Chinesischer Inline-Staubsauger mit Fackel für Plasma-Oberfläche Behandlungsprozess Silicon Wafer

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Reinigungsprozess: Vacuum Plasma Cleaning
• Stil: Integrierter Stil
• Saubere Typ: Automatic in Line
• Verwendung: Auto-Industrie, Energiewirtschaft, Petrochemische Industrie, Maschinenbau, Hüttenwesen
• Modell Nr.: VPC3i
• Prinzip: Chemische Reinigung
• Bescheinigung: CE, ISO
• Steuerung: CNC
• Automatisierung: Automatisch
• Zustand: Neu
• Fernbedienung: Mit Fernbedienung
• Kundenspezifische: Kundenspezifische
• Transportpaket: Plywooden Case
• Spezifikation: CE
• Warenzeichen: TORCH
• Herkunft: Beijing, China
• HS-Code: 8479899990
• Produktionskapazität: 10set/Month

Produktbeschreibung

Chinesische FACKEL Inline-Staubsauger Plasma-Reiniger für Plasma-Oberfläche verwendet Prozess-Behandlung Siliziumwafer

Inline-Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
Modell Nr.: VPC3i
Hersteller : Beijing Torch SMT Incorporated Company


I. Gerätename, Typennummer, Ursprung und Lieferdatum
1,1 Ausstattungsname: Inline-Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
1,2 Modell -Nr.: VPC3i
1,3 Herkunft (Land, Hersteller): Beijing Torch SMT Incorporated Company
1,4 Liefertermin: 4-8 Wochen nach Vertragsschluss
1,5 hauptsächlich für die Plasma-Oberflächenbehandlung in Halbleitergehäusen wie Siliziumwafer, Glassubstrat, Keramiksubstrat, IC-Trägerplatte, Kupferbleirahmen, Großformatige einseitige Substrat-Power-Board, IGBT-Modul, MEMS-Sensor mit Halterung, Mikrowellengerät, Filter, HF-Gerät, etc.
II Technische Hauptleistungsparameter:
2,1 Volumen der Vakuumkammer: 3L
2,2 Grad Vakuum:
Der maximale Vakuumgrad von VPC3i Plasma-Staubsauger beträgt Weniger als 10 Pa (mechanische Trockenpumpe 8L)
2,3 effektiver Reinigungsbereich:
Einzelne Reinigungsfläche: 350 * 100 * 85mm
Plasmafrequenz: 13,56hz 300W  RF (Volumenbehandlung, mit Wasserkühlung)
2,4 Höhe der Vakuumkammer:
Ofenhöhe: 100mm (effektive Größe)
2,5 Reinigungstemperatur:
Reinigung bei niedrigen Temperaturen (unter Raumtemperatur).
2,6 Reinigungsfrequenz: 30-120s
2,7 Reinigungseffekt: Der Dynwert kann 70 erreichen. Der Wasserfallwinkel beträgt 15 Grad und kann  innerhalb von 10 Grad optimal gesteuert werden (Werkstatt mit Luftreinheit der Klasse 100 staubfrei kann innerhalb von 4 Stunden gereinigt werden)
2,8 Gas kann verwendet werden:
Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Stickstoff-Wasserstoffgemisch, Wasserstoff und Ameisensäure, etc.
2,9 VPC3i Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine ist mit Software-Steuerung ausgestattet:
Das Software-Steuerungssystem ist einfach zu bedienen, es ermöglicht die Anbindung von Steuergeräten, verschiedene Reinigungsprozesskurven können eingestellt werden, Kurven können eingestellt, geändert, gespeichert und für die Verwendung nach verschiedenen Prozessen ausgewählt werden; die Software verfügt über eine eigene Analysefunktion, die die Prozesskurve analysieren kann. Das Softwareregler-System zeichnet automatisch den Reinigungsprozess, die Temperaturkurve, die Zeit und die alarmierenden Daten in Echtzeit auf, um die Rückverfolgbarkeit des Reinigungsprozesses zu gewährleisten.
2,10 die Ausrüstung muss daher nicht kalibriert werden Es fallen keine weiteren Kalibrierungsgebühren an  
2,11 Leistungsaufnahme im Betrieb: 2,2kW, ohne Stromverbrauch des Kühlers
2,12 die Funktion des Übertemperaturalarms und der Aufzeichnung. (Standardkonfiguration)
VPC3i Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine ist  mit Werkstückoberfläche  über Temperaturschutz, Alarm, Temperaturschutz und Aufzeichnung der gesamten Maschine  während des Reinigungsprozesses  funktioniert.
2,13 Stickstoff, Argon und andere Flussmanagement- und Analysesysteme (Software + Hardware). (Optional)
Die VPC3i Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird  durch Echtzeitmanagement und Analyse von Prozessgasen wie Stickstoff und Argon, die von der gesamten Maschine verbraucht werden, betrieben und kann den Gasverbrauch, den täglichen Verbrauch, den wöchentlichen Verbrauch und den unterschiedlichen Zeitzeitverbrauch in Echtzeit aufzeichnen und analysieren.
2,14 Prozessgasdruck-Alarmfunktion und Analysesystem (Software + Hardware). (Optional)
Die VPC3i Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird  durch Unterspannungsalarm, Aufzeichnung und Analyse der Prozessgasquelle im Produktionsprozess der gesamten Maschine, die sehr nützlich für die Rückverfolgbarkeit der Produktqualität ist, funktioniert.
2,15 Energiemanagement- und Analysesystem (Software + Hardware). (Optional)
VPC3i Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird  durch Echtzeit-Management und Analyse des Energieverbrauchs funktioniert, und kann die Aufzeichnung von Echtzeit-Stromverbrauch, täglichen Stromverbrauch, wöchentlichen Stromverbrauch, Zeitraum Stromverbrauch, etc. Analysieren
2,16 Sauerstoff-Content-Management- und -Analysesystem (Software + Hardware) (Optional)
Die VPC3i Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird  durch Echtzeit-Management und Analyse des Sauerstoffgehalts in der Vakuumkammer der gesamten Maschine funktioniert. Es kann den PPM-Wert des Sauerstoffgehalts in Echtzeit analysieren, aufzeichnen und analysieren, um die Produktqualität und -Analyse zu gewährleisten.
2,17 MES-Datenschnittstellen-Subsystem (Software + Hardware). (Optional)
Die VPC3i Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine wird auch über die MES-Datenschnittstelle der gesamten Maschine gesteuert, und das MES-System kann ausgewählt und konfiguriert werden, um verschiedene Datenerfassung und Analyse intelligenter Geräte durchzuführen.
2,18 Gesamtabmessungen:
550 * 1260 * 1480mm (ohne Alarmleuchte)
2,19 Innere Struktur: Siehe die richtige Abbildung

