Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Wir können Kupferziele verschiedener Reinheit und Anforderungen mit einer Reinheit von 99,9%~99,9999% herstellen. Der Sauerstoffgehalt kann bis zu <1ppm betragen. Es wird hauptsächlich für Bildschirm- und Touchscreen-Verkabelung und seine Schutzfolie, Sonnenlichtabsorptionsschicht, Halbleiterverdrahtung, etc. Industrie verwendet. Neben der Erfüllung der Kundenbedürfnisse nach flachen Targets (der größten G8,5-Generation) können wir auch kupferrotierende Targets herstellen, die hauptsächlich in der Touchscreen-Industrie eingesetzt werden. Die Kristallkörner des hochreinen Kupferziels sind schwer zu brechen. Wir können das Wachstum des Kristalls nur durch eine sehr große Verformungsverarbeitung kontrollieren, um eine feine und gleichmäßige Mikrostruktur zu erhalten, so dass die Sputterschicht eine geringere Erosionsrate erzielen und die Empfindlichkeit gegenüber der Partikelbildung während des Sputterns verringern kann. Die folgende Abbildung zeigt zwei typische mikroskopische metallographische Inspektionsbilder von Kupfer-Sputterzielen mit einer durchschnittlichen Partikelgröße von <50um.
Anwendung:
Verunreinigungen im Kupfer-Sputterziel verringern die Leitfähigkeit des Materials, und Verunreinigungselemente sind der Hauptfaktor, der die Ausbeute bei der Herstellung von Halbleiterfolien beeinflusst. Besonders kritisch sind Verunreinigungen in Form von Titan, Phosphor, Calcium, Eisen, Chrom und Selen. Diese Metalle sind in unseren Kupferzielen sehr niedrig und ihr Verunreinigungsgehalt liegt weit unter dem von Kunden geforderten Standardwert. Die folgende Tabelle ist das Zertifikat zur Stoffanalyse des hochreinen Kupfersputterziels 4N.
Die verwendeten Analysemethoden sind:
1. GDMS oder ICP-OES verwenden, um Metallelemente zu analysieren;
2. LECO für die Analyse von Gaselementes verwenden.
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