CAS No.: | 7440-37-1 |
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Formula: | Ar |
EINECS: | 231-147-0 |
Constituent: | Ar |
Grade Standard: | Industriequalität |
Chemical Property: | Non-Flammable Gas |
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Spezifikation
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Tankwagen:26m³ Inhalt: 28tons
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Anwendung
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1. Als Schutzgas zur Herstellung von hochreinem Silizium und Germanium-Kristallen in der Halbleiterindustrie verwendet;
2.used als Inertgas für Systemreinigung, Abschirmung und Druckbeaufschlagung;
3. In chemischen Gasphasenabscheidung, Sputtering, Glühen und anderen Prozessen angewendet werden.
4. Verwendet als chromatographisches Trägergas und kann auch als Verdünnungsgas von Gasgemischen in großen integrierten Schaltungen verwendet werden.
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