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Geprüfter Lieferant Dual-Target RF Magnetron Sputtering Coater ist eine kostengünstige Magnetron Sputterbeschichtungsanlage, die von unserem Unternehmen unabhängig entwickelt wurde. Es ist standardisiert, modular und anpassbar. Es gibt 1-Zoll- oder 2-Zoll-Magnetron-Ziele für Sie zu wählen. Kunden können das Ziel entsprechend der Größe des zu beschichtenden Substrats auswählen. Das Gerät ist mit zwei 300W RF-Netzteilen ausgestattet. Das DC-Netzteil kann für die Vorbereitung von Metallfolien und das RF-Netzteil für die Herstellung von nichtmetallischen verwendet werden. Die beiden Targets können die Anforderungen von mehrschichtigen oder mehrschichtigen Beschichtungen erfüllen.
Die Beschichtungsmaschine ist mit einem zweikanaligen hochpräzisen Massendurchflussmesser ausgestattet. Wenn Sie andere Anforderungen haben, können Sie den Gasweg von bis zu vier-Kanal-Massendurchflussmessern an die komplexen Anforderungen an die Gasumgebung anpassen. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Turbomolekularpumpen ausgestattet, das ultimative Vakuum liegt bei bis zu 1,0E-5Pa, und andere Arten von molekularen Pumpen sind zum Kauf erhältlich. Der Gaspfad der Molekularpumpe wird durch mehrere Magnetventile gesteuert. Sie können die Kammer öffnen, um die Probe zu entnehmen, ohne die Pumpe herunterzufahren, was Ihre Arbeitseffizienz erheblich verbessert. Dieses Produkt kann mit einem integrierten Industriecomputer zur Steuerung des Systems ausgestattet werden. Im Computerprogramm können die meisten Funktionen wie die Steuerung der Vakuumpumpe und die Steuerung der Sputterleistung realisiert werden, was Ihre experimentelle Effizienz weiter verbessern kann.
Dual-Target RF Magnetron Sputteranlage Anwendung:
Dieses Gerät kann zur Herstellung von einschichtigen oder mehrschichtigen ferroelektrischen Dünnfilmen, leitfähigen Folien, Legierungsfolien, Halbleiterfolien, Keramikfolien, Dielektrische Folien, optische Folien, Oxidfolien, Hartfolien, PTFE-Folien, Und dergleichen. Im Vergleich zu ähnlichen Geräten wird der Dual-Target-Magnetron-Sputterbeschichter nicht nur häufig eingesetzt, sondern bietet auch die Vorteile kleiner Größe und einfacher Bedienung und ist ein ideales Gerät für die Vorbereitung von Materialfilmen im Labor.
Dual-Target DC Magnetron Sputtering Coater technische Parameter:
| Probenbühne | Größe | φ185mm | Genauigkeit der Temperaturregelung | ±1ºC |
| Heiztemperatur | Max. 500ºC | Drehgeschwindigkeit | 1-20rpm einstellbar | |
| Magnetron sputtering Zielkopf | Menge | 2 Zoll×2 (1 Zoll, 2 Zoll optional) | Wasserkühler | Umwälzwasserkühler mit einer Durchflussrate von 10L/min |
| Kühlmodus | Wasserkühlung | |||
| Vakuumkammer | Kammergröße | φ300mm×300mm | Fenster „Watch“ | Φ100mm |
| Kammermaterial | Edelstahl | Öffnungsmodus | Obere Abdeckung geöffnet | |
| Masse-Durchflussmesser | 2 Kanäle; Messbereich 100SCCM; 100SCCM (kundenspezifisch anpassbar) | |||
| Vakuumsystem | Modell | CY-GZK103-A | Pumpschnittstelle | KF40 |
| Molekularpumpe | CY-600 | Abgasschnittstelle | KF16 | |
| Vorpumpe | Drehschieberpumpe | Vakuummessung | Compound-Vakuummesser | |
| Ultimatives Vakuum | 1,0E-5Pa | Stromversorgung | AC;220V 50/60Hz | |
| Förderleistung | Molekularpumpe: 600L/S Drehschieberpumpe: 1,1l/S. Umfassende Gaspumpumpe Leistung: Vakuum bis zu 1,0E-3Pa in 20 Minuten |
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| Stromversorgung | Menge | HF-Netzteil×2 | Max. Ausgangsleistung | HF 300 W |
| Andere Parameter | Versorgungsspannung | AC220V,50Hz | Gesamtgröße | 540mm×540mm×10000mm |
| Gesamtleistung | 2,5KW | Gesamtgewicht | Etwa 145kg | |
F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?
A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, haben unser eigenes Designteam und eine eigene Fabrik, haben ausgereifte technische Erfahrung und können die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.
F. wie ist das Produkt-After-Sales-Service-System Ihres Unternehmens?
A. die Produktgarantie beträgt 12 Monate, wir können lebenslange Wartung bieten. Wir haben professionelle Pre-Sales- und After-Sales-Abteilungen, die innerhalb von 24 Stunden auf Sie antworten können, um technische Probleme zu lösen.
F. wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?
A,1. Wenn die Ware auf Lager ist, ist es 5-10 Tage. 2. Wir können maßgeschneiderte Dienstleistungen für unsere Kunden bieten. Je nach den Spezifikationen des kundenspezifischen Instruments dauert es normalerweise 30-60 Tage.
Q. Stromversorgung und Stecker unseres Landes sind unterschiedlich. Wie lösen Sie es?
A. Wir können einen Transformator und Stecker nach Ihren lokalen Anforderungen nach dem Netzstecker der verschiedenen Länder liefern.
F. wie zahlen?
A.T / T, L / C, D / P, etc., wird empfohlen, Made-in-China-Handelsgarantie verwenden.
F. wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?
A,1. Standard Export Begasung Zeichen Holzkiste Verpackung 2. Express, Luft, Seefahrt nach Kundenwunsch, finden Sie den am besten geeigneten Weg.
Weitere Fragen, kontaktieren Sie uns bitte.
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