Schleuderspültrockner Doppelkammer-Trocknung und Schleudertrocknung Srd Wafer Dryer

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Movement Way: Combined
• Atomization: Rotary Atomization
• Flow: Cross Flow
• Heating Mode: Dielectric
• Material Status: Solution
• Drying Medium: Inactive Gas
• Operation Pressure: Vacuum
• Operational Method: Continuous
• Warenzeichen: minder-hightech
• Herkunft: Guangzhou
• HS-Code: 8015809090
• Produktionskapazität: 200PCS/Yearpcs/Year

Produktbeschreibung

Schleuderspültrockner mit Doppelkammer

SRD Spin SPÜLSPÜLSTOFWafer

Funktionen
* vernünftige Struktur Design und ausgereifte Prozesstechnologie
* gute Trocknungswirkung und hohe Prozessreinheit
* kleine Vibration, gute Zuverlässigkeit und anwendbar auf dünne Platten
* Einfache Bedienung, bequeme Wartung, stabiler und zuverlässiger Betrieb der gesamten Maschine
Technische Parameter
Wafer-Größe: Anwendbar auf 1-12 Zoll Produktionslinie
Fragmentrate: 1/10000
Anwendungsbereich
SPM-Säure-Reinigung, organische Reinigung, Entwicklung, Entgasen, ITO Ätzen, BOE Ätzen, gleichmäßiges Kleben und andere Prozess Wafer Trocknen
Gerätefunktion
Die Ausrüstung ist in ein- und zwei-Kavitäten unterteilt, die für die Nasstrocknung verschiedener Halbleitermaterialien wie 1 Zoll, 2 Zoll, 4 Zoll, 5 Zoll, 6 Zoll, 8-Zoll-, 12-Zoll-Wafer in Standardgröße, nicht-Standard-Wafer und quadratische Wafer, Siliziumwafer, Kaliumnitrid, Galliumarsenid, Saphir, Maske und so weiter.
Rozessige Parameter

Verarbeitung	SCHRITT	Step1	Step2	Step3	Step4	Step5	Step6	Step7	Step8	Step9	Step10
Zeit (s)		0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999
Drehzahl (U/min)		0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500
Spülen		Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional
Löschen		Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional
Stickstoff		Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional
Stickstoffheizung		Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional
Hohlraumheizung		Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional
Elektrostatische Beseitigung		Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional	Optional

Gerätefunktion
Funktionen
* Brushless Servo Motor Antrieb sorgt für die Stabilität, Zuverlässigkeit und Sauberkeit der Ausrüstung.
* Labyrinth Stickstoff Dichtung, Hohlraum und Hohlraum Isolierung, berührungslose Abdichtung Wirkung, um die Prozessumgebung Anforderungen zu gewährleisten.
* PTFE pneumatische Ventilkomponenten, PVDF Rohre und Steckverbinder werden verwendet.
* aus 316L Edelstahl, die Oberfläche ist elektropoliert.
* die Funktion des Waschens, Blasens, Trocknen und Trocknen ist es, High-Speed-rotierende Zentrifugalkraft zu verwenden, um die Reste befestigt chemische Reagenz und Partikelstaub zu entfernen, und saubere Stickstoff zu entfernen, die Reste Partikelstaub, um die Produktoberfläche sauber, trocken und sauber zu machen.
* Elektrostatische Eliminationsfunktion. Wenn das Produkt mit hoher Geschwindigkeit bewegt wird, erzeugt es statische Elektrizität. Verwenden Sie die Hochspannungs-elektrostatische Entnahmevorrichtung, um die Produktoberfläche in den neutralen Zustand zu bringen.
* Leitfähigkeitsüberwachung, Überwachung der Reinigungswasserqualität und der Rückstände von anhafteten chemischen Reagenz- und Partikelstaub auf der Produktoberfläche, die nicht die Anforderungen vor dem Trocknen erfüllen, prompt und eine Warnung geben, um zu verhindern, dass die defekten Produkte in den nächsten Prozess eintreten.
* Edelstahl-Heizung Stickstoff Heizung, Heizung Membran Hohlraum Heizung, PID-Temperatur-Präzisionsregelung, kann im Voraus vorheizen wählen. Die automatische Reinigungsfunktion kann ausgewählt und das Intervall eingestellt werden, um sicherzustellen, dass das Gerät stets sauber gehalten wird.
* 0,003UM Stickstoff wird gefiltert, um die Sauberkeit der zu gewährleisten Prozessgas
* Mechanische Selbstrückstellfunktion, stoppen und Standby die Kassette nach oben.
* Stickstoffdruck, Türdichtstatus, Kassette nach oben und andere Bedingungen geschützt sind.
* die Steuereinheit wird unabhängig gesteuert, arbeitet unabhängig, und ist einfach zu bedienen und zu warten.