After-sales Service: | 12 Months |
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Warranty: | 12 Months |
Application: | School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Lieferanten mit verifizierten Geschäftslizenzen
Dieses CVD-System wurde speziell für die Graphen-Produktion entwickelt, wobei ein 1200ºC-Mini-Rohrofen verwendet wird, der mit einem hochpräzisen Massendurchflussmesser und einem Dünnschicht-Vakuummeter ausgestattet ist. Im Vergleich zum herkömmlichen Pirani-Widerstandsmessgerät ist der Messwert des Dünnschichtmessers genau und wird nicht durch die Art des Gases beeinflusst, das sich sehr gut für den Vakuumbeschichtungsprozess eignet. Gleichzeitig ist die Anlage mit einer Brandgasmeldevorrichtung ausgestattet, die mit einem Magnetventil am Luftauslass verbunden ist. Sobald eine Leckage vorhanden ist, kann das Magnetventil geschlossen werden, um die Sicherheit zu gewährleisten.
Dieser Gerätesatz hat eine geringe Stellfläche und ist sehr gut für die Laborvorbereitung von CVD geeignet.
1200ºC Parameter für den Mini-Rohrofen: |
|
Versorgungsspannung |
AC220V, 50Hz |
Maximale Leistung |
2KW |
Heizzone |
Einzelne Heizzone 200mm |
Konstante Länge der Temperaturzone |
100mm |
Heizelement |
Hitzebeständiger Aluminiumdraht |
Thermoelement |
Typ K |
Betriebstemperatur |
≤1150ºC |
Heizrate |
≤10ºC/min vorschlagen |
Genauigkeit der Temperaturregelung |
±1ºC |
Temperaturregelung |
AI-PID 30-Segment-Prozesskurve, mit Überhitzungs- und Burnout-Schutz |
Material des Ofenrohrs |
Hochreiner Quarz |
Größe des Ofenrohrs |
φ50mm O.D x 450mm l |
Vakuumpumpe |
Fördergeschwindigkeit der mechanischen Pumpe 1,1L/s. |
Ultimatives Vakuum |
5Pa |
Parameter des 3-Kanal-Massendurchflussmessers: |
|
Ventiltyp |
Nadelventil aus Edelstahl |
Anzahl der Gaswege |
Drei |
Druckbereich |
0,05~0,3MPa |
Bereich |
AR 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm |
Durchflussregelbereich |
±1,5 % |
Volumen des Mischtanks |
750ml |
Gasweg Material |
Edelstahl 304 |
Rohrschnittstelle |
6,35mm Aderendhülse |
Stromversorgung |
AC220V 50Hz |
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