Halbleiterreiniger mit Plasma
I. Gerätename, Typennummer, Ursprung und Lieferdatum
1,1 Ausstattungsname: Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
1,2 Modell -Nr.: VPC42
1,3 Herkunft (Land, Hersteller): Beijing Torch SMT Incorporated Company
1,4 Liefertermin: 4-8 Wochen nach Vertragsschluss
1,5 hauptsächlich für die Plasma-Oberflächenbehandlung in Halbleitergehäusen wie Siliziumwafer, Glassubstrat, Keramiksubstrat, IC-Trägerplatte, Kupferbleirahmen, Großformatige einseitige Substrat-Power-Board, IGBT-Modul, MEMS-Sensor mit Halterung, Mikrowellengerät, Filter, HF-Gerät, etc.
II Wichtigste technische Leistungsparameter:
2,1 Volumen der Vakuumkammer: 42L
2,2 Grad Vakuum:
Der maximale Vakuumgrad von VPC42 Plasma-Staubsauger beträgt Weniger als 2 Pa (mechanische Trockenpumpe 40L/min)
2,3 effektiver Reinigungsbereich:
Einzelreinigungsbereich: 350 *350mm
15 Schichten: 15mm Intervall: 40kHz 2KW Zwischenfrequenz (Oberflächenbehandlung)
5 Schichten: 50mm Intervalle, 13,56HZ 300W Hochfrequenz (Volumenverarbeitung, mit Wasserkühlung)
2,4 Höhe der Vakuumkammer:
Kammerhöhe : 350mm (effektive Größe)
2,5 Reinigungstemperatur:
Reinigung bei niedrigen Temperaturen (unter Raumtemperatur).
2,6 Reinigungsfrequenz: 30-120s
2,7 Reinigungseffekt: Der Dynwert kann 70 erreichen. Der Wasserfallwinkel beträgt 15 Grad und kann innerhalb von 10 Grad optimal gesteuert werden (Werkstatt mit Luftreinheit der Klasse 100 staubfrei kann innerhalb von 4 Stunden gereinigt werden)
2,8 Gas kann verwendet werden:
Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Stickstoff-Wasserstoffgemisch, Wasserstoff und Tetrafluorid, etc.
2,9 VPC42 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine ist mit Software-Steuerung ausgestattet:
Das Software-Steuerungssystem ist einfach zu bedienen, es ermöglicht die Anbindung von Steuergeräten, verschiedene Reinigungsprozesskurven können eingestellt werden, Kurven können eingestellt, geändert, gespeichert und für die Verwendung nach verschiedenen Prozessen ausgewählt werden; die Software verfügt über eine eigene Analysefunktion, die die Prozesskurve analysieren kann. Das Softwareregler-System zeichnet automatisch die Daten des Reinigungsprozesses , der Temperaturkurve, der Zeit und des Alarms in Echtzeit auf, um die Rückverfolgbarkeit des Reinigungsprozesses zu gewährleisten.
Unternehmensinformationen
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I. Gerätename, Typennummer, Ursprung und Lieferdatum 
