| CAS-Nr.: | 75-73-0 |
|---|---|
| Formel: | CF4 |
| EINECS: | 75-73-0 |
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Kohlenstofftetrafluorideist ein kryogenes Kältemittel, das unter normalen Bedingungen relativ inert ist, ein Sauerstoffverdränger ist und auch in verschiedenen Wafer-Ätzprozessen eingesetzt wird. CF4 ist derzeit das am häufigsten verwendete Plasma-Ätzgas in der Mikroelektronik-Industrie. Es kann weit verbreitet in der Ätzung von Dünnschichtmaterialien wie Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Phosphosilikatglas und Wolfram, und in der Oberflächenreinigung von elektronischen Geräten und Solarzellen verwendet werden. Es ist auch weit verbreitet in der Herstellung von Lasertechnologie, Gasphasenisolierung, Niedertemperaturkühlung, Lecksuchmittel, die Steuerung der Haltung von Weltraumraketen und Dekontaminationsmittel in der Leiterkreisproduktion verwendet.
Aufgrund der chemischen Stabilität von Tetrafluorid kann Tetrafluorid in der Metallschmelze und Kunststoffindustrie eingesetzt werden
Technische Daten:
| Spezifikationen | Unternehmensstandard |
| CF4 | ≥ 99,999 % |
| O2+AR | ≤ 1 ppm |
| N2 | ≤ 2 ppm |
| H2 | ≤ 0,3 ppm |
| CO | ≤ 0,3 ppm |
| CO2 | ≤ 0,3 ppm |
| SF6 | ≤ 0,3 ppm |
| THC | ≤ 0,3 ppm |
| OFC | ≤ 1 ppm |
| Feuchtigkeit | ≤ 1 ppm |
F: Was sind die Hauptvertriebsprodukte von TAIYU?
A: Wir liefern hauptsächlich Spezialgase und Gasgeräte.
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Chengdu Taiyu Industrial Gases Co., Ltd
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