Mdsd Wafer Dryer Schleuderspültrockner

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Movement Way: Combined
• Atomization: Rotary Atomization
• Flow: Cross Flow
• Heating Mode: Dielectric
• Modell Nr.: MDSD
• Material Status: Solution
• Drying Medium: Inactive Gas
• Operation Pressure: Vacuum
• Operational Method: Continuous
• Warenzeichen: minder-hightech
• Herkunft: Guangzhou
• HS-Code: 8015809090
• Produktionskapazität: 200PCS/Yearpcs/Year

Produktbeschreibung

MDSD Wafer-Trockner

MDSD Wafer-Trockner

 Funktionen
* vernünftige Struktur Design und ausgereifte Technologie
*Einfache Bedienung, bequeme Wartung, stabiler und zuverlässiger Betrieb der gesamten Maschine
* geringe Vibration, gute Zuverlässigkeit und große Leistung
Technische Parameter
*Wafergröße: Anwendbar auf 2-12-Zoll-Produktionslinie
*Fragmentrate: 1/10000
Anwendungsbereich
SPM-Säurereinigung, organische Reinigung, Entwicklung, Entgasen, ITO Ätzen, BOE Ätzen, gleichmäßiger Kleber und andere Prozess Wafer Trocknen
Gerätefunktion
Die Ausrüstung ist in 2 Stationen, 4 Stationen und 6 Stationen, die 2-12-Zoll-Silizium-Wafer, Kaliumnitrid, Galliumarsenid, Saphir, Halbleiter, LED, Solarenergie und andere Nassprozesse, einschließlich Reinigung, Trocknung, Stickstofftrocknung und Trocknung der Arbeitskammer.
Prozessparameter

Prozessparameter	Zeit	Geschwindigkeit
Spülen (Typ B)	0-999s	0-800R/min
Spülen (Typ B)	0-999s	0-800R/min
Trocknen I (Typ B)	0-999s	0-800R/min
Trocknen II (Typ B)	0-999s	0-800R/min

Werkszustand

Spannung	Leistung mit einem Kavitäten	Stickstoffdruck	Stickstofffluss	Reinwasserdruck	Reiner Wasserfluss	Stickstoffschnittstelle	Reinwasserschnittstelle	Abflusskaliber	Auslassdurchmesser
AC380V/50Hz	5KW	0,25-0,4MPa	180-250L/min	0,2-0,3MPa	7-12L/l/min	3/8	3/8	DN32	DN110

Funktionen
* Adopt PLC intelligente Steuerung, um alle Betrieb zuverlässig und Programm intelligent zu machen.
* Adopt Frequency Umwandlung Motor Riemenantrieb, geringe Wartung.
* Drehwelle Stickstoff Dichtung, Labyrinth-Design, um sicherzustellen, dass die Kammer von der externen Umgebung während des Betriebs der Ausrüstung isoliert.
* PTFE-Luft-Regelventil, saubere Rohrverschraubungen.
* die Hauptkomponenten sind aus hochwertigem Edelstahl SUS304 gefertigt. Der innere Rahmen ist aus Edelstahl-Vierkantstahl, der nach nationaler Norm korrosionsbeständig und korrosionsbeständig ist, gefertigt. Das Design ist neu, menschlich und einfach zu bedienen.
* der Drehmechanismus wird durch präzise dynamische Balance verifiziert, und der Hauptrahmen ist von tragbarer Struktur, die die Balance und Stabilität des Systems während des Betriebs gewährleistet, reduziert die Erzeugung von Schwingungsquellen und reduziert die Fragmentierungsrate erheblich.
* die Oberseite der Abdeckung nimmt importierte Kieselgel Heizung Hilfssystem, das trocken ist, ohne nach dem Trocknen tropft.
* Elektrische Heizung angenommen wird, mit schnellen Temperaturanstieg, einfache Kontrolle und stabile Temperatur.