Dual Target Magnetron Sputter und thermische Verdunstung Composite PVD Coater Mit DC- und HF-Netzteil

• Kundendienst: 12 Monate
• Garantie: 12 Monate
• Art: Coating Production Line
• Überzug: Vacuum Coating
• Substrat: Stahl
• Bescheinigung: CE
• Modell Nr.: TN-MS325S-2TA1S
• Zustand: Neu
• Kühlmodus: Wasserkühlung
• Heiztemperatur: Max 1800ºC
• Drehgeschwindigkeit: 1-20rpm einstellbar
• Kammergröße: φ325mm * 600mm
• Kammermaterial: Edelstahl
• Magnetron Sputtering Target Head: 2 Magnetron Sputtering Heads
• Größe der Probenbühne: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• Gedrehte Geschwindigkeit: 1-20 Rpm (Adjustable)
• Genauigkeit der Temperaturregelung: +/- 1.0 °c
• Gasflussregler: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• Vakuumpumpe: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• Kühlsystem: 16L/min
• Transportpaket: Fumigated Wooden Box
• Spezifikation: 1000mmx950mmx1300mm
• Warenzeichen: TN
• Herkunft: China
• HS-Code: 8486209000
• Produktionskapazität: 200/Month

Produktbeschreibung

Dual Target Magnetron Sputter und thermische Verdunstung Composite PVD Coater Mit DC- und HF-Netzteil

Produktbeschreibung

Dual Target Magnetron Sputter & thermische Verdampfung zwei-in-einem -Beschichtungsmaschine kann für die Beschichtung von elektronischen Produkten, Glas, keramischen Proben, Metall und anderen Proben verwendet werden, besonders geeignet für die Probenvorbereitung von Labor-SEM (Rasterelektronenmikroskop).
Die Ausrüstung besteht hauptsächlich aus Edelstahl-Vakuumkammer, Magnetron Sputterziel, Verdampfungsquelle, Rotations-Heizung Probentisch, Vakuumpumpe Einheit, Vakuum-Messgerät, Luftansaugsystem und Steuersystem.

Funktionen

1. Touchscreen-Bedienung, Temperaturregelmesser-Erkennung. Digitale Parameterschnittstelle und automatischer Betriebsmodus bieten dem Anwender eine ausgezeichnete Forschungs- und Entwicklungsplattform;
2. Die Vakuumkammer ist aus Edelstahl 304 mit Sichtfenster und Schallwand gefertigt. Schöne Form, feine Verarbeitung, ausgezeichnete Vakuumleistung. Der Hauptdichtflansch ist ein Hochvakuum-Dichtflansch der CF-Serie. Jede Schnittstelle der Vakuumkammer ist mit Gummidichtring versiegelt, die ausgezeichnete Vakuumleistung hat und effektiv die Beschichtungsqualität gewährleisten kann;
3. Das Ziel befindet sich am unteren Rand des Hohlraums und ist nach oben gerichtet. Der Probentabelle hat die Funktion des Erhitzens und Drehens, was den Beschichtungseffekt gleichmäßiger machen kann;;
4. Das Vakuumerfassungssystem nimmt zweistufige Vakuumpumpengruppe an. Die Vorpumpe  ist eine mechanische Pumpe mit hoher Pumpgeschwindigkeit, die die Zeit vom atmosphärischen Druck bis zum niedrigen Vakuum effektiv reduzieren kann. Die Hauptpumpe ist Turbine Molecular Pumpe, die eine hohe Pumpgeschwindigkeit und eine schnellere Vakuumerfassungsgeschwindigkeit hat. Das gesamte Vakuumerfassungssystem ist sauber und schnell.

