Preis von Stickstofftrifluoridgas NF3

Produktdetails
Anpassung: Verfügbar
CAS-Nr.: 7783-54-2
Formel: NF3
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Grundlegende Informationen.

Modell Nr.
99.999%
EINECS
232-007-1
Bestandteil
Reine Industrie Air
Grade Norm
Elektronikklasse
Chemische Eigenschaft
Nicht brennbares Gas
un-Code
un 2451
Molmasse
7783-54-2.mol
Aussehen
Farblos
Gefahrenklasse
2.2
Oder
Giftig mit schimmeligem Geruch
Transportpaket
47l/470l Stahlzylinder
Spezifikation
dot 3AA / gb5099 nahtlose Stahlzylinder/ Tonne cy
Warenzeichen
rm/oem
Herkunft
Qingdao, China
HS-Code
2812901100
Produktionskapazität
3000 Tonnen pro Jahr

Produktbeschreibung

Stickstofftrifluorid      NF3        
Anwendungen: Stickstofftrifluorid wird beim Plasmaätzen von Silizium-Wafern eingesetzt. Heute wird Stickstofftrifluorid vorwiegend bei der Reinigung der PECVD-Kammern in der Großserienproduktion von Flüssigkristall-Displays und silikonbasierten Dünnschicht-Solarzellen eingesetzt. In diesen Anwendungen wird NF3 zunächst in situ durch ein Plasma abgebaut. Die daraus resultierenden Fluoratome sind die aktiven Reinigungsmittel, die Polysilicium, Siliziumnitrid und Siliziumoxid angreifen. Stickstofftrifluorid wird auch in Fluorwasserstoff- und Deuteriumfluorid-Lasern verwendet, die chemische Laser sind. Es wird aufgrund seiner praktischen Handhabungseigenschaften, die seine beträchtliche Stabilität widerspiegeln, dem Fluorgas vorgezogen. Es ist kompatibel mit Stahl und Monel sowie mehreren Kunststoffen.
Synthese und Reaktivität:
      Stickstofftrifluorid ist ein seltenes Beispiel für ein binäres Fluorid, das nur unter sehr seltenen Bedingungen, wie z. B. Elektrischer Entladung, direkt aus den Elementen hergestellt werden kann. Nach dem ersten Versuch der Synthese im Jahr 1903 bereitete Otto Ruff Stickstofftrifluorid durch die Elektrolyse eines geschmolzenen Gemisches aus Ammoniumfluorid und Fluorwasserstoff zu. Es erwies sich als deutlich weniger reaktiv als die anderen Stickstofftrihalide Stickstoff Trichlorid, Stickstofftribromid und Stickstofftriiodid, die alle explosiv sind. Allein unter den Stickstofftrihaliden hat es eine negative Enthalpie der Bildung. Heute wird es sowohl durch direkte Reaktion von Ammoniak und Fluor als auch durch eine Variation der Ruff-Methode hergestellt. Es wird in Druckzylindern geliefert.
Verunreinigungen                 NF3    ≥ 99, 995 %           NF3    ≥  99, 99 %         NF3  ≥  99, 98 %         NF3    ≥    99, 9 %      
CF4 ≤20 Volt ppm ≤40 Volt ppm ≤100 Volt ppm ≤500 Volt ppm
N2 ≤5 Volt ppm ≤5 Volt ppm ≤10 Volt ppm ≤50 Volt ppm
O2 + Ar ≤3 Volt ppm ≤5 Volt ppm ≤10 Volt ppm ≤50 Volt ppm
CO2 ≤1 Volt ppm ≤5 Volt ppm ≤10 Volt ppm ≤10 Volt ppm
H2O ≤1 Volt ppm ≤1 Volt ppm ≤1 Volt ppm ≤1 Volt ppm
HF ≤1 Volt ppm ≤1 Volt ppm ≤1 Volt ppm ≤1 Volt ppm
SF6 ≤1 Volt ppm ≤2 Volt ppm ≤2 Volt ppm ≤25 Volt ppm
N2O ≤1 Volt ppm ≤5 Volt ppm ≤10 Volt ppm ≤10 Volt ppm
CO ≤0, 5 Volt ppm ≤5 Volt ppm ≤10 Volt ppm ≤10 Volt ppm

Price of Nitrogen Trifluoride Gas NF3

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Über Ruiming
Qingdao Ruiming Bluesky Energy Co., Ltd  Befindet sich in Qingdao, der größte Seehafen in China, besitzt die bequemen Versandkosten Vorteile.
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              Flüssigchlorzylinder/Ammoniakzylinder
3.       Behälter mit Flüssigstickstoff: Alle Arten von Behältern mit Flüssigstickstoff von 2L bis 50L
4.     Kryogene Flüssigkeit Zylinder: 175L 195L 210L 495L Kapazität  
5. Flüssigkeitsspeicher: 5M3, 10 M3, 20M3, 30 M3, 50M3, 100 M3, 200 M3 usw.
6. Gas-Ausrüstung: Verdampfer, Verteiler, Gas-Füllpumpe, ect.
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