Vorläufergas in der CVD-Oberflächenbehandlung Anwendungen Gasflasche Wolfram-Hexafluorid

• CAS-Nr.: 7783-82-6
• Formel: Wf6
• EINECS: 232-029-1
• Bestandteil: Reine Industrie Air
• Grade Norm: Industrial Grade
• Chemical Property: Verbrennung unterstützenden Gas
• Modell Nr.: Wf6
• Produktname: Tungsten Hexafluoride
• einecs-Nr.: 7783-82-6
• un-Nr.: Un2196
• Reinheit: 99,999 %
• dot-Klasse: 2.3
• Aussehen: Farblos
• Transportpaket: 200t/Year
• Spezifikation: 200t/Year
• Warenzeichen: CMC
• Herkunft: China
• HS-Code: 2812190091
• Produktionskapazität: 200t/Year

Produktbeschreibung

Produktbeschreibung

Wolfram-Hexafluorid (WF6) ist eine Verbindung, die aus Wolfram (W) und Fluor (F)-Atomen besteht. Es handelt sich um ein hochreaktives und korrosives Gas, das häufig in verschiedenen industriellen Anwendungen eingesetzt wird.

Eigenschaften von Wolfram-Hexafluorid (WF6) Gas:

• Formel: WF6
• Molekulargewicht: 297,84 g/mol
• Aussehen: Farbloses bis blassgelbes Gas
• Geruch: Scharf und scharf
• Schmelzpunkt: -2,5 Grad (-12,5 Grad)
• Siedepunkt: 17,1 Grad (62,8 Grad)
• Dichte: 3,53 g/cm³ (bei 25 77 C)
• Löslichkeit: Reagiert heftig mit Wasser, zersetzt sich zu Wolframoxid und Flusssäure
• Dampfdruck: 1 atm bei ca. 19 Grad (66 Grad F)

Verwendung von Wolfram-Hexafluorid (WF6) Gas:

1. Halbleiterfertigung: WF6 wird in der Halbleiterindustrie häufig für den Prozess der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) verwendet. Es wird als Vorläufer verwendet, um dünne Schichten von Wolfram auf Silizium-Wafern während der Herstellung von mikroelektronischen Geräten zu deponieren.

2. Metall Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD): WF6 wird in MOCVD-Verfahren verwendet, um dünne Schichten von Wolfram für verschiedene Anwendungen, einschließlich der Herstellung von Leuchtdioden (LEDs) und Dünnschicht-Solarzellen abzulegen.

3. Oberflächenbehandlung: Wolfram-Hexafluorid wird auch für Oberflächenbehandlungsanwendungen verwendet. Es kann als reaktives Gas in Plasmaätzverfahren eingesetzt werden, um bestimmte Materialien selektiv von Oberflächen wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Polysilicium zu entfernen.

Sicherheitsüberlegungen:
Wolfram-Hexafluorid ist eine hochreaktive und korrosive Substanz. Es sollte mit äußerster Vorsicht gehandhabt werden, vorzugsweise von geschultem Personal, in einem gut belüfteten Bereich oder unter Abzügen. Der Kontakt mit Haut, Augen oder Schleimhäuten sollte vermieden werden, da er schwere Verbrennungen und Gewebeschäden verursachen kann. Das Einatmen von WF6 Gas oder dessen Zersetzungsprodukten kann schädlich sein und sollte verhindert werden. Bei der Arbeit mit diesem Präparat ist eine geeignete persönliche Schutzausrüstung, einschließlich Handschuhe, Schutzbrille und Atemschutz, zu verwenden.

Bitte beachten Sie, dass die hier bereitgestellten Informationen auf allgemeinen Kenntnissen basieren und dass spezifische Sicherheitsrichtlinien und -Protokolle je nach Standort und Anwendung variieren können. Es ist wichtig, die relevanten Sicherheitsdatenblätter (SDS) zu konsultieren und die Anweisungen des Herstellers oder der Aufsichtsbehörden beim Umgang mit Wolframhexafluorid oder anderen gefährlichen Substanzen zu befolgen.

Produktspezifikation:
Wolfram-Hexafluorid WF6 GAS
CAS-Nr.: 7783-82-6

EINECS Nr.: 232-029-1
UN-Nr.: UN2196
Reinheit: 99,999 %
Dot-Klasse: 2,3  
Aussehen: Farblos
Grade Standard: Elektronenklasse, Industrieklasse

Das Echtheitszertifikat des Produkts:
 

Testelemente	Einheiten	Qualitätsanforderungen	Testergebnisse
CF4	Ppm	<0,5	<0,01
O2	Ppm	<0,5	<0,01
N2	Ppm	<1	0,03
CO	Ppm	<0,5	<0,02
CO2	Ppm	<0,5	<0,01
SiF4	Ppm	<0,5	<0,1
SF6	Ppm	<0,5	<0,1
HF	Ppm	<5	0,19
Al	Ppb	≤10	<0,020
Wie	Ppb	≤10	<0,001
B	Ppb	≤10	<0,005
Ca	Ppb	≤5	<0,200
Cd	Ppb	≤2	<0,001
Cr	Ppb	≤10	<0,020
Fe	Ppb	≤10	<0,007
K	Ppb	≤5	<0,100
Mn	Ppb	≤10	<0,001
Entfällt	Ppb	≤5	<0,040
Th	Ppb	≤0,1	<0,001
Ti	Ppb	≤10	<0,002
Li	Ppb	≤10	<0,002
U	Ppb	≤0,05	<0,001
Zn	Ppb	≤10	<0,005
Si	Ppb	≤10	<0,100
Pb	Ppb	≤10	<0,001
P	Ppb	≤2	<0,300
Mg	Ppb	≤10	<0,020
Ni	Ppb	≤20	<0,030
Cu	Ppb	≤5	<0,005
Mo	Ppb	≤10	<0,001
Gesamtverunreinigungen anderer Metalle	Ppb	≤500	<0,0010