III Grundzusammensetzung und Konfiguration:

Nein	Beschreibung	Konfiguration	menge
1	Plasma-Reinigungsmaschine absaugen	Hauptmaschine	1set
2	Plasma-Stromsystem	Standardkonfiguration	1set
3	Temperaturmesssystem	Standardkonfiguration (4 Gruppen von Temperaturmesskopplern)	1set
4	Vakuumsystem	Standardkonfiguration	1set
5	Mechanische Pumpe	Standardkonfiguration	1set
6	Wasserkühlsystem	Standardkonfiguration (Industrielle Kühlmaschine ist ausgeschlossen)	1set
7	Industrielle Kühlmaschine	Optional	1set
8	Ameisensäure-System	Standardkonfiguration (Formalsäure, Gasleitung und Anschluss)	1set
9	Schutzsystem für Stickstoffatmosphäre	Standardkonfiguration (ohne Stickstoffversorgung)	1set
10	Software -System für die Plasmareinigung	Standardkonfiguration (Steuerungssoftware)	1set
11	Industriecomputer	Standardkonfiguration	1set
12	Plasma	Standardkonfiguration	1piece
13	Temperaturmesssensor (Ersatzteile)	Standardkonfiguration	2
14	Kühlleitung (Ersatzteile)	Standardkonfiguration	2
15	Prozessgasvolumen-Management und Analysesystem	Optional	1set
16	Prozessgasdruck -Alarm- und -Analysesystem	Optional	1set
17	Energiemanagement- und Analysesystem	Optional	1set
18	Sauerstoffgehalt Management und Analyse-System	Optional	1set
19	MES -Datenschnittstellensystem	Optional

IV VPC3i Technische Parameter

Marke	Hersteller	Beijing Torch SMT Incorporated Company	Anmerkungen
Kurze Einführung	Ursprung	Peking
Schlüsselkomponenten	Temperatursensor	US-OMEGA
	Vakuumpumpe	KYKY/BSC
	Kugelventil	Japan Marke
	Corossion-Widerstandsventil	Japan Marke
	Niederspannungs-Elektrosystem	SCHNEIDER
	Botton-Schalter	Taiwan JICTEN/SCHNEIDER
	Fotoelektrik	Omron
	Plasmaleistung	TASCHENLAMPE
Wichtiger technischer Index	Temperatur	Reinigung bei niedrigen Temperaturen, Temperatur wird unter Raumtemperatur gehalten
	Min. Vakuumgrad	10PA
	Sauerstoffgehalt	<1ppm
	Produktionseffizienz	20-120S
Index der wichtigsten Prozesse	Rückverfolgbarkeit der Qualität	1. Prozess Gasdruck Alarm-Datensatz. 2. Sauerstoffgehalt Alarm-Aufzeichnung. 3. Temperatur über Temperatur Alarm aufzeichnen. 4. Alarmaufzeichnung der Nichteinhaltung des Vakuumwertes
	Intelligenz und Informatisierung	1.Intelligente Funktion. Wenn eine der 4 oben genannten Indikatoren den Standard nicht erfüllt oder einen Alarm ausgibt, wird ein allgemeiner Alarm und eine Aufforderung zur Produktionsstopp angezeigt, um die Produktionsqualität zu gewährleisten. 2. Energiemanagementsystem, Stromverbrauch und Stickstoffverbrauch werden im Energiemanagementsystem in Echtzeit gezählt und angezeigt. 3. Alle oben genannten Informationen können über eine Datenschnittstelle nahtlos an das MES-System angeschlossen werden, um die Entscheidungsfindung und das Management des Managementteams zu erleichtern.
Einrichtungen	Leistung	380VAC,20A
	Gas	Druckluft (CDA)0,5Mpa
	Stickstoff	0,5MPa
	Vakuum	Ausgestattet mit Vakuum-Trockenpumpe

Hinweis:
Die Steuerungssoftware für den Staubsauger der Beijing Torch SMT Incorporated Company wird von der Beijing Torch SMT Incorporated Company unabhängig entwickelt und die Beijing Torch SMT Incorporated Company verschließt das Recht auf Software-Registrierung ohne Fremdzertifizierung.

Die Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine der Beijing Torch SMT Incorporated Company hat bereits eine Reihe nationaler Patente erhalten. Bitte nicht kopieren!!