Produktspezifikationen:
Schwefelhexafluorid wird für die Plasmaätzung vor der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) verwendet. Seine Anwendungen umfassen Oxidätzen, Nitridätzen und Waferreinigung. Schwefelhexafluorid wird auch in der Plasmakammer-Reinigung eingesetzt.
Technische Daten:
| Produktname |
Schwefelhexafluorid |
| Typ |
SF6 |
| Reinheit |
n5,0 |
| Zylinderspezifikation |
47L / 470L |
| Füllelement (20?C) |
50kg / 500kg |
| Fülldruck (20?C,-5%) |
23 bar |
| Ventiltyp |
DISS 716 |
| Anwendungen |
Das Halbleiterfeld wird in der chemischen Gasphasenabscheidung verwendet, wegen der hohen Beständigkeit bei hohen Spannungen, als Isolationsmittel für elektrische Ausrüstung, Lecksuchgas,
Und Sause Spektrometer im Labor. |
Paketart:
Unternehmensinformationen:
Suzhou Xunhe Chemical Co., Ltd wird von ausgebildetem Personal besetzt, kombinieren viele Jahre Erfahrung in der Gasindustrie. Wir liefern Flaschengas, elektronisches Gas, etc., und die Gashalter, Panel, Ventile und Armaturen und andere Ausrüstung, Teile und Engineering-Dienstleistungen für unsere Kunden in China und weltweit; Die Produkte sind in verschiedenen industriellen Bereichen, wie Halbleiterchip, Solarzelle, LED, TFT-LCD, Glasfaser, Glas, Laser, Medizin, etc., unsere Mission ist es, mit unseren globalen Kunden zu unterstützen, Lösungen und Qualitätsprodukte, die innovativ, zuverlässig und sicher sind, bieten.
Zu unseren Produkten gehören vor allem: H2, O2, N2, Ar, CO2, Propan, Acetylen, Helium, Laser-Mischgas, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, Doping-Mischgas (TMB, PH3, B2H6) und andere elektronische Gase.
Geprüfter Lieferant 