 

Detaillierte Fotos

 

 

Unternehmensprofil

Shanghai Kemike Chemical Co., Ltd wird von ausgebildetem Personal besetzt, kombinieren langjährige Erfahrung in der Gasindustrie. Wir liefern Flaschengas, elektronisches Gas, etc., und die Gashalter, Panel, Ventile und Armaturen und andere Ausrüstung, Teile und Engineering-Dienstleistungen für unsere Kunden in China und weltweit; Die Produkte sind in verschiedenen industriellen Bereichen, wie Halbleiterchip, Solarzelle, LED, TFT-LCD, Glasfaser, Glas, Laser, Medizin, etc., unsere Mission ist es, mit unseren globalen Kunden zu unterstützen, Lösungen und Qualitätsprodukte, die innovativ, zuverlässig und sicher sind, bieten.

Zu unseren Produkten gehören vor allem: H2, O2, N2, Ar, CO2, Propan, Acetylen, Helium, Laser-Mischgas, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, Doping-Mischgas (TMB, PH3, B2H6) und andere elektronische Gase.

Unsere Vorteile

1. Schnelle Lieferung;
2. Stabile Rohstoffquelle;
3. On-line-Analysesystem für Qualitätskontrolle in jedem Schritt;
4. Hohe Anforderung und sorgfältiger Prozess für die Handhabung von Zylinder vor dem Befüllen;
Unser Kohlenmonoxid wurde in viele Länder wie Indien, Pakistan, Malaysia, Indonesien, Australien, Singapur, Malediven und Ecuador.
Seit der Gründung unseres Unternehmens hat es universelles Lob aufgrund des guten Rufs, der hohen Qualität und des perfekten After-Service erhalten.

FAQ

1. F: Sind Sie eine Fabrik oder ein Handelsunternehmen?
  A: Wir sind ein Hersteller und Handel Integration Unternehmen. Unsere Forschungs- und Entwicklungsabteilung und die ausgeklügelte Lieferkette sind unser Schlüssel zum Erfolg.

2. Q: Sind Großaufträge und mehrere Produktbestellungen verfügbar?
  A: Ja, wir haben ein starkes Produktionssystem, um sicherzustellen, dass alle Ihre Anforderungen erfüllt werden. Eine Station Produktlösung ist unser Ziel des Service.

3. F: Was, wenn ich dieses Produkt noch nie importiert, wie mache ich es?
  A: Machen Sie sich keine Sorgen. Wir haben Import- und Exporterfahrung in über 50 Ländern auf der ganzen Welt, unsere Fulfillment-Abteilung wird Sie bei jedem Schritt des Prozesses begleiten.
4. Was ist das MOQ?
Verschiedene Produkte haben unterschiedliche Mindestbestellmenge. Es hängt von der Art des Gases und den Spezifikationen der Gasflasche ab. Bitte wenden Sie sich für Ihre Anforderung direkt an mich.

5. F: Warum uns  Kemike  Gas wählen?
  A: Stabile Versorgung, professionelle Lösung, angemessener Preis und Sicherheit Geschäft mit unserem Taiyu.

6. F: 3. Wie kontrolliert Ihr Werk die Qualität?
  A: Wir haben Standard-Qualitätskontrollverfahren.
A> in der Produktion haben wir Qualitätsanalysesystem, um sicherzustellen, dass jeder Schritt qualifiziert ist.
b> vor dem Befüllen führen wir die Vorbehandlung für die Flaschen durch, um sie gut zu reinigen.
c> nach dem Abfüllen werden wir 100% Inspektionsanalyse  vor der Lieferung.

7. F: Ist es möglich, per Flugzeug zu versenden?
  A: Gase sind in die Klassen 2,1, 2,2 und 2,3 eingeteilt, die brennbare Gase, nicht brennbare Gase und giftige Gase sind. Gemäß den Vorschriften können brennbare Gase und Giftgase nicht mit der Luft transportiert werden, und nur nicht brennbare Gase können mit der Luft transportiert werden. Wenn die Menge gekauft ist groß, ist Seetransport besser.

8. F: Kann ich das Paket anpassen?
  A: Ja natürlich! Das regulärste Paket ist Zylinder. Seine Größe, Farbe, Ventil, Design und andere Anforderungen können alle erfüllt werden.  

9. F: Was ist das Paket & Lagerung Details?
  A: Nahtlose Stahlzylinder mit verschiedenen Ventilen, oder wie auf Ihre Anforderung.
Lagerung in schattigen, kühlen, trockenen, belüfteten Lagerhäusern, und fernhalten von Sonnenlicht und Rammen.

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