Anpassung: | Verfügbar |
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Kundendienst: | on Site Installation and Online Support |
Garantie: | 12 Monate |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Von einer unabhängigen externen Prüfstelle geprüft
Modell | KS-PL-DW100 |
Hohlraummaterial | Oberflächenbehandlung aus Edelstahl 316 |
Formnest | 400×500×500 MM (L×B×H) |
Kavität | 100L |
Elektrodenplatten | 3-9 Stockwerke |
Formfaktor | 1100×700×1500 MM (L×B×H) |
Netzfrequenz | 13,56 MHz (automatische Integration) |
Stromversorgung | 0-750W (stufenlos einstellbar) |
Durchflussmesser | Ultrapräzises 2-Wege Elektro-Durchflussmessgerät |
Vakuuometer | Messung von Silizium mit hohem Vakuum und Echtzeitanzeige |
Steuerungsmodus | Vollautomatische Steuerung und manuell (SPS HMI) |
Reinigungszeit | 0-99999 s einstellbar |
Vakuumniveau | 1-30 Pa |
Kammertemperatur | <30 C |
Versorgungsspannung | 380V |
Vakuumpumpe | BSV60 (GESCHWINDIGKEIT 20 L/S) |