CAS No.: | 7803-62-5 |
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Formula: | Sih4 |
EINECS: | 232-263-4 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Electronic Grade |
Chemical Property: | Inflammable Gas |
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Produktdetails
CAS-Nr.: 7803-62-5Komponente | 99,99 % | 99,999 % | 99,9999 % | Einheit |
Sauerstoff (Ar) | ≤1 | ≤0,4 | ≤0,1 | Ppmv |
Stickstoff | ≤1 | ≤0,2 | ≤0,1 | Ppmv |
Wasserstoff | ≤50 | ≤30 | ≤20 | Ppmv |
Helium | / | ≤10 | ≤10 | Ppmv |
CO+CO2 | ≤0,2 | ≤0,4 | ≤0,1 | Ppmv |
THC | ≤0,2 | ≤0,2 | ≤0,1 | Ppmv |
Chlorsilane | ≤15 | ≤0,2 | ≤0,1 | Ppmv |
Disiloxan | ≤1 | ≤0,2 | ≤0,1 | Ppmv |
Disilan | ≤1 | ≤0,2 | ≤0,1 | Ppmv |
Feuchtigkeit (H2O) | ≤1 | ≤0,2 | ≤0,1 | Ppmv |
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