Anpassung: | Verfügbar |
---|---|
CAS-Nr.: | 7783-54-2 |
Formel: | NF3 |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Von einer unabhängigen externen Prüfstelle geprüft
Verunreinigungen | NF3 ≥ 99, 995 % | NF3 ≥ 99, 99 % | NF3 ≥ 99, 98 % | NF3 ≥ 99, 9 % |
CF4 | ≤20 Volt ppm | ≤40 Volt ppm | ≤100 Volt ppm | ≤500 Volt ppm |
N2 | ≤5 Volt ppm | ≤5 Volt ppm | ≤10 Volt ppm | ≤50 Volt ppm |
O2 + Ar | ≤3 Volt ppm | ≤5 Volt ppm | ≤10 Volt ppm | ≤50 Volt ppm |
CO2 | ≤1 Volt ppm | ≤5 Volt ppm | ≤10 Volt ppm | ≤10 Volt ppm |
H2O | ≤1 Volt ppm | ≤1 Volt ppm | ≤1 Volt ppm | ≤1 Volt ppm |
HF | ≤1 Volt ppm | ≤1 Volt ppm | ≤1 Volt ppm | ≤1 Volt ppm |
SF6 | ≤1 Volt ppm | ≤2 Volt ppm | ≤2 Volt ppm | ≤25 Volt ppm |
N2O | ≤1 Volt ppm | ≤5 Volt ppm | ≤10 Volt ppm | ≤10 Volt ppm |
CO | ≤0, 5 Volt ppm | ≤5 Volt ppm | ≤10 Volt ppm | ≤10 Volt ppm |