloser Service für den lebenslangen Verkauf |
Garantie: | 1 Jahre |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Von einer unabhängigen externen Prüfstelle geprüft
INDIVIDUELLE FUNKTIONEN
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Temperatur
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Max. 1400 GRAD CELSIUS
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Stromversorgung
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380V AC, 15 kW
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Genauigkeit Der Temperaturregelung
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±1 C
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Material Des Ofenrohres
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Außenrohr: Rekristallisiertes Siliziumkarbid (D200×1900mm)
Quarzrohr: - Endet: Ø60mm - Mitte: Ø180mm (L=1300mm) - Gesamtlänge: 1950mm |
Länge Der Heizzone
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1300mm
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Kontrollzonen
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3 unabhängige PID-gesteuerte Zonen
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Rotationssystem
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Motorisierter, mechanischer Lagerantrieb
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Drehzahl
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0-5 U/min (einstellbar)
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Kippmechanismus
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Motorgesteuerte Neigung (0-20)
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HMI
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10-Zoll-Touchscreen (Siemens SPS integriert)
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Programmierbare Funktionen
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Temperaturprofile mit mehreren Segmenten, 2 Gasleitungen, 1 Vakuumleitungssteuerung
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Dichtungssystem
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Edelstahlflansche mit magnetischen Durchführungen (316L)
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Gassystem
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- 2 Einlassleitungen (Magnetventile)
- 1 Abgasleitung (Magnetventil) - 1 Vakuum-Port |
Vakuumsystem
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Zweistufige Drehschieberpumpe (2 l/s)
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Vakuummessung
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Digitalanzeige (-100~100 kPa, unterstützt Mikro-Überdruck)
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Kompatible Prozessgase
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N2, Ar, O2 usw.
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Flusskontrolle
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2 × Massendurchflussregler (0-10 l/min)
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Temperaturgleichmäßigkeit
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±3 C (innerhalb der Heizzone)
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Max. Temp
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Betriebstemperatur
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Heizelement
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Thermoelement
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Rohrmaterial
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1200℃
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1150℃
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Draht oder SiC mit hoher Temperatur-Legierung
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Typ K
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SS/Quarz/Aluminiumoxid
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1400℃
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1350℃
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Sic
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S-Typ
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Hochreines Aluminiumoxid
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1600℃
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1550℃
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MoSi2
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Typ B
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Hochreines Aluminiumoxid
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1700℃
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1650℃
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MoSi2
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Typ B
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Hochreines Aluminiumoxid
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1800℃
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1750℃
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MoSi2
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Typ B
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Hochreines Aluminiumoxid
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Angepasst
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Auf Anfrage
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Mit Graphit /Mo
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Typ B/Typ C
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Mit Graphit /Mo
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