Anpassung: | Verfügbar |
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Kundendienst: | Techniker können an den Arbeitsplatz geschickt werden |
Garantie: | 1 Jahre |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Von einer unabhängigen externen Prüfstelle geprüft
Modus
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ARC-Serie
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Vakuumkammer
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SUS304. φBDDmm-1200×800-1200mm(H
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Substrat Dome Größe
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Hängt von den Bedürfnissen des Kunden ab
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Rotationsgeschwindigkeit Der Substratkuppel
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10 bis 50 U/min (variabel)
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ArcEvaporation Quelle
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Von 2 bis 16 Sets
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Vakuumsystem
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Schrupppumpe, Diffusionspumpsor Turbo Molekularpumpe +Mechanische Pumpen
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Ultimativer Druck
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50×10-4PA oder niedriger
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Abwärtsgeschwindigkeit Der Pumpe
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25 Minuten IAtm. Bis 50×10-3 pa)
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Substratheizung
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550 (max.)
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Layoutbemaßungen
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5000mm 0W)×6500mm(D)×3500mm(H)ca.
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Stromversorgung
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3-phasig,380V,50/60Hz,100-180kVA Ca
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Kühlwasserdurchsatz
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140/min oder höher
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Druckluftdruck
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0,5MPa oder höher
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Bruttogewicht
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Ca. 8500kg
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