Bescheinigung: | CE |
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Zustand: | Neu |
Kundenspezifische: | Kundenspezifische |
Transportpaket: | Wooden Crate |
Spezifikation: | 1300*2100*1200mm |
Warenzeichen: | minder-hightech |
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Stromversorgungssysteme | Netztyp | Mikrowellenleistung |
Leistung | 0~1250W | |
Frequenz | 2,45GHz | |
Vakuumsystem | Zweistufige Drehschieberpumpe (Ölpumpe) | 60 m3/h (optionale Trockenpumpe) |
Vakuumleitung | Alle Edelstahlrohre und hochfeste Vakuumbälge | |
Material | Aluminiumlegierung (kundenspezifische Edelstahlhöhle) | |
Dicke | 25mm | |
Dichtigkeit | Schweißdichtung | |
Innengröße der Kammer | 450×450×450MM (B×H×T) | |
Arbeitsbereich | 6 Magazinabschnitte | |
ECR | Geschlitztes Magazin und bietet eine verbesserte Behandlung durch ECR | |
Drehung des Fachs | Drehung des magnetischen Flüssigkeitskontrolleinschublade | |
Gasanlage | Durchflussbereich | 0~300SCCM |
Prozessgaskreislauf | Standard, zwei Wege CF4 Gas optional |
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Steuerungssystem | Systemsteuerung | SPS |
Interaktiver Modus | 7-Zoll-Touchscreen | |
Andere Spezifikationen | Maschinengröße | 1300×2100×1200MM (B×H×T) |
Gewicht | 250KG | |
Farbe | Silbergrau |
Spezifikationen für die Netzstromversorgung | Stromversorgung: AC380V,50/60Hz,5-adrig,50A |
Werkseitige Absaugung | Durchfluss: 2,0 m³/min |
Anforderungen an Betriebsgas im Werk | Durchfluss: 1~10 l/min Druck: 3~7 kg/cm² Rohrdurchmesser: 6×4 mm Material: PU-Rohr Reinheit: 99,99 % höher |
Werkseitige Druckluftanforderungen | Durchfluss: 1~10 l/min Druck: 3~7 kg/cm² Rohrdurchmesser: 8×5 mm Material: PU-Rohr Taupunkt :-40ºCbelow Partikel>0.3μm:10pcs/ft³ |
Gefahrenschilder | Warnschild Für Hochspannung |
Umgebung verwenden | Temperatur: 15~30ºC Luftfeuchtigkeit: 30~70% |
Andere Überlegungen | Keine brennbaren Gase, korrosiven Gase, explosiven oder reaktiven Stäube Zylinder müssen fixiert werden |
Nein | Name | Beschreibung | Einheit | Menge |
1 | Host | Abmessungen: 1300×2100×1200mm (B×H×T) | Setzen | 1 |
2 | Vakuumkammer | Vakuumkammer Innengröße 450×450×450mm (B×H×T) |
Setzen | 1 |
3 | Anregungsleistung | Mikrowelle Plasma | Setzen | 1 |
Frequenz: 2,45GHz Leistung 0~1250W |
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4 | SPS | Siemens, Deutschland, S7-200 | Pcs | 1 |
5 | Touchscreen | MCGS, 7-Zoll-Bildschirm | Pcs | 1 |
6 | Durchflussmesser | WAWICK | Pcs | 2 |
7 | Vakuumpumpe eingestellt | Zweistufige Drehschieberpumpe (Ölpumpe): 60 m3/h. | Setzen | 1 |
8 | Vakuummesser | INFICON | Pcs | 1 |
9 | Manuell | Bedienungsanleitung für den Plasma-Staubsauger SPMV-100H | Setzen | 1 |
Element | Inspektionsinhalte | Leben | Inspektionshäufigkeit |
Ölpumpe | Filterelement | Nutzungsdauer 2000H | 15 Tage |
Pumpenöl | Nutzungsdauer 2000H | 15 Tage |
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