Produktparameter

 

Modell	TN-MS500S-2TA1S
Beispieltabelle	Größe	150mm Durchm.	Heizung	≤500ºC
	Drehzahl	1-20r/min	Temperaturregelung	±1ºC
Magnetron-Sputterkopf	Menge	2 Zoll ×2	Kühlmodus	Wassergekühlt
Thermische Verdampfung	Verdampferquelle	Wolframdraht Korb	Max. Temp	1800ºC
	Thermoelement	S-Typ
Vakuumkammer	Größe	300mmDia.× 300mmH	Fenster „Watch“	100mm Durchm.
	Material	304 SUS	Modus öffnen	Vordere Klappe
Vakuumsystem	Mechanische Pumpe	Drehschieberpumpe	Extraktionsschnittstelle	KF16
	Pumpen	1,1l/s
	Molekularpumpe	Turbo-Molekularpumpe	Extraktionsschnittstelle	CF150
	Pumpen	600L/s	Abgasschnittstelle	KF40
	Vakuummesser	Widerstandsmessgerät + Ionisationsmessgerät
	Ultimativer Vakuumgrad	1,3 x 10-4PA	Stromversorgung	AC;220V 50/60Hz
Stromversorgung für Sputter	Gleichstromversorgung	1 Satz	Ausgangsleistung	≤1000W
	Ausgangsspannung	≤600W	Reaktionszeit	<5ms
	HF-Stromversorgung	1 Satz	Ausgangsleistung	≤1000W
	Stabilität der Stromversorgung	≤5W
	HF-Frequenz	13,56MHz	HF-Stabilität	±0,005 %
Dickenmessgerät	Auflösung	±0,03Hz	Genauigkeit	±0,5 %
	Obere Bereichsgrenze	50000	Geschwindigkeit	100~1000ms
Wassergekühltes System	Tankvolumen	9L	Fluss	10L/min
Gasanlage	Durchflussmesser Typ	MFC (Massendurchflussmesser)	Bereich	200sccm
	Gasart	Ar
Andere	Eingangsversorgung	AC220V,50Hz	Größe	1400 x 750 x 1300 mm
	Gesamtleistung	4kW (Host+Vakuumpumpe)	Gewicht	295kg

Neue Probentabelle ist verfügbar

Probe	Größe	Für max. Dia,150mm Proben	Höhe	70mm einstellbar
	Drehzahl	1~20rpm	Heizung	0~500ºC

 

Detaillierte Fotos

 

 

 

 

 

Unternehmensprofil

 

 

FAQ

F. sind Sie ein Hersteller oder ein Handelsunternehmen?

A. Wir sind professionelle Laborgerätehersteller, mit unserem eigenen Design-Team und Fabrik mit ausgereifter technischer Erfahrung, und kann die Qualität der Produkte und den optimalen Preis garantieren.

F. wie ist das Produkt-After-Sales-Service-System Ihres Unternehmens?

A.  die Produktgarantie beträgt 12 Monate, wir können lebenslange Wartung bieten. Wir haben professionelle Pre-Sales- und After-Sales-Abteilungen, die innerhalb von 24 Stunden auf Sie antworten können, um technische Probleme zu lösen.

F. wie lange ist Ihre Lieferzeit? Wie lange dauert es, wenn ich das Instrument anpassen möchte?

A,1. Wenn die Ware auf Lager ist, ist es 5-10 Tage. 2. Wir können maßgeschneiderte Dienstleistungen für unsere Kunden bieten. Je nach den Spezifikationen des kundenspezifischen Instruments dauert es normalerweise 30-60 Tage.

Q. Stromversorgung und Stecker unseres Landes sind unterschiedlich. Wie lösen Sie es?

A. Wir können einen Transformator und Stecker nach Ihren lokalen Anforderungen nach dem Netzstecker der verschiedenen Länder liefern.

F. wie zahlen?

A.T / T, L / C, D / P, etc., wird empfohlen, in China Handelsgarantie gemacht zu verwenden.

F. wie ist das Paket von Waren? Liefermethoden?

A,1. Standard Export Begasung Zeichen Holzkiste Verpackung 2. Express, Luft, Seefahrt nach Kundenwunsch, finden Sie den am besten geeigneten Weg.

Weitere Fragen, kontaktieren Sie uns bitte.