99,995 % Tetrafluoridgas CF4

• CAS No.: 75-73-0
• Formula: CF4
• EINECS: 200-896-5
• Constituent: Industrial Pure Air
• Grade Standard: Industrial Grade
• Chemical Property: Non-Flammable Gas
• Modell Nr.: 40L/50L
• un-Nummer: 1982
• Versandname: Tetrafluormethan
• Gefahrenklasse: 2,2
• Bezeichnung: Nicht entzündliches Gas
• Allgemeine Beschreibung: Farblos/nicht brennbares Gas
• Mol-Datei: 75-73-0.Mol
• Transportpaket: Cylinder
• Spezifikation: 1.603g/cm3(-128º C) 27.330(cm· mol)
• Warenzeichen: RM/OEM
• Herkunft: Qingdao, China
• HS-Code: 2826199090
• Produktionskapazität: 1000 PCS Per Month

Produktbeschreibung

 

Tetrafluorid CF4

CAS-Nr.: 75-73-0
UN-Nr.: UN1982
Reinheit: 99,999 %
DOT-Klasse: 2,2
 

Anwendungen

Anwendung von SF4:

Kohlenstofftetrafluorid ist derzeit die größte Menge an Plasma-Ätzgas in der Mikroelektronik-Industrie. Es ist eine Mischung aus hochreinem Gas und hochreinem Sauerstoff aus Tetrafluorid. Es kann weit verbreitet in der Ätzung von Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Phosphor-Siliziumglas und Wolfram-Film Materialien verwendet werden.
Bei Silizium- und Siliziumdioxid-Systemen kann die Selektivität von 45:1 durch die Anpassung des Verhältnisses der beiden Gase mit dem reaktiven Ionenätzverfahren von CF4-h2 erreicht werden, das sehr nützlich für das Ätzen des Siliziumdioxid-Films auf dem polykristallinen Siliziumgatter ist.

Es ist auch weit verbreitet in der Oberflächenreinigung von elektronischen Geräten, Herstellung von Solarzellen, Lasertechnologie, Gasphasenisolierung, kryogene Kühlung, Lecktest-Mittel, Kontrolle der Weltraumrakete Haltung und Reinigungsmittel in der Druckkreisproduktion.

 COA von CF4 Gas

Element	Index
CF4, % (V/V)≥	99,999	99,995	99,99
N2, 10-6 (V/V) ≤	4	20	40
O2, 10-6 (V/V) ≤	1	5	10
CO2, 10-6 (V/V) ≤	1	5	10
CO, 10-6 (V/V) ≤	0,3	0,5	1
SF6, 10-6 (V/V) ≤	1	1	5
H2O, 10-6 (V/V) ≤	1	5	10
HF, 10-6 ≤ (V/V)	0,1	0,3	0,3
TFC (CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤	1	10	30
Gesamter Verunreinigungsgehalt, ppm (V/V) ≤	10	50	100

 

CF4 Spezifikation

Parameter Kritischer Test	Einheit	Unternehmen Spezifikation	Analyse Ergebnisse	Analysemethode
Tetrafluormethan (CF4)	%(V/V)	99,999 % Min	>99,999%	GK
Sauerstoff(O2)	v.ppm	<1,0	<0,2	GK
Stickstoff(N2)	v.ppm	<1,0	<0,6	GK
Kohlenmonoxid (CO)	v.ppm	<0,5	<0,2	GK
Kohlendioxid(CO2)	v.ppm	<0,5	<0,2	GK
Schwefelhexafluorid(SF6)	v.ppm	<0,2	<0,1	GK
Trifluormethan(CHF3)	v.ppm	<0,5	<0,1	GK
Andere Halogenkohlenwasserstoffe (OFC)*	v.ppm	<1,0	<0,7	GK
Gesamtkohlenstoff (THC)*	v.ppm	<0,5	<0,1	GK
Feuchtigkeit(H2O)	v.ppm	<0,5	<0,2	Feuchtigkeitsanalysator
Säure (als HF)	v.ppm	<0,1	<0,08	Säuregerät
Gesamtinhalt Der Verunreinigung	v.ppm	≤10,0	<10,0	GK
Particale (>0.1μm)	pcs/Liter	<10,0	<1,0	ICP-MS

 

Unternehmensprofil

Über uns:

Qingdao Ruiming Bluesky Energy Co., Ltd befindet sich in Qingdao, der größte Seehafen in China, besitzt die bequemen Versandkosten Vorteile.
     Ruiming  wird von unseren Kunden als beispielloses technisches Wissen und Support anerkannt, was zu der Fähigkeit führt, kostengünstige und wettbewerbsfähige Lösungen anzubieten. Wir streben danach, dass unsere Kunden dank unserer freundlichen, zuverlässigen und professionellen Einstellung in allem, was wir tun, Freude an der Zusammenarbeit mit uns haben.  
    Diese Website soll Ihnen ein "Gefühl" für die Qualität des Unternehmens Ruiming vermitteln und Ihnen einen Überblick und technische Informationen über unsere Produktpalette geben. Wenn Sie nicht finden, was Sie suchen oder möchten Beratung zögern Sie nicht uns zu kontaktieren - wir werden alles tun, um zu helfen.

     Hauptprodukte:
1. Gasprodukte: Argongas, Heliumgas, Wasserstoffgas, Kohlenoxid ( CO2), Propangas, ect.
2. Alle Arten von Hochdruck-Gasflasche und geschweißten Gasflaschen:  
    Sauerstoffflasche ( GB 5099/ ISO 9809-3/ DOT/ EN Standardgas Zylinder)
    Acetylengasflasche
    Flüssigchlorzylinder/Ammoniakzylinder
3. Behälter mit Flüssigstickstoff: Alle Arten von Behältern mit Flüssigstickstoff von 2L bis 50L
4. Dewar Flasche: 175L 195L 495L Kapazität Flüssigtanks
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